真空技术 术语-编制说明

一、工作简况

1任务来源

本项目是根据国标委标准制修订计划（国标委发[2021]年41号文），计划编号20214700-T-604，项目名

称“真空技术术语”进行修订。主要起草单位：东北大学，计划应完成时间2023年。

2主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2021年3月，东北大学即组织专家研究ISO3529-1：2019《Vacuumtechnology

－Vocabulary－Part1:Generalterms》、ISO3529-2：2020《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part2:Vacuum

pumpsandrelatedterms》和ISO3529-3：2014《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part3:Totalandpartial

pressurevacuumgauges》的相关内容，分别于2021年6月23日-25日于浙江杭州，以及2021年9月25日

于甘肃省天水市，召开工作组会议，商讨标准中术语和定义的细节总是。2022年1月10日，东北大学、台

州职业技术学院收到国标委批复文件后，随即着手成立项目起草工作组，开始逐一翻译文稿，因术语标准涉

及面广，与当前真空产品发展情况以及大专院校的教学内容关联紧密，又要贴合业内使用习惯，因此工作组

在真空技术行业以及大专院校内开展了广泛的调研分析，并与GB/T3163-2007的内容相比较，结合当前的

行业需求，确立了草案框架，逐步完善草案内容，形成标准征求意见稿，经组长审核后，于2022年7月25

日报至秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处同意，2022年7月29日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、

