第4期一文打尽xps图谱分析教程及在各领域的应用avantage操作指南

1、Avantage作指南The world leader in serving scienceAvantage 操作页面介绍Avantage 操作页面3仪器软件基本介绍新建窗口（数据处理或实验库）打开数据文件导入数据保存数据处理窗口打印实时数据显示光学图像窗口 FEG扫描窗口样品台示意图新建数据处理窗口打开/关闭实验树和属性窗口用户优化选项4仪器软件基本介绍-数据处理工具其他功能数学方法选项基本分析谱图修改角分辨功能数据比较图像处理剖面图选项注：需要选中正确的数据之后，相应功能才能起作用（否则相应功能按钮呈灰色）5仪器软件基本介绍导出数据选项显示选项显示模式6作指南AvantageSurvey

2、元素自动识别1、打开对应的VGP文件2、选中Survey谱图，单击对Survey进行元素识别注：一般采用高分辨元素窄扫谱图进行化学态的确认及定量分析，此时应注意将Survey里各元素的“” 去掉，使其不参与定量8荷电校准3、荷电校准单击，通过拖拽C1s峰位，计算其与284.8eV的差值，即为需要将所有元素峰位矫正的数值（本次各元素峰位需要+0.1eV）注：进行荷电校准时，一般采用污染碳的C1s（ 284.8eV）进行校准若样品不是石墨烯类材料，则将C1s谱图最低结合能端的峰校准到284.8eV;若样品是石墨烯类材料，则建议将C1s谱图最低结合能端的峰校准到284eV;9荷电校准选中谱图左上角方

3、框（作用是将所有谱图选中）选中对谱图进行荷电校准（此次数据需要将谱图向高结合能端移动0.1eV）10荷电校准在Shift by amount菜单中设置峰位移动的方向和数值点击Accept &Close可以观察到所有谱向高结合能端移动了0.1eV（C1s峰位已经校准到284.8eV）11元素定量4.1、元素定量-背底扣除点击对应谱图上会显示两条虚线（用于标识背底扣除的起始位置）将虚线移动到对应元素两侧背底处（较平缓区域）较平缓点击Add背底扣除方法：一般建议使用Smart12元素各化学态定量、元素各化学态定量-分峰拟合（加单峰）选中对应谱图，点击选择“Add Fitted Peak”选择“Add

4、 Single Peak”，根据对样品的了解及谱图实际情况确定加3个谱峰）个数（此谱图共需添分峰拟合适用条件：若元素存在不同的化学态，且需要对化学态进行分析时，需要对该元素进行分峰拟合13元素各化学态定量、元素各化学态定量-分峰拟合（加单峰）选中Peak Fit（可以对谱峰的拟合参数进行优化和修改）如：各化学态谱峰命名、半高宽的限定等谱峰命击对应元素化学态名称（即C1s、C1s Scan A、 C1s Scan B）处对其修改半高宽限定：一般建议半高宽在0.5:2.5范围内，且同一元素各化学态半高宽相同或差距较小14元素各化学态定量4.2、元素各化学态定量-分峰拟合（加单峰单击 Fit Thi

5、s Level若拟合结果符合要求，点击OK即可（该元素各化学态定量结果完成）1元素各化学态定量、元素各化学态定量-分峰拟合（加双峰）选中对应谱图，点击选择“Add Fitted Peak”选择“Add Double Peak”，根据对样品的了解及谱图实际情况确定个数（此谱图共需添加2组谱峰，即点击2次Add Double Peak ）分峰拟合适用条件：若元素存在不同的化学态，且需要对化学态进行分析时，需要对该元素进行分峰拟合16元素各化学态定量4.3、元素各化学态定量-分峰拟合（加双峰）单击 Fit This Level，直到拟合效果满意为止（一般只需单击1-3次）17元素各化学态定量4.3、

6、元素各化学态定量-分峰拟合（加双峰）选中Peak Fit（可以对谱峰的拟合参数进行优化和修改）如：各化学态谱峰命名、半高宽的限定等（单击对应方框，直接输入即可）谱峰命对其修改半高宽限定：一般建议半高宽在0.5:2.5范围内，且同一元素各化学态半高宽相同或差距较小击对应元素化学态名称（即S2p3 ScanA、S2p1 Scan A、 S2p3 Scan B）处18元素各化学态定量4.3、元素各化学态定量-分峰拟合（加双峰）若拟合结果符合要求，点击OK即可（该元素各化学态定量结果完成）19元素定量5.1、深度剖析元素定量-背底扣除点击对应谱图上会显示两条虚线（用于标识背底扣除的起始位置）将虚线移动

7、到对应元素两侧背底处（较平缓区域）较平缓背底扣除方法：一般建议使用Smart点击Add20深度剖析元素各化学态定量、深度剖析元素各化学态定量-分峰拟合选中对应谱图，点击选择“Add Fitted Peak”选择“Add Single Peak”，根据对样品的了解及谱图实际情况确定加3个谱峰）个数（此谱图共需添分峰拟合适用条件：若元素存在不同的化学态，且需要对化学态进行分析时，需要对该元素进行分峰拟合21深度剖析元素各化学态定量5.2、元素各化学态定量-分峰拟合选中Peak Fit（可以对谱峰的拟合参数进行优化和修改）如：各化学态谱峰命名、半高宽的限定等谱峰命击对应元素化学态名称（即C1s、C1

