CDG025D电容膜片真空规说明书

电容膜片真空计CDG025DCDG025D-S使用说明书包括:产品符合规定的声明tina49e-a(200-03) 1产品标识与IIO,.为便于参考,请将信息填入下面各拦的空格中.NFCNAG,-96zr: : : : V 2 tina9e1-a(206-0)有效性本文件适用于下列件号的产品:35-00

0-1N16S-2N16-38VR

无开关功能01帕2毫巴带有两个开关功能34帕7510…00(S761…00(.S771…0(S781…1S791….1(.S822×0…00(S832×0…0S842×0…2S8525×0….5(S751.310…1322帕.)7613×1…1322帕F.)771310…13.2帕F.)781310…1332帕F.)7913×1…1.332帕F.)82266×10…26644帕F.S.)83266×10…266.4帕.S.)84266×10…26.64帕.S.)85333×10…3.335帕.S.)751.11…100毫巴(S)761…10毫巴S771…10毫巴..)781…1毫巴(.S)791…01毫巴S.)822×0…00毫巴(.S832×0…0毫巴(.S842×0…0毫巴(.S8525×0….5毫巴(FS

5毫巴件号(N)可从产品名牌上看到.tina9e1-a(206-0) 3如图例中未另有表示,本文插图中CDG025D-S规管的真空连接为DN16ISO-KF.应用于其它真空的连接均类似.我们保留不事先通知进行技术修改的权利.全部尺寸以毫米为单位.用途电容膜片真空计CDG025系列用于各自测量范围3.真空计属于K®Smart传感器系列,可与INFICON(VGC系列)的真空计控制器或其它适当的测量仪器连接.功能电容膜片真空计包含由氧化铝陶瓷和电子学元件组成的电容传感元件,电子学元件将电容转换成直流电压输出讯号.输出讯号与测量的压强为线性关系,而与气体类型无关.商标SK® IFICONGmbHVC® SagelokMaketigCo.4 tina9e1a2060)目录产品标识 2有效性 3用途 4功能 4商标 41安全 61.1使用符号 61.2人员要求 61.3一般安全规则 71.4责任和保用 72技术参数 83安装 133.1真空连接 133.2电连接 154运行 174.1显示器 174.2真空计调零 184.3开关功能(仅CDG05D-S) 214.4启用工厂设定值(工厂复位) 235卸装 246维护,检修 257返回产品 268废物处理 27附加信息 28污染申报表 29产品符合规定的声明 30本文内的相互参照,使用符号X),参照其它文件,使用"附加信息"或符号([]).tina9e1a2060) 51 安全1.1 使用符号危险防止任何危及人身安全的信息.警告防止损伤设备与环境的信息.注意正确掌握使用的信息.不注意将导致误功能或设备受损..2 人员要求授权人员本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或由产品的最终用户授权的人员执行.6 tina9e1a2060)1.3 一般安全规则遵守适用的规程和对使用的过程介质采取必要的防护措施.考虑与产品材料可能引起的反应.遵守适用的规程和对全部要做的工作采取必要的防护措施,并遵守本文件中的安全规定.在工作开始前,检查是否任何真空元件已污染.遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施.将安全规则通知全部其它用户..4 责任和保用INFICON无视本文件中的信息不适当的方式使用产品对产品进行任何介入(,变更等.)使用未列入产品文件中的附件.最终用户对使用的过程介质承担全部责任tina9e1a2060) 72 技术参数测量范围 "有效性"精度375XX…378XX379XX382XX385XX零点的温度效应375XX…377XX378XX379XX382XX385XX满刻度的温度效应375XX…378XX379XX382XX385XX

0.20%0.50%0.20%0.50%0.0050%F.S./°C0.015%F./°C0.020%F./°C0.0050%F.S./°C0.020%F./°C0.01%/°0.03%/°0.01%/°0.03%/°分辨率 0.003%F..与气体类型的关系 无 输出讯号模拟(测量讯号)电压范围 –5…+12V测量范围 0…+10V电压-压强的关系 线性输出阻抗 0防短路)负载阻抗 >10响应时间 30毫秒规管 与电源公共端的电阻为13.2k(接脚电压05V)8 tina9e1a2060)开关功能 SP1,SP2设定范围 0…10V滞后 1%..继电器触点 60VDC/0.5ADC浮动(常开)闭合 在低压强下(LED)开启 在高压强下(LED)开关时间 50毫秒RS232C接口传输率连接