文稿邮寄等方式公开征求意见，向行业有关单位、科研院所、大专院校及有代表性的标准利益方发函征求意

见。

3主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等

本标准由东北大学、台州职业技术学院、沈阳真空技术研究所有限公司等单位共同起草。

二、标准编制原则和主要内容

1.标准编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目

标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、

产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规

则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑真空技术行业的发展状况，技术水平，力求确立真空技

术领域的概念体系，并领域内的交流、合作以及教学使用。

本标准为修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，修订GB/T3163-2007，

转化ISO3529(所有部分）时，术语和定义的内容完全一致。GB/T3163-2007制定之初，因参照德国真空技

术标准，在标准中纳入了多项真空技术应用领域的术语和定义，例如：真空系统、真空检漏、真空镀膜、表

面分析技术等，因此没有将该标准按分部分采标，而是整合转化为一项国家标准。因此，此次ISO3529（所

有部分）做了修订，国内因而亦申请修订GB/T3163-2007时，也继续沿用此标准号，没有分部分申请立项。

但由于当前真空技术应用领域的飞速发展，GB/T3163-2007中所含有的术语和定义已无法满足当前的需求，

在一些相关领域的国行标中，依据应用领域的技术要求也对这些术语做了重复定义。因此，本次修订过程中，

不再纳入真空技术应用领域的术语，仅保留真空计校准相关内容，与全压和分压真空计内容配合使用。

2标准主要内容

本标准修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，标准名称修改为《真空技

术术语》，重新编制了范围一章，主要内容与ISO3529（所有部分）完全一致，在此基础上增加了真空计

校准的相关术语和定义。界定了真空技术领域基础通用、真空泵及其相关、全压和分压真空计方面的术语和

定义，确立了真空技术领域的概念体系。

标准中姨真空区域做了重新划分，修订了“真空”、“真空压力”、“容积真空泵”、”滑阀真空泵“、”低温泵

“、”干式真空泵“、“体积流率”、“流量”、“临界前级压力”、“极限压力”、“基础压力”、“压缩比”、真空计的

“测量范围”等术语和定义。纳入了当前已得到普及应用的诸如“超清洁真空”、“隔膜真空泵”、“螺杆真空泵”、

“爪式真空泵”、“非蒸散吸气剂真空泵”、“复合涡轮分子真空泵”、“机械增压真空泵”、“电离计灵敏度”、

“Bourdon真空计”、“薄膜真空计”、“电容薄膜真空计”、“磁悬浮转子真空计”、“皮拉尼真空计”、“热电偶真

空计”、“离子能量分析真空计”、“离子阱质谱仪”等最新的术语和定义。删除了诸如“标准环境条件”、“标准

环境状态”、“气镇泵”、“体积碰撞率”、“气体量”、“吸气剂离子泵”、“电离计系数”、“冷阴极电离计”等内容。

重新构建了真空镀膜术语的结构框架。

3主要技术差异

本文件代替GB/T3163-2007《真空技术术语》，与GB/T3163-2007相比，除结构调整和编辑性改动外，

主要技术变化如下：

——更改了文件的范围，删除了真空技术应用领域的术语和定义涵盖范围（见第1章，2007年版的2.1）

——删除了“标准环境条件”（见2007年版的2.1）；

——删除了“标准气体状态”（见2007年版的2.2）；

——更改了“真空区域”的划分范围（见3.1.1.2，2007年版的2.2）；

——增加了“超清洁真空”的术语和定义（见3.1.1.3）；

——更改了“压力”的定义（见3.1.1.4，2007年版的2.5）；

——删除了“帕斯卡”（见2007年版的2.6）；

——删除了“分压力”中的符号和单位（见3.1.1.5，2007年版的2.7）；

——更改了“饱和蒸气”的定义（见3.1.2.6，2007年版的2.15）；

——增加了“体积速度”的术语和定义（见3.1.2.10）；

——增加了“气体温度”的术语和定义（见3.1.2.11）；

——更改了“气体量（压力-体积单位）”的定义（见3.1.2.12，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定义（见3.1.3.1，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾数”的定义（见3.1.3.2，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏参数”的术语和定义（见3.1.3.3）；

——更改了“碰撞率”的定义（见3.1.3.4，2007年版的2.21）；

——删除了“体积碰撞率”（见2007年版的2.22）；

——删除了“气体量”（见2007年版的2.23）；

——更改了“气体的扩散”的定义（见3.1.3.5，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滞流”的定义（见3.1.3.7，2007年版的2.26）；

——更改了“伯谡叶流”的定义（见3.1.3.9，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的术语和定义（见3.1.3.12）；

——更改了“流量”的定义（见3.1.3.18，2007年版的2.37）；

——更改了“麦克斯韦速度分布”的定义（见3.1.3.22，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流导”的定义（见3.1.3.26，2007年版的2.45）；

——增加了“动量适应系数”的术语和定义（见3.1.4.7）；

——更改了“解吸”的定义（见3.1.4.14，2007年版的2.59）；

——更改了“渗透”的定义（见3.1.4.19，2007年版的2.64）；

——更改了“渗透率”的定义（见3.1.4.20，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定义（见3.2.1.1，2007年版的3.1.1）；

