标准解读

《GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷》是一项国家标准，主要针对八氟丙烷（C₃F₈）这种在半导体制造等电子工业领域中作为蚀刻气体使用的化学品。该标准详细规定了适用于电子工业中的八氟丙烷的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。

技术要求部分明确了产品的纯度级别及杂质含量限制，确保其能满足特定应用环境下的需求。例如，对于高纯度级别的八氟丙烷，除了对主成分的浓度有严格要求外，还特别指出了几种可能影响最终产品质量的关键杂质的最大允许浓度值。

试验方法章节提供了检测产品是否符合上述技术指标的具体操作步骤，包括但不限于气相色谱法来测定组分含量，以及其他专门针对某些特定杂质的分析手段。这些方法的选择基于它们能够准确可靠地反映样品实际情况的能力。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-09-11 颁布
  • 2016-05-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T31986—2015

电子工业用气体八氟丙烷

Gasforelectronicindustry—Perfluoropropane

2015-09-11发布2016-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31986—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位国家化学工业气体产品质量监督检验中心福建浙江省化工研究院有限公司

:()、、

佛山市华特气体有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司中昊光明化

、、、

工研究设计院有限公司四川中测标物科技有限公司天津长芦华信化工股份有限公司西南化工研究

、、、

设计院有限公司

。

本标准主要起草人林宇巍陈熔史婉君方路廖恒易金向华孙猛方华孙福楠方正崔学文

:、、、、、、、、、、、

周鹏云

。

Ⅰ

GB/T31986—2015

电子工业用气体八氟丙烷

1范围

本标准规定了八氟丙烷的技术要求试验方法包装标志贮运和安全

、、、、。

本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备并通过精馏吸附催化等工艺提纯的八氟丙烷产品

,、、,

以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗

。

气体

。

分子式

:C3F8。

相对分子质量按年国际相对原子质量

:188.017(2011)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

钢质无缝气瓶

GB5099

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB7144

气体中一氧化碳二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

GB/T8984、

液化气体气瓶充装规定

GB14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB16804

特种气体储存期规范

GB/T26571

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

气瓶安全监察规程版

(2000)

危险化学品安全管理条例版

(2011)

特种设备安全监察条例版

(2009)

3技术要求

八氟丙烷的质量应符合表的要求

1。

表1技术指标

项目指标

八氟丙烷纯度体积分数-2

(C3F8)()/10≥99.99999.99

氧氩含量体积分数-6

(+)(O2+Ar)()/10<1

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