8、s Scan A、 C1s Scan B）处对其修改半高宽限定：一般建议半高宽在0.5:2.5范围内，且同一元素各化学态半高宽相同或差距较小22深度剖析元素各化学态定量5.2、元素各化学态定量-分峰拟合单击 Fit All Level若拟合结果符合要求，点击OK即可（该元素各化学态定量结果完成）23深度剖析元素及各化学态随溅射时间变化曲线刻画5.3、元素及各化学态随溅射时间变化曲线刻画通过Ctrl+单击需要关心的元素可将关心元素选择出来 （被选元素左侧会有显示）单击，即到关心元素及各化学态随溅射时间变化曲线24深度剖析元素及各化学态随溅射时间变化曲线刻画5.3、元素及各化学态随溅射时间变化曲线

9、刻画通过将对应元素后面的“”去掉，即可使不关心元素不参加定量，通过Ctrl+单击需要关心的元素可将关心元素选择出来 （被选元素左侧会有显示）单击，即到所有元素及各化学态随溅射时间变化曲线（此时所关心元素含量之和为100%）25深度剖析元素及各化学态随溅射时间变化曲线刻画5.3、元素及各化学态随溅射时间变化曲线刻画通过点击Peak Table左上角（将所有元素全选 ，所有元素均有显示）单击，即到所有元素及各化学态随溅射时间变化曲线26数据导出功能-以Excel形式导出6、数据Excel形式导出通过点击谱图左上角方框（将所有元素全选）设置格式：Reporting-Region27数据导出功能-以E

10、xcel形式导出6、数据Excel形式导出单击，对数据导出格式进行设置（建议设置如下表所示，可根据用户需求自行设置）单击OK28数据导出功能-以Excel形式导出6、数据Excel形式导出单击 Report Style-Graph Sizes/Fonts，可对导出的（建议设置如下表所示，可根据用户需求自行设置）大小和文字进行设置单击OK29数据导出功能-以Excel形式导出6、数据Excel形式导出选择数据途径：Reporting-Excel-Report Options-OK将数据按照途径进行数据导出：Reporting-Excel-Report to,数据导出完成30导出功能-用于PPT展

11、示7.1、谱图以形式导出-Survey导出选择数据途径：Reporting-Image Large单击，Report StyleGraph Options/Fonts，可对谱图和文字大小进行设置（建议将大小设置参数如右图所示）设置完成后，点击OK31导出功能-用于PPT展示7.1、谱图以形式导出-Survey导出Report StyleTablesPeak Table的去掉（否则导出的谱图将会含有Peak Table表格）32导出功能-用于PPT展示7.1、谱图以形式导出-Survey导出单击/选择要导出的Survey谱图Reporting-Report To Clipboard（将到剪切板上

12、）单击PPT的目标位置，Ctrl+V进行粘贴（Survey导出完成）33导出功能-用于PPT展示7.2、谱图以形式导出-高分辨窄扫导出选择数据途径：Reporting-Image Small单击，Report StyleGraph Options/Fonts，可对谱图和文字大小进行设置（建议将大小设置参数如右图所示）设置完成后，点击OK34导出功能-用于PPT展示7.2、谱图以形式导出-高分辨窄扫导出Report StyleTablesPeak Table的去掉（否则导出的谱图将会含有Peak Table表格）35导出功能-用于PPT展示7.2、谱图以形式导出-高分辨窄扫导出单击/选择要导出的

13、高分辨窄扫谱图Reporting-Report To Clipboard（将到剪切板上）单击PPT的目标位置，Ctrl+V进行粘贴（Survey导出完成）36 7、谱图以形式导出-注意事项 当进行谱图导出时，需注意将Report StyleTablesPeak Table的去掉，否则导出的谱图将会含有Peak Table表格37导出功能-用于PPT展示导出功能-用于PPT展示7、谱图及标注修改小技巧添加/取消标注：右击对应VGP谱图-Legend-Legend On（对应标注即可显示出来）/Legend Off（取消标注）修改标注文字及线条：右击PPT上对应谱图-Group-Ungroup-单

14、击需要修改文字的文本框或双击标注线条即可对其进行修改部分图像、文字位置的修改：将需要移动的文字、后对其拖拽到指定位置）C1s Scan选中，右击-Group-Group（随3 Scans,57.3 s, 500m, CAE 30.0, 0.10 eVSpectrum BackgroundFitted Peak C1s grapheneFitted Peak C1s Sat Peak fit background Fitted envelope3.00EC1s graphene2.00E+051.00E+05C1s Sat0.00E+00Binding Energy (eV)38Counts /

15、 s (Residuals 10)表面分析产品K-Alpha高效能XPS测试能力Nexsa斑XPS，多技术联合Theta Probe高效能薄膜分辨能力ESCALAB Xi+世界一流性能和多功能拓展性快速、直观的工作流程交互式和完全自动化操作分析斑平行角分辨非破坏性深度剖析 ISS、REELS、UPS、多技术联合MAGCIS双模式离子源（专利）快速、定量平行成像 优于5m束斑回溯成谱优越的能量分辨率标配 REELS和ISS可选配多技术 AES/SEM/EDS/LEED/IPES/E DXR全聚焦:10-400mISS、REELS、UPS、多技术联合快照成像(专利) MAGCIS双模式离子源（专利）互联网内标自校准操控MAGCIS双模式