——增加了“气体传输真空泵”的术语和定义（见3.2.1.2）；

——更改了“容积真空泵”的术语和定义（见3.2.1.3，2007年版的3.1.2）；

——删除了“气镇（真空）泵”（见2007年版的3.1.2.1.1）；

——删除了“油封（液封）真空泵”（见2007年版的的3.1.2.1.2）；

——删除了“干式真空泵”（见2007年版的3.1.2.1.3）；

——增加了“隔膜真空泵”的术语和定义（见3.2.1.4）；

——增加了“线性蠕动真空泵”的术语和定义（见3.2.1.6）；

——增加了“涡旋真空泵”的术语和定义（见3.2.1.7）；

——更改了“旋片真空泵”的术语和定义（见3.2.1.8，2007年版的3.1.2.4.1）；

——更改了“液环真空泵”的定义（见3.2.1.9，2007年版的3.1.2.3）；

——增加了“外置叶片真空泵”的术语和定义（见3.2.1.10）；

——更改了“定片真空泵”的定义（见3.2.1.11，2007年版的3.1.2.4.2）；

——删除了“滑阀真空泵”（见2007年版的3.1.2.4.3）；

——更改了“余摆线泵”的定义（见3.2.1.12，2007年版的3.1.2.6）；

——增加了“蠕动真空泵”的术语和定义（见3.2.1.13）；

——更改了“罗茨真空泵”的定义（见3.2.1.14，2007年版的3.1.2.5）；

——增加了“蠕动真空泵”的术语和定义（见3.2.1.13）；

——增加了“螺杆真空泵”的术语和定义（见3.2.1.15）；

——增加了“爪式真空泵”的术语和定义（见3.2.1.16）；

——更改了“动量真空泵”的定义（见3.2.1.17，2007年版的3.1.3）；

——更改了“涡轮真空泵”的定义（见3.2.1.18，2007年版的3.1.3.1）；

——增加了“再生式真空泵”的术语和定义（见3.2.1.19）；

——增加了“复合涡轮分子真空泵”的术语和定义（见3.2.1.22）；

——增加了“气体收集真空泵”的术语和定义（见3.2.1.32）；

——更改了“气体捕集真空泵”的术语和定义（见3.2.1.33，2007年版的3.1.4）；

——增加了“非蒸散吸气剂真空泵”的术语和定义（见3.2.1.36）；

——删除了“吸气剂离子泵”（见2007年版的3.1.4.4）；

——删除了“升华（蒸发）离子泵”（见2007年版的3.1.4.4.1）；

——增加了“标准二极型离子真空泵”的术语和定义（见3.2.1.39）；

——增加了“二极型离子真空泵”的术语和定义（见3.2.1.40）；

——增加了“三极型离子真空泵”的术语和定义（见3.2.1.41）；

——更改了“低温真空泵”的术语和定义（见3.2.1.42，2007年版的3.1.4.5）；

——增加了“冷凝器”的术语和定义（见3.2.1.43）；

——增加了“表面冷凝器”的术语和定义（见3.2.1.44）；

——增加了“喷雾冷凝器”的术语和定义（见3.2.1.45）；

——增加了“表面凝结（结霜）”的术语和定义（见3.2.1.46）；

——更改了“叶片”的定义（见3.2.2.4，2007年版的3.2.4）；

——更改了“气镇阀”的定义（见3.2.2.9，2007年版的3.2.6）；

——更改了“扩压器”的定义（见3.2.2.16，2007年版的3.2.13）；

——增加了“干式真空泵”的术语和定义（见3.2.4.1）；

——更改了“高真空泵”的定义（见3.2.4.6，2007年版的3.4.5）；

——增加了“机械增压真空泵”的术语和定义（见3.2.4.7.1）；

——增加了“喷射增压真空泵”的术语和定义（见3.2.4.7.2）；

——删除了“附属真空泵”（见2007年版的3.4.7）；

——更改了“体积流率”的定义（见3.2.5.1，2007年版的3.5.1）；

——更改了“真空泵的流量”的定义（见3.2.5.2，2007年版的3.5.2）；

——更改了“前级压力”的定义（见3.2.5.4，2007年版的3.5.4）；

——更改了“临界前级压力”的定义（见3.2.5.5，2007年版的3.5.5）；

——更改了“最大工作压力”的定义（见3.2.5.7，2007年版的3.5.7）；

——更改了“极限压力”的定义（见3.2.5.8，2007年版的3.5.8）；

——增加了“基础压力”的术语和定义（见3.2.5.9）；

——增加了“入口压力”的术语和定义（见3.2.5.10）；

——更改了“压缩比”的定义（见3.2.5.11，2007年版的3.5.9）；