9600波特二进制8数据位一个停止位无奇偶位无信号交换"电连接"有关RS232C[3电源危险与真空计连接的电源,仪器或控制单元必须符合极低压保护接地的要求(SLVEEN61010规程).规管的连接必须通过保险丝1).1)INFICON控制器满足此要求.tina9e1a2060) 9电源电压规管纹波

+14…+30VDC≤1Vpp电流 <500毫安(最大启动电流)功耗(取决于电源电压) ≤1瓦保险丝2) 1AT慢熔)规管保护于电源的极性变更. 15脚D-Sub,传感器电缆

5芯,带屏蔽9芯,带屏蔽电缆长度 0米4²对于较长的电缆,(电缆.– "电连接"–;0暴露于真空的材料法兰,管,防护室,等离子屏蔽传感器和膜片传感器膜片连接陶瓷–金属连接

不锈钢ISI316L陶瓷(A2O39.5%玻璃陶瓷钎焊u,n%,%,%内部容积 6厘米3容许压强(绝对)375XX,32XX376XX…378XX379XX,35XX

3巴2巴1.3巴爆裂压强绝对) 5巴10 tina9e1a2060)允许温度贮存工作烘烤(非工作下)

–40°C…+65°C+10°C…+50°C110°C在法兰处相对湿度 80%+31°C在+4°C时减至50%使用 仅室内,海拔高至2000米NN保护等级 IP0尺寸[毫米]55AD½"3XX-X00

DN16IO-KF3XX-X01

DN16CF-R3X-X02

8VCR插座型3XX-X03重量 300克tina9e1a2060) 11模拟测量讯号与压强的关系压强p1.1×F.S.1.0×F.S0.9×F.S0.8×F.S0.7×F.S..............0.5×F.S.0.4×F.S.0.3×F.S.0.2×F.S0.1×F.S0.0×F.S0

1 2 345 678 9 0 测量讯号U[V]p=(ut/10V)×p(..)转换乇帕乇毫巴2)帕2)c1.001013.25/760=1.333…101325/760=133.322…例: 真空计满量程为10乇.测量讯号out=6p=(6V/10V)×0乇=0.6×10=6乇2)源自:PL)压强和真空测量指南,ISBN0047x/19812 tina9e1a2060)3 安装.1 真空连接危险危险:真空系统中的过剩压力>1巴当真空系统中存在压力时,打开夹环,可导致松脱的部件或泄放的工艺气体伤害人身.在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环..危险危险:真空系统中的过剩压力>2.5使用橡胶密封如O-圈)的KF连接法兰不能经受这样的压力.规程介质可能泄漏损害人身健康.使用带有外对中环的-圈.tina9e1a2060) 13危险危险:保护接地未正确接地的产品在事故情况下是十分危险的.将规管连接到接地的真空室上.连接必须符合规程EN6100中规定的保护要求:CF和VCR法兰满足这个要求.带有KF法兰的规管,.带有½"管的规管,采取适当的措施满足这个要求.注意注意:污染和损坏影响真空元件的功能.拿取真空元件时,采取适当的确保清洁与防止损坏的措施.注意注意:对污染敏感的区域用手接触产品或部件将增大退吸率.在这个区域工作时,始终使用清洁的,无纤维手套和清洁的工具.14 tina9e1a2060)安装规管使它无震动发生.规管可任意方位安装.为防止凝聚物和微粒进入测量室,最好选取水平至直立的位置,并使用带对中环和过滤件的密封圈.如规管安装后需要调整,要保证安装后可插入针杆调整按钮(18).取下保护盖,将产品连接在真空系统上.带对中环的密封圈or夹环

