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文档简介

硅芯炉拉单晶工艺多晶硅是单晶硅生产企业必不行少的主要原料，而硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。多晶硅生长载体-硅芯的生产，是多晶硅生产不行缺少的主要装备之一。硅芯晶体生长工艺特点硅芯晶体生长一般承受垂直区熔法。原料棒固定在下轴上，籽晶装在上轴，上下轴同轴心。之匹配的速度向上作慢速移动，需要时原料棒可转动。硅芯炉设备工作时，先对设备进展抽空，等炉内真空度≤3Pa时，切断抽空，然后充以氩气保护气氛，加热料棒，晶体生长开头。在硅芯晶体的生长过程中，充气、排气始终在进展，以保证硅芯晶体的纯度；拉晶开头、完毕及更换籽晶卡头需要上、下轴有快速移动功能。设备应具备以下条件：(1)上轴慢速提拉运动(工作速度)0．5-60mm／min：(2)上轴快速，l000mm／min，500mm／min两档；0．02-10mm／min；下轴快速，75mm／min，150mm／min两档；(5)下轴旋转：0～60r／min；真空度≤3Pa；充气；高频电源局部；(9)6根／炉次。硅芯晶体生长炉总体设计3大局部组成：机械局部、电气掌握局部及高频电源局部。真空系统、充气系统、水路、摄像头等局部构成。下面主要介绍设备的几个重要组成局部。真空炉室及过渡副室不带水冷，上、下局部都开有炉门，炉门上设有观看窗，便于观看拉晶状况；另外炉体上设有高频线圈接口、拨叉口、后视镜口、摄像口、上下充气口、真空抽口、压力表口、及水咀接口，以满足硅芯炉工作各功能要求，使设备操作更加便利。炉室各处需密封牢靠。上设有限位口及观看窗口，与炉室相通，需要密封牢靠。下轴升降旋转机构行。珠丝杠等周密传动元件传动，可在肯定的范围内进展无级调速，运行平稳牢靠。籽晶托盘及掌握系统8～10mm6根硅芯棒，这样就省去了每生长一根硅芯晶体后，开炉、抽空、预备的时间，既提高了效率，又提高了设备的利用率。硅芯提升机构快速。运开工况低速轻载，连续工作；运行时应平稳，无振动，无爬行。依据使用要求硅芯提升机构运动系统为不受损害。卷轮联有光电编码器，可以准确显示硅芯生长长度。真空系统、充气系统及水路排出。炉室上装有压力表，显示炉内压力。≤3P连旋片泵即可，各处需密封状况良好。承受高频感应加热，工作时各处人可接触的地方温度不应超过50℃，为此炉室必需设计水冷却，另外密封处温度高的地方也必需有水冷却系统。电气掌握系统高精度的速度掌握方式速系统。包括

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