——更改了“加热时间”的术语和定义（见3.2.5.19，2007年版的3.5.18）；

——更改了“冷却时间”的术语和定义（见3.2.5.20，2007年版的3.5.19）；

——增加了“最大连续抽气量”的术语和定义（见3.2.5.21）；

——更改了“裸规”的定义（见3.3.1.2.1.1，2007年版的4.1.2.1.1）；

——更改了“全压真空计”的定义（见3.3.2.3，2007年版的4.2.3）；

——更改了“分压真空计”的定义（见3.3.2.4，2007年版的4.2.4）；

——更改了“分压真空计”的术语和定义（见3.3.3.1，2007年版的4.3.1）；

——删除了“电离计系数（压力单位倒数）”（见2007年版的4.3.4）；

——增加了“电离计灵敏度”的术语和定义（见3.3.3.4）；

——更改了“液位压力计”的定义（见3.3.4.1.1，2007年版的4.4.1.1）；

——增加了“布尔登压力计”的术语和定义（见3.3.4.1.2.1）；

——增加了“薄膜真空计”的术语和定义（见3.3.4.1.2.2）；

——增加了“电容薄膜真空计”的术语和定义（见3.3.4.1.2.3）；

——更改了“黏滞真空计”的定义（见3.3.4.2.1，2007年版的4.4.2.1）；

——增加了“磁悬浮转子真空计”的术语和定义（见3.3.4.2.1.1）；

——增加了“石英摩擦真空计”的术语和定义（见3.3.4.2.1.2）；

——增加了“热电偶真空计”的术语和定义（见3.3.4.2.2.1）；

——增加了“皮拉尼真空计”的术语和定义（见3.3.4.2.2.2）；

——增加了“热敏电阻表”的术语和定义（见3.3.4.2.2.3）；

——更改了“电离真空计”的定义（见3.3.4.3.1，2007年版的4.4.3.1）；

——增加了“交叉场电离真空计”的术语和定义（见3.3.4.3.2）；

——删除了“放射性电离计”（见2007年版的4.4.3.2）；

——删除了“冷阴极电离计”（见2007年版的4.4.3.3）；

——更改了“潘宁计”的定义（见3.3.4.3.2.1，2007年版的4.4.3.3.1）；

——更改了“磁控管真空计”的术语和定义（见3.3.4.3.2.2，2007年版的4.4.3.3.2）；

——增加了“翻转磁控管真空计”（见3.3.4.3.2.3）；

——增加了“发射阴极电离真空计”（见3.3.4.3.3）；

——删除了“放电管指示器”（见2007年版的4.4.3.3.3）；

——增加了“离子能量分析真空计”（见3.3.4.3.3.8）；

——删除了“双金属线振荡器真空计”（见2007年版的4.4.3.4.9）；

——增加了“离子阱质谱仪”（见3.3.5.2.4）；

——更改了“飞行时间质谱仪”的定义（见3.3.5.4.1，2007年版的4.5.4.1）；

——增加了“反射质谱仪”（见3.3.5.4.1.1）；

——增加了“Wiley-Mclaren质谱仪”（见3.3.5.4.1.2）；

——删除了“真空系统及有关术语”（见2007年版的第5章）；

——删除了“检漏及有关术语”（见2007年版的第6章）；

——删除了“真空镀膜技术”（见2007年版的第7章）；

——删除了“真空干燥和冷冻干燥”（见2007年版的第8章）；

——删除了“表面分析技术”（见2007年版的第9章）；

——删除了“真空冶金”（见2007年版的第10章）；

——更改了“符号和缩略语”（见第4章，2007年版的附录B）；

——删除了附录“在采用国际单位制（SI制）之前使用的压力单位和换算系数”（见2007年版的附录A）；

——更改了真空泵分类表（见附录A，2007年版的附录C）；

——增加了全压真空计树形图（见附录B）；

——更改了与ISO3529结构编号对照一览表（见附录C，2007年版的D）；

——删除了中文索引（见2007年版的中文索引）；

——删除了英文索引（见2007年版的英文索引）。

4解决的主要问题

本标准为修订项目，原标准GB/T3163-2007修改采用的国际标准ISO3529(所有部分）：1981均已完

成修订，自1981年距今的40年间，真空技术发展迅猛，因此原有的术语内容已无法满足现有技术应用的需

求，如：新增加的“超清洁真空”、“复合涡轮分子泵”等术语，都是以往术语体系中不存在的内容，对真空

区域也重新做了划分。同时，原有的术语也被赋予了新的概念，或是定义发生了变化，这使得国内术语在应

用中暂时无法实现统一，国内外在对术语的理解上也存在着差异，极大地影响了学术界的交流，技术领域的

