标准解读

《GB/T 32293-2015 真空技术　真空设备的检漏方法选择》是一项国家标准，主要针对在真空技术领域内如何选择适合的检漏方法进行了规定。该标准适用于各种类型的真空系统或组件，在设计、制造、安装及使用过程中需要进行气密性检测时提供指导。

根据标准内容，首先明确了不同类型的泄漏以及它们可能对真空系统造成的影响。接着，介绍了多种常见的检漏技术及其工作原理，包括但不限于氦质谱检漏法、卤素检漏法、压降测试等，并详细描述了每种方法的应用场景和优缺点。

此外，《GB/T 32293-2015》还强调了选择合适检漏方法时应考虑的因素，如被测系统的特性（例如体积大小、材料）、预期达到的检漏灵敏度水平、成本效益分析等。对于特定情况下的最佳实践也给出了建议，帮助用户根据实际情况做出合理的选择。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-12-10 颁布
  • 2016-07-01 实施
©正版授权
GB/T 32293-2015真空技术真空设备的检漏方法选择_第1页
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文档简介

ICS23160

J78.

中华人民共和国国家标准

GB/T32293—2015

真空技术真空设备的检漏方法选择

Vacuumtechnology—Selectionofleaktestmethodsforvacuumequipment

2015-12-10发布2016-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T32293—2015

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

人员资格

4…………………1

通用要求

5…………………2

检漏方法汇总

6……………2

检漏方法选择程序

7………………………3

检漏方法的选择

8…………………………3

检漏安全

9…………………5

附录规范性附录不同检漏条件的漏率修正

A()………6

附录规范性附录真空设备常用检漏方法及主要特征参数

B()………8

附录资料性附录真空设备其他检漏方法及主要特征参数

C()………10

Ⅰ

GB/T32293—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国机械工业联合会提出

。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本标准起草单位北京卫星环境工程研究所中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所安徽

:、、

皖仪科技股份有限公司台州环球真空设备制造有限公司湖南维格磁流体股份有限公司中山凯旋真

、、、

空技术工程有限公司威海智德真空科技有限公司东莞劲胜精密组件股份有限公司沈阳真空技术研

、、、

究所

。

本标准主要起草人孙立臣史纪军李得天刘恩均汪力闫荣鑫张春元孙刚陈光奇刘磊

:、、、、、、、、、、

黄文平赵伟胜赵计春言继春王功发言润泉高峰胡双丽林乐忠王长明王玲玲

、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T32293—2015

真空技术真空设备的检漏方法选择

1范围

本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求通用要求检漏实施的安全要求选择程序

、、、

及选择原则检漏方法的特征参数

、。

本标准适用于真空设备的检漏方法选择适用的真空设备包括真空容器真空管道真空泵真空阀

,、、、

门真空镀膜设备真空干燥设备真空冷冻干燥设备表面分析设备真空冶金设备空间环境模拟设

、、、、、、

备半导体生产设备等真空设备工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准

、。

执行

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

真空技术术语

GB/T3163

无损检测人员资格鉴定与认证

GB/T9445

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3163。

31

.

漏率leakagerate

在规定条件下一种特定气体通过漏孔的流量

,。

32

.

有效最小可检漏率effectiveminimumdetectableleakagerate

qemin

在具体的工作条件下检漏方法所能检出的最小漏孔漏率

,。

33

.

允许漏率acceptableleakagerate

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