带对中环与过滤件的密封圈将.3.2 电连接确保真空连接已正确完成(13.tina9e1a2060) 15如无传感器电缆,按下图做一根.带开关功能的规管4189

D D 2751,4继电器P1,闭合触点2 或阈值SP1/25 电源公共端,GND7,11 电源

外壳9 18,9继电器P2,闭合触点10规管识别Inficon12 讯号公共端13 RS232,TxD14 RS232,RxD15 管壳(机架接地)外壳 管壳(机架接地)

15 8D-Sub,15-脚插座焊接侧规管脚3和脚6未用.电缆必须如上图和接地概念中所述的屏蔽和接地."技术参数"16 tina9e1a2060)连接传感器电缆至规管上,并用锁紧螺丝锁住.连接传感器电缆至控制器.4 运行将真空计投入运行.如使用INFICN控制器,调整测量范围([1,2]).预热时间至少¼小时;如要求精确的压强测量预热时间至少需要2小时.4.1 显示器指示灯状态含义<RUN><1>(仅CDG025D-S)<2>(仅CDG025D-S)亮闪亮闪亮闪测量模式其它模式,误差p≤设点值1调整设点<1>p≤设点值2调整设点<2>tina9e1a2060) 17.2 规管调零当规管第一次工作时,应执行调零.由于长期工作或污染,可发生零点漂移,必须调整零点.为调整零点,将规管工作在相同的室温条件下和同样的常规安装方位. ZER将规管抽空至如下表的压强:推荐用于调零的最终压强375XX376XX377XX378XX379XX382XX383XX384XX385XX<510-2Torr<510-3Torr<510-4Torr<510-5Torr<510-6Torr<10-2Torr<10-3Torr<10-4Torr<10-5Torr<6.65100Pa<6.6510-1Pa<6.6510-2Pa<6.6510-3Pa<6.6510-4Pa<1.3310-0Pa<1.3310-1Pa<1.3310-2Pa<1.3310-3Pa<510-2mbar<510-3mbar<510-4mbar<510-5mbar<510-6mbar<10-2mbar<10-3mbar<10-4mbar<10-5mbar(如规管的最终压强过高,零点不能达到,<RUN>指示灯闪.如此情况,启用工厂设定值重新调零(2).)运行规管至少¼小时直到讯号稳定).18 tina9e1a2060)(ø1.1毫米)压下<ZERO>按钮.零点调整将自动运行.<RUN>指示灯闪直到调整完成.压下按钮最大ø1.1毫米零点调整后,规管自动回到测量模式.也可通过RS232C接口调整零点.如讯号输出是负值,<RUN>指示灯闪. 带基压-ZER运行规管至少¼小时直到讯号稳定).(ø1.1毫米)压下<ZERO>按钮,并保持压下状态.<RUN>指示灯开始闪.5秒钟后,零点调整值,从当前的输出值开始,保持连续改变爬坡)直到释放按钮或直到达到设定值(最小0%..).tina9e1a2060) 19保持按钮压下最大ø1.1毫米再次压下<ZERO>按钮0...3秒内:零点调整值改变一个单元(细调)3...5秒内:零点调整值改变它的方向(<RUN>指示灯的闪烁频率短暂地变化).如释放<ZERO>按钮大于5秒,规管回到测量模式.基压偏移的零点调整也可通过RS22C接口调整.如讯号输出为负值,指示灯<RUN>闪.20 tina9e1a2060)4.3 (仅CDG05D-S)两个开关功能可调节至整个压强范围内的任何压强12.当前的阈值将代替压强值在D-ub连接件上输出(15),并能用电压表测量.,相应的(<1>或<2>)亮相应的继电器(15).测量讯号(p)设点