沟通学习，以及应用领域的兼容性。其次，GB/T3163-2007中存在一些定义不规范、表述错误、术语层次

划分不清晰的错误，均需得到修改。因此本标准的修订可有效解决标龄老化问题，标准的时效性。同时性能

参数、新型产品、前沿技术的最新术语和定义，亦可指导生产制造，提高产品技术性能，可更好地满足市场

和使用需要，亦有助于在真空技术、真空设备、真空科研等相关领域，与国外开展对标达标，对提升我国真

空技术水平具有十分重要的作用。

三、主要试验（或验证）情况

本标准是术语标准，没有进行试验或验证分析。

四、标准中涉及专利的情况

本标准不涉及专利问题。

五、预期达到的社会效益、对产业发展的作用等情况

术语标准作为整个真空行业以及真空技术应用领域科研生产、教学研发等相关活动的基础标准，对开展

国际合作、对外贸易和交流有着重要且深远的影响。尤其是近些年，在真空获得、真空测量、真空应用等方

面发展出许多新兴技术，在航空航天、高能物理、新兴能源、化工制药、半导体等领域也诞生了许多新型应

用，原有的概念体系无法满足当前技术发展的需求。

本标准为修订项目。通过修订，充分纳入和反映了当今新产品、新技术、新工艺和新参数的先进技术成

果，保证了标准的时效性，为当前真空技术的发展、应用、研究和教学提供技术支撑，建立全新的概念体系，

且与国际真空技术概念体系保持一致发展。该标准做为真空技术行业的基础性标准，亦为今后真空技术标准

的发展规定了基本准则。对引导和规范真空技术及相关应用领域的发展，提升标准的先进性、合理性和适用

性起到了关键性的支撑作用。

六、与国际、国外对比情况

本标准修改采用ISO3529-12020、ISO3529-22019、ISO3529-32014。

本标准的技术内容与国际标准完全一致，在此基础上增加了真空计校准内容。

本标准修订过程中未测试国外样品、样机。

本标准水平为国际先进水平。

七、在标准体系中的位置，与现行相关法律、法规、规章及相关标准，特别是强制性标准

的协调性

本专业领域的标准体系框架如图（见附件）。

本标准属于真空技术标准体系“01真空技术”大类。

本标准与现行相关法律、法规、规章及相关标准协调一致。

八、重大分歧意见的处理经过和依据

无。

九、标准性质的建议说明

建议本标准的性质为推荐性国家标准。

十、贯彻标准的要求和措施建议

建议本标准批准发布即实施。

十一、废止现行相关标准的建议

无。

十二、其他应予说明的事项

无。

一、工作简况

1任务来源

本项目是根据国标委标准制修订计划（国标委发[2021]年41号文），计划编号20214700-T-604，项目名

称“真空技术术语”进行修订。主要起草单位：东北大学，计划应完成时间2023年。

2主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2021年3月，东北大学即组织专家研究ISO3529-1：2019《Vacuumtechnology

－Vocabulary－Part1:Generalterms》、ISO3529-2：2020《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part2:Vacuum

pumpsandrelatedterms》和ISO3529-3：2014《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part3:Totalandpartial

pressurevacuumgauges》的相关内容，分别于2021年6月23日-25日于浙江杭州，以及2021年9月25日

于甘肃省天水市，召开工作组会议，商讨标准中术语和定义的细节总是。2022年1月10日，东北大学、台

州职业技术学院收到国标委批复文件后，随即着手成立项目起草工作组，开始逐一翻译文稿，因术语标准涉

及面广，与当前真空产品发展情况以及大专院校的教学内容关联紧密，又要贴合业内使用习惯，因此工作组

在真空技术行业以及大专院校内开展了广泛的调研分析，并与GB/T3163-2007的内容相比较，结合当前的

行业需求，确立了草案框架，逐步完善草案内容，形成标准征求意见稿，经组长审核后，于2022年7月25

日报至秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处同意，2022年7月29日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、

