中国科技大学7-环境监测新技术导论()

第七章：微流控分析芯片技术

微流控分析芯片的提出与发展主要来自于环境及材料科学发展中对更多、更准、更快的获得物质成分信息的须要。这种芯片就是接受微细加工技术，将微通道、微阀、微泵、微储液器、微电极、微检测器、窗口和连接器等功能元件集成在芯片上而构成的微型全分析系统（μ-TAS）。μ-TAS的目标是把整个化验室的功能包括采样、稀释、加试剂、反应、分别、检测等集成到微芯片上，因此，有芯片试验室的叫法，最终实现分析试验室的“个人化”、“家用化”。§1微流控分析芯片的结构与制作一、微流控芯片的结构特点1.是一种以微通道为网络，将微泵、微阀、微储液器、微电极、微检测器连接在一起而组成的集成系统。对加入微通道中的流体进行限制与分别测定，以完成多种分析功能，如采样、稀释、加试剂、反应、分别检测等。2.面积约为几个cm2.3.微管道宽度与深度为µm级。4.所用材料除硅片、石英、玻璃外，还可是

有机化合物如环氧树脂等。加工技术除微机电加工外，还有模塑法、热压法、激光烧蚀法等。

二、芯片的制作方法

1.光刻和蚀刻

光刻和蚀刻技术由薄膜沉积、光刻和蚀刻三个工序组成，可表示如下:基片基片基片薄膜光胶层光刻蚀刻薄膜作为牺牲层疼惜基片表面，对于玻璃牺牲层用Cr,而硅片则用SiO2。

2.芯片钻孔

在通道的端头打一小孔，以便流体通过小孔进入通道网络。

3.键合：

键合方法：热键合、阳极键合、粘合、低温键合等。

热键合：硅片与硅片之间的热键合称为硅熔键合。将硅片放在硫酸溶液中清洗干净，再用盐酸除去表面的有机物和金属污染物。然后将硅片浸泡在约

100℃的氢氧化铵溶液中，使表面通过水化反应增加OH基，通过范德华力的作用可使处理后的硅片紧密的贴合在一起。将贴合在一起的硅片放在高温炉中加热到800

～1000℃退火，界面上发生如下反应。Si–O–H····H–O–SiSi–O–Si+H2O这样，两块硅片就可坚实的贴合在一块了。硅片表面的干净度是能否成功键合的关键。

§2、微流控分析系统中微流体的驱动与限制一、微流体驱动系统驱动系统主要由机械微泵或非机械微泵组成，目前在微分析系统中，以往复式机械微泵最为常见，结构如下：单向阀单向阀泵腔致动器泵膜液体流入液体流出驱动系统示意图致动器的功能：供应驱动液流的动力。泵膜：泵膜可往复运动，是一种可活动的机械部件。单向阀：保证微泵驱动液流操作的连续性和定向性。致动器产生的动力作用于泵膜，使其发生形变或位移，以驱动泵膜内的液体。致动力的循环往复变更引气泵膜的往复运动，协作两单向阀的限流作用，形成单向连续流淌的液流。对驱动系统的要求：1.体积应尽可能小，易与芯片上其他系统实现集成化。2.流速:流速范围大，流速的重现性好，流速的脉动性小。3.泵压：对不同系统有不同的要求，如在芯片毛细管电泳分别系统中，泵压需在3～10MPa之间，流速在50nL/min～50µL/min范围。二、微流体的进样与混合系统1.进样系统：将一段试样以塞流形式注射到分别分析通道。进样方法：基于时间和基于体积的进样方法。进样过程：充样和注样

基于时间的进样方法

a).“T”形通道进样法：

BSDBDS充样注样缓冲溶液试样分别分析通道BSD以电动注样的方式向分析通道注入确定体积的试样，试样体积由注样电压（流速）和注样时间来确定。优点：流路设计和操作简洁，注样体积灵敏可调，可引入比较大量的试样，但换样不便利。（2）门式进样法BWSSBWDDBSDW

充样注样换样这种进样方法是在充样阶段，接受分流的方法分出一部分试样液流进入分别分析通道，通过限制充样电压和时间可以限制进样量。门式进样法在注样-分别分析阶段，试样通道和分析通道内液流可同时保持连续流淌的状态，其优点是便于换样和操作。可在分别分析的同时进行换样操作。

2.