滞后(1%F.S.)阈值Off On

Of

时间t 危险危险:误功能如过程由通过讯号输出控制,记住:按下<SP>按钮时测量讯号被抑制而输出的是相应的阈值.这可导致误功能仅当您确认不会因误功能引起损害时,才按下<SP>按钮.tina9e1a2060) 21<1>(ø1.1毫米)按下<SP>按钮.10秒钟下,(指示灯<1>闪.压下按钮最大ø1.1毫米为更改阈值,压下<ZERO>按钮,并保持压下状态.阈值保持更改从当前值()直至释放按钮或直至达到设定范围的限值.保持压下按钮最大ø1.1毫米22 tina9e1a2060)再次压下<ZERO>按钮0...3秒内:零点调整值改变一个单元(细调)3...5秒内:零点调整值改变它的方向(<RUN>指示灯的闪烁频率短暂地变化).如释放<ZERO>按钮大于5秒,规管回到测量模式.阈值上限自动设定于下限以上%.S.(滞后).<2>压下<SP>按钮两次(指示灯<2>闪).调整顺序与设点<1>相同.设点也可通过RS32C接口调整.4.4 (工厂复位)启用工厂参数设定值可在真空计投入运行(电源ON)时,保持<ZERO>按钮压下状态至少5秒钟.tina9e1a2060) 235 卸装危险危险:污染的部件污染的部件可损害健康和环境.开始工作前,检查是否有任何部件已被污染.当拿取污染的部件时,必须遵守相关的规定和采取必要的措施.注意注意:污染和损坏影响真空元件的功能.拿取真空元件时,采取适当的确保清洁与防止损坏的措施.注意注意:对污染敏感的区域用手接触产品或部件将增大退吸率.在这个区域工作时,始终使用清洁的,无纤维手套和清洁的工具.将真空系统放空.将真空计电源关断.24 tina9e1a2060).从真空系统上卸下规管.盖上保护盖.6 维护,检修在清洁的工作条件下,本产品无需维护.由于污染造成的规管损坏不包含在保修范围内.如最终用户或第三方对产品执行过任何检修工作,INFICON将.tina9e1a2060) 257 返回产品警告警告:发送污染的产品污染的产品(如放射性,毒性,腐蚀性或生物危害性)可损害健康和环境.返回INFICON的产品应无危害性物质.符合全部有关国家和公司的发运规程,并附有完整的污染申报表.无明确"无危害性物质"申报的产品.全部去污染费用由客户承担.未附有完整污染申报表的产品将退回发送方,全部费用由发送方承担.26 tina9e1a2060)8 处理危险注意:污染的部件污染的部件可损害健康和环境.开始工作前,检查是否有任何部件已被污染.当拿取污染的部件时,必须遵守相关的规定和采取必要的措施.警告注意:损害环境的物质产品或部件(机械和电气元件,工作液体等.)可损害环境.按照当地相关的规程处理这些物质.元件分类产品拆卸后,按下列标准将它的元件分类:污染的元件污染的元件(放射性,毒性,腐蚀性或生物危害性等.)必须按照相关的国家规定进行去污染,按照它们的材料分类和处理.其它元件这些元件必须按它们的材料分类和回收.tina9e1a2060) 27附加信息[1]inficon使用说明书真空计控制器VGC02tinb02e1INFICONA,LI496Bazes,Licenstein[2]inficon使用说明书单通道控制器VGC41tinb01e1INFICONA,LI496Bazes,Licenstein[3]inficon通讯协议RS323C接口tira49e1INFICONA,LI496Bazes,Licenstein28 tina9e1a2060)污染申报表tina9e1a2060) 29产品符合规定的声明我们,INFICON,声明下述设备符合有关用于一定电压限值下的电气设备规程73/2/EEC89/33/E.电容膜片真空计CDG025DCDG025D-S件号375-000376-000377-000378-000379-000375-001376-001377-001378-001379-001375-002376-002377-002378-002379-002375-003376-003377-003378-003379-003375-100376-100377-100378-100379-100375-101376-101377-101378-101379-101375-102376-102377-102378-102379-102375-103376-103377-103378-103379-103375-200376-100377-200378-200379-200375-201376-101377-201378-201379-201375-202376-102377-202378-202379-202375-203376-103377-203378-203379-203375-300376-300377-300378-300379-300375-301376-301377-301378-301379-301375-302376-302377-302378-302379-302375-303376-303377-303378-303379-303375-400376-400377-400378-400379-400375-401376-401377-401378-401