集成电路高温动态老化系统校准规范

1松松证子集成电路高温动态老化系统校准规范注：使用本规范时，受法意使用上述引用文献的现行有效版本4.1.1温度参数温度范围：20℃~150℃;24.2数字驱动信号特性参数4.2.1数字信号脉冲宽度脉冲宽度范围：≥100ns最大允许误差：±10%4.2.2数字信号幅度电压范围：100mV～20V最大允许误差：±1%4.3模拟驱动信号特性参数4.3.1模拟信号频率频率范围：1Hz～32kHz最大允许误差：±3%4.3.2模拟信号幅度电压范围：100mV～20V最大允许误差：±3%4.4老化板器件电源参数电压范围：100mV～20V最大允许误差：±1%5校准条件5.1环境条件5.1.1环境温度：(15～35)℃5.1.2环境相对湿度：≤80%5.1.3交流电源电压：(220±11)V;(50±1)Hz周围无强电磁场干扰及无影响校准系统正常工作的机械振动。5.2校准用计量标准、仪表设备测量范围：-80℃~200℃最大允许误差：±0.2℃RTD测量范围：-200℃~600℃最大允许误差：±0.08℃直流电压测量范围：±(100mV~50V)最大允许误差：±0.1%交流电压测量范围：(100mV～50V),32kHz最大允许误差：±0.1%5.2.4数字示波器带宽：100MHz(-3dB)幅度测量范围：100mV～20V最大允许误差：±3%时间间隔测量范围：10ns～10s最大允许误差：±3%6.1设备工作正常性检查3集成电路高温动态老化系统应能正常工作，将检查结果填入附录A“工作正常性检6.2高温试验箱校准6.2.1选择校准标称点应选择设备使用范围的下限、上限及中间点，也可根据用户需要选择实际使用的温度点，推荐校准：85℃和125℃两个温度点。6.2.2数据采集器通电，预热30min以上。6.2.3选择校准点位置，布放温度传感器温度校准点分布在设备工作室内的三个校准面上，简称上、中、下三层，中层为通过工作室几何中心的、平行于底面的校准工作面，校准点与工作室内壁的距离为各边长的1/10,遇风道时，此距离可加大，但不能大于500mm。如果设备带有样品架或样品车时，下层校准点可布放在样品架或样品车上方10mm处。当设备容积小于2m³时，温度校准点为9个，O点位于中层几何中心，如图2所示。其中，温度校准点用A,B,C等字母表示。上层上层门中层门6.2.4高温试验箱的校准按规定布放温度传感器，并将负载装入工作空间，将高温试验箱的温度控制器设定到所要求的标称温度，使试验设备升温或降温至设定标称温度。在达到设备自身稳定状态后开始读数，每2min测试所有校准点的温度一次，在30min内共测试15次。(1)温度偏差T——各校准点在n次测量中的最低温度，℃;(2)温度均匀度4老化区数字驱动信号单元老化区数字驱动信号单元(3)温度波动度依据上述公式进行数据处理C将测量结果记录于附泉入表A.1中。6.3数字驱动信号单元特性参数校准6.3.1数字驱动信号设费电压幅度校准通6.3.2数字驱动信号设置脉冲宽度校准数字驱动信号单元设置脉冲宽度校准连接如图3所示，将示波器探头与被校系统的老化板上数字驱动信号管脚相连接，探头的地端与系统的地管脚连接。被校系统编制程序设置数字驱动信号单元输出脉冲宽度为twx(优选受检点为厂家技术手册中的最小编程脉冲宽度)的方波，示波器测量脉冲宽度tws,按公式(6)计算设置数字驱动信号脉冲宽度的误差，将计算结果记录于附录A表A.3中。5老化区 通道2老化区 通道2tws——脉冲宽度测量值，ns;△twp——设置脉冲宽度误差，ns。6.3.3对于多个数字信号通道，重复6.3.1～6.3.2的校准步骤。6.4模拟驱动信号单元特性参数校准6.4.1模拟驱动信号单元功能正常性检查模拟驱动信号单元功能正常普检查阅备药安图如图4所示，编制程序设置模拟驱动信号单元分别输出幅度5N为10kHz的正弦波。二角波、锯齿波和矩形波，使用示波器观察输出波形的幅度、频率是否正确，将检查结果填入附录A表A.4中。模拟驱动信号单元6.4.2模拟驱动信号单元设置频率校准Vp为5V,频率基(优选受校点为1Hz、1kHzokHz、30以)的正弦波，示波器测量频率为Fs,搜公到(7)计算设置模拟驱动信号频率的误差，将计算结果记录于附录A式中：Fx——被检系统设置场产值，Hz;△F₄——设置频率误差，Hz。6.4.3模拟驱动信号单元电压设置校准模拟驱动信号单元电压校准的连接图如图5所示，编制程序设置模拟驱动信号单元输出频率为10kHz,幅度为5V的正弦波，选取适当的负载，使被校单元的负载不小于满载电流的50%(推荐负载为满载的50%～80%点)。设置数字电压表为交流电压测量模式，测量驱动信号的设置电压，按照公式(8)计算设置电压的误差，将计算结果记录6数字电压表模拟驱动信号单元老化区数字电压表模拟驱动信号单元老化区+p通道1+功率电阻6.4.4对于多个模拟信号通道，重复6.4.1～6.4.3的校准步骤。6.5老化区器件电源单元电压设置校准老化区器件电源设置电压校准连接如图6所示，数字电压表设置为直流电压测量方式，自动设置量程。考虑到系统老化器件电源的带负载能力，应同时将所有老化区的电源接入相同的负载电阻。被校系统编制程序设置老化板器件电源单元电压Vx(优选受检点：2V、5V、10V、18V),用数字电压表测量电压Vs,按照公式(9)计算设置电压误差，将计算结果记录于附录A表A.7中，对于多个老化区器件电源将重复上述校准PVMUX功率电阻器件电源单元数字电压表老化区—十77校准结果的表述集成电路高温动态老化系统的校准结果用校准证书或校准报告表达，证书或报告至少应有所校项目的校准不确定度的信息。补充内容具体见附录B。8复校时间间隔集成电路高温动态老化系统的复校时间用户根据使用情况决定，建议复校时间间隔为1年，必要时可随时送校。8集成电路高温动态老化系统校准证书格式上层D中层下层温度指示值!℃表A.1心测量点5枪小值O点A点B点C点D点E点F点G点H点温度上偏差温度下偏差温度均匀度温度波动度±9三、数字驱动信号单元特性参数3.1设置电压幅度校准表A.2通道号允许误差限3.2设置脉冲宽度校准表A.3通道号系统设置值twx/ns测量值tws/ns误差△twp/ns允许误差限四、模拟驱动信号单元特性参数4.