微流体的混合系统：分流型混合器夹层结构（玻璃/硅/玻璃）A、B溶液

玻璃硅片玻璃

AB分流型混合器

该方法的基本原理是：因扩散时间与扩散距离

的平方成正比，通过将液流分成多个薄层液流，可缩短液流间的扩散距离，显著降低混合时间。理论上，将液流分为n个分支薄层液流，将使混合时间加快n2倍。本系统的优点是：混合器死体积小，内部通道仅有600nl,混合效率高，速度快，可在微小体积内以毫秒级的时间完成混合（在15ms内达到95%的混合）。两液流流速和流速比范围比较广，分别为1～200µL/min。激光器滤光片1芯片显微物镜二向色镜目镜光阑滤光片2光电倍增管共聚焦型激光诱导荧光检测器示意图§3微流控分析系统的检测器激光器一、激光诱导荧光检测器分析仪电化学电化学检测器示意图高压电源wwcR二、电化学监测器§4.微流控分析芯片的应用技术与特点一、芯片毛细管电色谱技术逶迤形开口电色谱分别芯片结构：WRLPRSWRSRSR--样品池SWR–样品废液池LPR–流淌相池WR–废液池检测器面积：8X8mm分别通道长：171mm有效分别通长：165mm接受键合、吸附、交换等方法，将固定相结合在柱内壁制备开口管芯片毛细管电色谱，在pH8的条件下可稳定数周。利用这种毛细管芯片电色谱技术在20分钟内分别了C440、C450、C460、C480四种香斗精，效果良好。二、芯片毛细管电泳技术：

高压电源2134LIFDD---检测器LIF---激光诱导荧光下图为芯片毛细管电泳的基本结构。工作时，先在进样通道1，2施加电压，在电渗流的作用下，试样从1经十字交叉口流向2，然后将电压切换到3，4。储存在交叉口处的一段试样溶液在电渗流的推动下进入分别通道进行分别。三、芯片的多相层流无膜扩散分别：SB在微米级的通道中，低流速的液流完全呈层流状态。分别原理：粒子的扩散速度不同

H型–过滤芯片分子通过L距离所须要的扩散时间为：t3∏NηdpL2RT

T型-过滤芯片T型-过滤芯片BSBBS夹心型–过滤芯片四、芯片中的液-液萃取分别：试样萃取剂1.萃取原理：基于物质在互不相溶的两相间支配比的不同。在微流控液液萃取系统中，通过两种互不相溶的溶剂流淌相流量的调整，可以在微通道中形成超薄的有机膜，在分别的选择性、速度、富集倍率等方面较单纯的多相层流无膜扩散分别有较明显的优势。2.微流控液液萃取的特点及影响因素：优点：a）保持两相连续接触，无需通过机械震荡进行混合。b）短距离扩散缩短了平衡时间。c）具有大的比表面。d）试剂用量少（100nl）e）萃取率高。f）萃取的同时可干脆检测。g）在同一芯片中可集成萃取、反萃取多个化学操作单元。

影响因素：流速、比表面大小、扩散距离、反应速度。五、微流控分析芯片的特点：优点：1.具有极高的效率：很多微流控芯片可在数秒～数十秒时间内自动完成分别测定或其他困难的操作，分别分析速度常高于相应的宏观分析法1～2个数量级。这种快速的过程是因为在微米级的通道中具有很高的导热性和很快的传质速率以及结构尺寸的减小。

2.试样与试剂消耗甚微（数微升水平）3.易制成功能齐全的便携式仪器用于各类现场分析监测。4.耗材少，有利于普及。局限性：目前状况而言，体积大，功能不全，制作成本偏高。

§5微流控芯片在环境监测中的应用近年来，微流控分析芯片技术在环境监测分析方面已表现出强劲的发展势头，越来越多的用于环境实际样品的分别分析工作。环境样品的来源主要是水源、大气和土壤三个方面，由于大多数环境样品中的待测组分含量极低，且基底特殊困难，干扰组分多，同种元素以多种形式存在，易受环境影响而变更等特点，所以，在分别测定前都须要对样品进行预富集处理。1.水样中污染物的分别测定PetrPraus利用毛细管等速电泳和毛细管区带电泳完成了饮用水中亚氯酸盐的检测．用电导检测法检出限达到了0.012mg／L~0.017mg／L．曾小岚接受高效毛细管电泳法对环境水样中溶解态的钙、镁、钠等金属离子进行分别检测，4.5min内钙、镁、钠3种金属离子完全分别，而且试样预处理简洁，重现性良好，回收率为94.8～105.8．毛细管几乎可以分别除挥发性或难溶物之外的各种分子．

再如以热透镜为检测器测定水样中的

Co2+、Fe2+、K+等。光度法测定水中的NH3、NH4＋、NO3-等化学发光法测定Cr3+,

检测限可达10-7mol/L

ˉ-2.气体污染物的测定：

在芯片上加工一个多种气体选择性处理单元（内容积640微升左右）、两个SnO2气体传感器检测单元（内容积270微升左右），通过一系列管路和微阀的组合，对微量待测污染气体进行检测。两个SnO2气体传感器中，一个厚膜，一个薄膜。薄膜传感器对O3、NO2敏感（400oC）厚膜传感器对CO、CH4敏感（500oC