传感器技术压电式传感器资料

1、传感器技术压电式传感器资料某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为的现象称为“正压电效应正压电效应”或或“顺压电效应顺压电效应”。反之，当在某些物质的

2、极化方向上施加电反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为械能的现象称为“逆压电效应逆压电效应”或或“电致电致伸缩效应伸缩效应”。 常见的压电材料可分为两类，即压电单常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。晶体和多晶体压电陶瓷。 压电单晶体有石英压电单晶体有石英( (包括天然石英和人造包括天然石英和人造石英石英) )、水溶性压电晶体、水溶性压电晶体( (包括

3、酒石酸钾钠、包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等) )；多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。镁酸铅压电陶瓷等。 如图所示为天如图所示为天然石英晶体，然石英晶体，其结构形状为其结构形状为一个六角形晶一个六角形晶柱，两端为一柱，两端为一对称棱锥。对称棱锥。在晶体学中，可以把将其用三根互相垂直在晶体学中，可以把将其用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴的轴表示，其中，纵轴Z Z称为光轴，通过称为光轴，通过六棱线而垂直于光轴的六棱

4、线而垂直于光轴的X X轴称为电轴，与轴称为电轴，与X-XX-X轴和轴和Z-ZZ-Z轴垂直的轴垂直的Y-YY-Y轴轴 ( (垂直于六棱垂直于六棱柱体的棱面柱体的棱面) )称为机械轴。称为机械轴。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于其晶面分别平行于Z-ZZ-Z、Y-YY-Y、X-XX-X轴线。轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X(X轴轴) )方向的作用力产生的压电效应称为方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应纵向压电效应”，把沿机械轴，把沿机械轴(Y(Y轴轴) )方向方向的作用力产生的

5、压电效应称为的作用力产生的压电效应称为“横向压电效横向压电效应应”，沿光轴方向的作用力不产生压电效应。，沿光轴方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。式传感器主要是利用纵向压电效应。 石英晶体石英晶体具有压电效应，是由其内部分子具有压电效应，是由其内部分子结构决定的。结构决定的。图图- -是一个单元组体中是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于于z z轴的轴的xyxy平面上的投影，等效为一个正平面上的投影，等效为一个正六边形排列。六边形排列。 图中图

6、中“”代表硅离子代表硅离子SiSi4+4+， “”代表氧离子代表氧离子O O2-2-。 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120夹角的电偶极矩1、2、3。 如图5-5（a）所示。 因为= qL（q为电荷量，L为正负电荷之间的距离），此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 1+2+30所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。当晶体受到沿x方向的压力（x 0在y、z方向上的分量为: (1+2+3)y = 0 (1+2+3)z= 0当晶体受到沿x方向的拉力（x 0）作用时，其变化情况如图5-5（c）所示。电偶极矩1增大， 2、 3减小，此时它们在x、y、

7、z三个方向上的分量为 (1 +2 +3) x0 (1+ 2+ 3)y =0 (1 +2 +3)z =0在x轴的正向出现负电荷，在y、z方向依然不出现电荷。可见，当晶体受到沿x(电轴)方向的力x 作用时，它在x方向产生正压电效应，而y、z方向则不产生压电效应。晶体在y轴方向受力y作用下的情况与x 相似。当y 0时，晶体的形变与图5-5（b）相似；当y 0时，则与图5-5（c）相似。由此可见，晶体在y（即机械轴）方向的力 y作用下，在x方向产生正压电效应，在y、z方向同样不产生压电效应。 晶体在z轴方向受力z的作用时，因为晶体沿x方向和沿y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，

8、电偶极矩矢量和等于零。这就表明，在沿z(即光轴)方向的力z 作用下，晶体不产生压电效应。 若从晶体上切下一块如图5-6（a）所示的晶片，当沿电轴x方向施加应力x时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体线性弹性范围内，极化强度11与应力x 成正比。bcFddPxx111111bcqPx11xxFdq11反之，若沿反之，若沿x方向对晶片施加电场，电场强方向对晶片施加电场，电场强度大小为度大小为Ex 。根据逆压电效应，晶体在。根据逆压电效应，晶体在x轴轴方向将产生伸缩，即：方向将产生伸缩，即：a=d11U x (5-4) xxxxxCFdCqU11也可用相对应变表示为：也可用相对应变表示为：x

9、xEdaUdaa1111若在同一切片上，沿机械轴y方向施加应力y，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 yyFabdFacbcdq121212根据石英晶体轴对称条件：d11 = -d12，则：yFabdq1112反之，若沿反之，若沿y方向对晶片施加电场，根据逆方向对晶片施加电场，根据逆压电效应，晶片在压电效应，晶片在y轴方向将产生伸缩变形，轴方向将产生伸缩变形，即即xUabdb11xyxxCFabdCqU1112或用相对应变表示：或用相对应变表示：xEdbb11图图5-7 5-7 石英晶体受力方向与电荷极性关系石英晶体受力方向与电荷极性关系 当晶片受到当晶片受到x方向的压力作用时，方

10、向的压力作用时，qx只与作用力只与作用力x成正比，而与晶片的几何尺寸无关；成正比，而与晶片的几何尺寸无关； 沿机械轴沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的；荷是与几何尺寸有关的； 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的；石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应；上一定存在逆压电效应； 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。压电