文稿邮寄等方式公开征求意见，向行业有关单位、科研院所、大专院校及有代表性的标准利益方发函征求意

见。

3主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等

本标准由东北大学、台州职业技术学院、沈阳真空技术研究所有限公司等单位共同起草。

二、标准编制原则和主要内容

1.标准编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目

标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、

产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规

则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑真空技术行业的发展状况，技术水平，力求确立真空技

术领域的概念体系，并领域内的交流、合作以及教学使用。

本标准为修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，修订GB/T3163-2007，

转化ISO3529(所有部分）时，术语和定义的内容完全一致。GB/T3163-2007制定之初，因参照德国真空技

术标准，在标准中纳入了多项真空技术应用领域的术语和定义，例如：真空系统、真空检漏、真空镀膜、表

面分析技术等，因此没有将该标准按分部分采标，而是整合转化为一项国家标准。因此，此次ISO3529（所

有部分）做了修订，国内因而亦申请修订GB/T3163-2007时，也继续沿用此标准号，没有分部分申请立项。

但由于当前真空技术应用领域的飞速发展，GB/T3163-2007中所含有的术语和定义已无法满足当前的需求，

在一些相关领域的国行标中，依据应用领域的技术要求也对这些术语做了重复定义。因此，本次修订过程中，

不再纳入真空技术应用领域的术语，仅保留真空计校准相关内容，与全压和分压真空计内容配合使用。

2标准主要内容

本标准修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，标准名称修改为《真空技

术术语》，重新编制了范围一章，主要内容与ISO3529（所有部分）完全一致，在此基础上增加了真空计

校准的相关术语和定义。界定了真空技术领域基础通用、真空泵及其相关、全压和分压真空计方面的术语和

定义，确立了真空技术领域的概念体系。

标准中姨真空区域做了重新划分，修订了“真空”、“真空压力”、“容积真空泵”、”滑阀真空泵“、”低温泵

“、”干式真空泵“、“体积流率”、“流量”、“临界前级压力”、“极限压力”、“基础压力”、“压缩比”、真空计的

“测量范围”等术语和定义。纳入了当前已得到普及应用的诸如“超清洁真空”、“隔膜真空泵”、“螺杆真空泵”、

“爪式真空泵”、“非蒸散吸气剂真空泵”、“复合涡轮分子真空泵”、“机械增压真空泵”、“电离计灵敏度”、

“Bourdon真空计”、“薄膜真空计”、“电容薄膜真空计”、“磁悬浮转子真空计”、“皮拉尼真空计”、“热电偶真

空计”、“离子能量分析真空计”、“离子阱质谱仪”等最新的术语和定义。删除了诸如“标准环境条件”、“标准

环境状态”、“气镇泵”、“体积碰撞率”、“气体量”、“吸气剂离子泵”、“电离计系数”、“冷阴极电离计”等内容。

重新构建了真空镀膜术语的结构框架。

3主要技术差异

本文件代替GB/T3163-2007《真空技术术语》，与GB/T3163-2007相比，除结构调整和编辑性改动外，

主要技术变化如下：

——更改了文件的范围，删除了真空技术应用领域的术语和定义涵盖范围（见第1章，2007年版的2.1）

——删除了“标准环境条件”（见2007年版的2.1）；

——删除了“标准气体状态”（见2007年版的2.2）；

——更改了“真空区域”的划分范围（见3.1.1.2，2007年版的2.2）；

——增加了“超清洁真空”的术语和定义（见3.1.1.3）；

——更改了“压力”的定义（见3.1.1.4，2007年版的2.5）；

——删除了“帕斯卡”（见2007年版的2.6）；

——删除了“分压力”中的符号和单位（见3.1.1.5，2007年版的2.7）；

——更改了“饱和蒸气”的定义（见3.1.2.6，2007年版的2.15）；

——增加了“体积速度”的术语和定义（见3.1.2.10）；

——增加了“气体温度”的术语和定义（见3.1.2.11）；

——更改了“气体量（压力-体积单位）”的定义（见3.1.2.12，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定义（见3.1.3.1，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾数”的定义（见3.1.3.2，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏参数”的术语和定义（见3.1.3.3）；

——更改了“碰撞率”的定义（见3.1.3.4，2007年版的2.21）；

——删除了“体积碰撞率”（见2007年版的2.22）；

——删除了“气体量”（见2007年版的2.23）；

——更改了“气体的扩散”的定义（见3.1.3.5，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滞流”的定义（见3.1.3.7，2007年版的2.26）；

——更改了“伯谡叶流”的定义（见3.1.3.9，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的术语和定义（见3.1.3.12）；

——更改了“流量”的定义（见3.1.3.18，2007年版的2.37）；

——更改了“麦克斯韦速度分布”的定义（见3.1.3.22，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流导”的定义（见3.1.3.26，2007年版的2.45）；

——增加了“动量适应系数”的术语和定义（见3.1.4.7）；

——更改了“解吸”的定义（见3.1.4.14，2007年版的2.59）；

——更改了“渗透”的定义（见3.1.4.19，2007年版的2.64）；

——更改了“渗透率”的定义（见3.1.4.20，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定义（见3.2.1.1，2007年版的3.1.1）；

——增加了“气体传输真空泵”的术语和定义（见3.2.1.2）；

——更改了“容积真空泵”的术语和定义（见3.2.1.3，2007年版的3.1.2）；

——删除了“气镇（真空）泵”（见2007年版的3.1.2.1.1）；

——删除了“油封（液封）真空泵”（见2007年版的的3.1.2.1.2）；

——删除了“干式真空泵”（见2007年版的3.1.2.1.3）；

——增加了“