标准解读

《GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构 应变梯度测量方法》是一项国家标准，主要针对利用光学干涉技术对MEMS（微机电系统）中的微结构进行应变梯度测量的方法进行了详细规定。该标准适用于需要高精度检测MEMS器件内部应力分布情况的研究与应用场合。

标准中首先定义了相关术语和定义，明确了“应变梯度”、“光学干涉法”等关键概念，为后续内容的理解奠定了基础。接着介绍了基于光学干涉原理进行MEMS微结构应变梯度测量的基本原理，包括但不限于白光干涉、激光干涉等不同类型的技术特点及其适用范围。

随后，《GB/T 34894-2017》详细描述了实验装置的要求，如光源选择、探测器配置以及样品制备的具体步骤等，并给出了推荐的操作流程，旨在保证测试结果的一致性和准确性。此外，还特别强调了数据处理的重要性，提出了具体的算法模型用于从原始信号中提取有用信息，从而计算出准确的应变梯度值。

对于测量过程中可能遇到的问题及解决办法也有所涉及，比如如何校正非线性误差、提高信噪比等技术难点。同时，标准还列举了一些典型的案例分析，通过实际例子说明不同条件下采用本标准所推荐方法可以获得的良好效果。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-11-01 颁布
  • 2018-05-01 实施
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GB/T 34894-2017微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法_第1页
GB/T 34894-2017微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法_第2页
GB/T 34894-2017微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法_第3页
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文档简介

ICS31200

L55.

中华人民共和国国家标准

GB/T34894—2017

微机电系统MEMS技术

()

基于光学干涉的MEMS微结构

应变梯度测量方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Measuringmethod

forstraingradientmeasurementsofMEMSmicrostructures

usinganopticalinterferometer

2017-11-01发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34894—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

测量方法

4…………………1

影响测量不确定度的主要因素

5…………6

附录资料性附录光学干涉显微镜的典型形式和主要技术特点

A()…………………7

Ⅰ

GB/T34894—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准主要起草单位中机生产力促进中心天津大学国家仪器仪表元器件质量监督检验中心

:、、、

中国电子科技集团公司第十三研究所南京理工大学

、。

本标准主要起草人胡晓东郭彤程红兵于振毅李海斌崔波朱悦裘安萍

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T34894—2017

微机电系统MEMS技术

()

基于光学干涉的MEMS微结构

应变梯度测量方法

1范围

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法

。

本标准适用于表面反射率不低于且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构

4%。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

GB/T3505(GPS)、

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

微机电系统技术微几何量评定总则

GB/T26113(MEMS)

微机电系统技术基于光学干涉的微结构面内长度测量

GB/T34893—2017(MEMS)MEMS

方法

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3505、GB/T26111GB/T34893—2017。

31

.

应变梯度straingradient

结构内部单位长度的应变变化值

。

4测量方法

41总则

.

411悬臂梁是薄膜力学特性测量中最常用的测量结构如基于表面工艺制作的微悬臂梁通

..,MEMS,

过去除牺牲层释放结构层实现可动结构在残余应力作用下释放的微悬臂梁结构将产生弯曲变形如

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