11、陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，发生转动，

12、趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有从而使材料得到极化。外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本无变化，即剩余极化强度的极化方向基本无变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。很大，这时的材料才具有压电特性。 图图5-8 5-8 压电陶瓷的极化压电陶瓷的极化 (a) (a) 未极化未极

13、化; (b) ; (b) 电极化电极化 陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而的束缚电荷符号相反而数量相等，它屏蔽和抵数量相等，它屏蔽和抵消了陶瓷片内极化强度消了陶瓷片内极化强度对外界的作用。对外界的作用。如果在陶瓷片上加一个与极化方向平

14、行的压如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力力F，陶瓷片将产生压缩形变。片内的正、，陶瓷片将产生压缩形变。片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。释放部分吸附在电极上的自由电荷，而小。释放部分吸附在电极上的自由电荷，而出现放电现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复出现放电现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，极化强度也变大，原状，极化强度也变大，因此电极上又吸附一部因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电分自由电荷而出现充电现象。现象。正压电效应。正压电效应。 若在片上加一个与极化方向相同的电场，电若在片上加一个与极化方向相同的电场，电场的作用使极化强

15、度增大。陶瓷片内的正、场的作用使极化强度增大。陶瓷片内的正、负束缚电荷之间距离也增大，即陶瓷片沿极负束缚电荷之间距离也增大，即陶瓷片沿极化方向产生伸长形变。同理，如果外加电场化方向产生伸长形变。同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种向产生缩短形变。这种由于电效应而转变为机由于电效应而转变为机械效应，或者由电能转械效应，或者由电能转变为机械能的现象，就变为机械能的现象，就是压电陶瓷的逆压电效应。是压电陶瓷的逆压电效应。对于压电陶瓷，通常取它的极化方向为z轴，垂直于z轴的平面上任何直线都可作为x或y轴，这是和石英晶体的不同

16、之处。当压电陶瓷在沿极化方向受力时，则在垂直于z轴的上、下两表面上将会出现电荷，如图5-12（a）所示，其电荷量q与作用力z成正比，即(5-12) 式中： d33 压电陶瓷的压电系数； 作用力。 zFdq33压电陶瓷在受到沿y方向的作用力y或沿x方向的作用力x时，在垂直于z轴的上、下平面上分别出现正、负电荷，其电荷量q与作用力y、x也成正比，即xzxyzyAAFdAAFdq3132式中 A z极化面面积； Ax、A y受力面面积； d32、d31压电陶瓷的横向压电系数当作用力z、y或x反向时，电荷的极性也反向。压电陶瓷在受到如图5-12（c）所示的作用力x、y、z共同作用时，在垂直于z轴的上、

17、下平面上分别出现正、负电荷。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化，从而使其压电特它的参数也随时间变化，从而使其压电特性减弱。性减弱。 最 早 使 用 的 压 电 陶 瓷 材 料 是 钛 酸 钡最 早 使 用 的 压 电 陶 瓷 材 料 是 钛 酸 钡（BaTiOBaTiO3 3）。它是由碳酸钡和二氧化钛）。它是由碳酸钡和二氧化钛

18、按按1111摩尔分子比例混合后烧结而成的。摩尔分子比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的它的压电系数约为石英的5050倍，倍， 但居里但居里点温度只有点温度只有115115，使用温度不超过，使用温度不超过7070，温度稳定性和机械强度都不如石英。温度稳定性和机械强度都不如石英。 压电材料应具备以下几个主要特性：压电材料应具备以下几个主要特性：转换性能。要求具有较大的压电常数。转换性能。要求具有较大的压电常数。机械性能。机械强度高、刚度大。机械性能。机械强度高、刚度大。电性能。高电阻率和大介电常数。电性能。高电阻率和大介电常数。环境适应性。温度和湿度稳定性要好，环境适应性。温度和湿度稳定性

19、要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。温度范围。时间稳定性。压电性能不随时间变化。时间稳定性。压电性能不随时间变化。 在几百摄氏度的温度范围内，其介电常数在几百摄氏度的温度范围内，其介电常数和压电系数几乎不随温度而变化。但是当和压电系数几乎不随温度而变化。但是当温度升高到温度升高到573时，石英晶体将完全丧去时，石英晶体将完全丧去压电特性，这就是它的居里点。压电特性，这就是它的居里点。石英晶体的突出优点是性能非常稳定，它石英晶体的突出优点是性能非常稳定，它有很大的机械强度和稳定的机械性能。但有很大的机械强度和稳定的机械性能。但石英材料价格昂贵，

20、且压电系数比压电陶石英材料价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。求较高的传感器中。石英晶体有天然和人工培养两种类型。人石英晶体有天然和人工培养两种类型。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。应用成本较低的人造石英晶体。因为石英是一种各向异性晶体，因此，按因为石英是一种各向异性晶体，因此，按不同方向切割的晶片，其物理性质（如弹不同方向切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特性等）相差很大。性、压电效应、温度特性等）相差很大。在设计石英传感器时，应根据不同使用要在设计石英传感器时，应根据不同使用要求正确地选择石英片的切型。求正确地选择石英片的切型。压电陶瓷主要有以下几种：压电陶瓷主要有以下几种