GB/T 30652-2023硅外延用三氯氢硅

ICS29045

CCSH.83

中华人民共和国国家标准

GB/T30652—2023

代替GB/T30652—2014

硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T30652—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替硅外延用三氯氢硅与相比除结构调整和

GB/T30652—2014《》,GB/T30652—2014,

编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了适用范围见第章年版的第章

a)(1,20141);

增加了术语和定义一章见第章

b)(3);

更改了部分技术指标要求见年版的

c)(4.1,20143.2);

增加了部分项目的试验方法见第章年版的第章

d)(5,20144);

更改了组批的规定见年版的

e)(6.2,20145.2);

增加了检验项目见

f)(6.3);

更改了取样和制样的要求见年版的

g)(6.4,20145.3);

更改了检验结果的判定见年版

h)(6.5,20145.4);

更改了标志的要求见年版的

i)(7.1,20146.1);

更改了标志包装运输贮存等的要求见第章年版的第章

j)、、、(7,20146)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位洛阳中硅高科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司上海亿钶气

:、、

体有限公司南京国盛电子有限公司唐山三孚电子材料有限公司上海新昇半导体科技有限公司上海

、、、、

晶盟硅材料有限公司新疆大全新能源股份有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司武汉新

、、、

硅科技潜江有限公司宜昌南玻硅材料有限公司中电晶华天津半导体材料有限公司昊华气体有限

、、()、

公司新疆新特新能材料检测中心有限公司青海中航硅材料有限公司沁阳国顺硅源光电气体有限公

、、、

司江西晨光新材料股份有限公司

、。

本文件主要起草人万烨赵雄严大洲刘见华张园园李素青李建新李飞明冯永平孙任靖

:、、、、、、、、、、

张斌顾广安于生海邓远红徐岩李楷东刘文明李明达付梦月邱艳梅边红利史隽涛梁秋鸿

、、、、、、、、、、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2014,。

Ⅰ

GB/T30652—2023

硅外延用三氯氢硅

1范围

本文件规定了硅外延用三氯氢硅的技术要求试验方法检验规则标志包装运输贮

(SiHCl3)、、、、、、

存随行文件及订货单内容

、。

本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅以下简称产品

()。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

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