tac涂层工艺过程_第1页
tac涂层工艺过程_第2页
tac涂层工艺过程_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

tac涂层工艺过程TAC（TetrahedralAmorphousCarbon，四面体非晶碳）涂层工艺是一种在材料表面形成高硬度、低摩擦系数涂层的先进技术。一、前处理1.基体清洗：-使用等离子清洗等方法，彻底清除基体表面的杂质、油污等，以确保涂层与基体之间的良好结合。-在一些高级工艺中，还可能采用真空炉腔内的氩离子轰击，进一步清除表面微小颗粒和氧化层。二、涂层沉积1.靶材准备：-选择合适的靶材，通常为碳靶，并根据需要加入其他元素（如Cr）作为打底层或中间层，以提高涂层的附着力和性能。-将靶材放置于靶座上，并确保靶座处于永磁场与电磁场叠加的区域内，以提高靶材的溅射效率。2.涂层沉积：-在真空或惰性气氛环境下，采用物理气相沉积（PVD）技术，如HiPIMS（HighPowerImpulseMagnetronSputtering，高功率脉冲磁控溅射）等方法，进行涂层沉积。-通过控制靶材的溅射速率、工作气体的流量、基体温度等参数，实现TAC涂层的均匀沉积。三、后处理1.热处理：-将沉积完涂层的工件进行热处理，以提高涂层的结晶度和致密度。热处理的温度和时间需根据具体工艺和材料而定。-在某些工艺中，热处理还可在惰性气氛或真空环境下进行，以防止涂层在高温下氧化。2.冷却与检测：-将热处理后的工件冷却至室温，并进行各项性能检测，如硬度、摩擦系数、附着力等，以确保涂层质量符合要求。四、其他注意事项-工艺控制：在整个工艺过程中，需严格控制各项参数，如工作气压、溅射功率、基体温度等，以确保涂层的稳定性和一致性。-基材选择：TAC涂层适用于多种基材，包括金属、非金属等。但在实际应用中，需根据基材的特性和使用需求选择合适的涂层工艺和参数。-环保与安全：TAC涂层工艺应符合环保要求，确保在生产过程中不对环境造成污染。同时，需采取必要的安全措施，保障生产人员的安全。需要注意的是，以上步骤仅为TAC涂层工艺的一般流程，具体工艺可

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论