气敏湿敏传感器课件

河南工业职业技术学院电气工程系第二讲气敏湿敏传感器一、气敏传感器二、湿敏传感器河第二讲气敏湿敏传感器一、气敏传感器气敏传感器可以识别气体的种类，测量气体的量，多用于检测气体中所含某种特定气体的成分，将其变成电信号。一、气敏传感器

气敏电阻是一种半导体敏感器件，它是利用气体的吸附而使半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人们发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO、NiO、BaTiO3等都具有气敏效应。1、半导体气敏传感器的工作机理：气敏传感器可以识别气体的种类，测量气体的量，多半导体气敏传感器的类型可分电阻型和非电阻型两大类。电阻型有表面电阻型如氧化锡（SnO2）、氧化锌（ZnO）等和体电阻型（Fe2O3）系列；非电阻型有MOS场效应管型、二极管型（表面电流型——氢敏传感器）和固体电解质型。

2、半导体气敏传感器分类：按制造工艺上分烧结型、薄膜型、厚膜型。薄膜型气敏元件采用真空镀膜或溅射方法,在石英或陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜（厚度0.1μm以下）,构成薄膜型气敏元件。半导体气敏传感器的类型可分电阻型和非电阻型两大类。电厚膜型气敏元件将气敏材料（如SnO2、ZnO）与一定比例的硅凝胶混制成能印刷的厚膜胶。

工艺最成熟的是烧结型的。烧结型气敏元件将元件的电极和加热器均埋在金属氧化物气敏材料中,经加热成型后低温烧结而成。目前最常用的是氧化锡（SnO2）烧结型气敏元件,它的加热温度较低,一般在200～300℃,SnO2气敏半导体对许多可燃性气体,如氢、一氧化碳、甲烷、丙烷、乙醇等都有较高的灵敏度。厚膜型气敏元件将气敏材料（如SnO2、ZnO）与一定烧结型气体传感器的加热方式分为直热式和间热式两种,其结构与符号如图4-2-1、4-2-2所示。A、烧结型气体传感器的结构与符号图4-2-1直热式气敏器件结构及符号1234SnO2烧结体加热极兼电极(a)结构4321(b)符号1、2、3、4为热子兼电极

直热式的加热丝兼作电极。其结构简单、成本低、功耗小；但热容量小，易受环境气流影响；因加热丝热胀冷缩，易使之与材料接触不良；在测量电路中，信号电路和加热电路相互干扰。烧结型气体传感器的加热方式分为直热式和间热式两种,A、烧结型图4-2-2间热式气敏器件结构及符号1、2，3、4—直热式热子兼电极2、5—间热式热子1、3，4、6—间热式电极7—SnO2烧结体8—绝缘瓷管间热式的加热丝与电极分立，加热丝插入陶瓷管内，管外壁上涂制梳状金电极，最外层则为SnO2烧结体。它克服了直热式的缺点，有较好的稳定性。图4-2-2间热式气敏器件结构及符号间热B、烧结型气体传感器的工作特性在检测前，材料表面原已吸着氧，所以对可燃性气体更敏感。最佳工作温度一般多在200～500℃范围内。为使传感器能在这样高的温度范围稳定工作，具有高温稳定性的半导体材料只有金属氧化物，常见的是SnO2和ZnO。遇H2、CO、碳氢化合物等(还原性即可燃性)气体，材料表面层电阻率减小；遇O2等氧化性气体时，材料表面层电阻率增大。1)气敏特性B、烧结型气体传感器的工作特性在检测前，材料表面原已2)温湿度特性SnO2传感器的阻值随温度、湿度上升而有规律地减小。因此除尽量保持恒温、恒湿外，其有效措施是选用温湿度特性好的气敏元件及在电路中进行温湿度补偿。3)初期恢复特性及初期稳定特性经短期存放再通电时，传感器电阻值有短暂的急剧变化（减小），这一特性称为初期恢复特性，它与元件种类、存放时间及存放环境有关。存放时间愈长，初期恢复时间亦愈长，存放7天到15天后的初期恢复时间一般约在2～5min之内。当长期存放后再通电时，在一段时间内传感器阻值一般高出正常值20％左右，而以后慢慢恢复至正常稳定值，这一特性亦称作初期稳定特性。2)温湿度特性SnO2传感器的阻值随温度、湿度上升而C、体电阻控制型气敏传感器1)Fe2O3系列

Fe2O3系列现有α-Fe2O3和γ-Fe2O3。主要检测液化石油气、煤气和天然气。α-Fe2O3对水蒸气和乙醇不灵敏，特别适合做家庭可燃气报警器。2)氧气传感器

Nb2O5对氧气敏感。用其制成氧传感器检测汽车发动机和锅炉等所排废气中的氧气分压强，以控制其最佳燃烧状态，以达节能目的。C、体电阻控制型气敏传感器1)Fe2O3系列2)氧气传感器气敏元件外形

酒精传感器

其他可燃性气体传感器气敏元件外形酒精传感器其他可燃性气体传感器酒精传感器的选择性酒精传感器的选择性一氧化碳传感器一氧化碳传感器NH3传感器甲烷传感器NH3传感器甲烷传感器3、气敏传感器的应用图4-2-3防止酒后开车控制器原理图3、气敏传感器的应用图4-2-3防止酒后开车控制器原理图图中QM-J1为酒敏元件。若司机没喝酒，在驾驶室内合上开关S，此时气敏器件的阻值很高，Ua为高电平，U1为低电平，U3为高电平，继电器K2线圈失电，其常闭触点K2-2闭合，发光二极管VD1通，发绿光，能点火起动发动机。

若司机酗酒，气敏器件的阻值急剧下降，使Ua为低电平，U1为高电平，U3为为低电平，继电器K2线圈通电，K2-2常开触头闭合，发光二极管VD2通，发红光，以示警告，同时常闭触点K2-1断开，无法起动发动机。

若司机拔出气敏器件，继电器K1线圈失电，其常开触电K1-1断开，仍然无法起动发动机。常闭触电K1-2的作用是长期加热气敏器件，保证此控制器处于准备工作的状态。图中QM-J1为酒敏元件。若司机没喝酒，在驾驶室内合上开关S家用有毒气体探测报警器

一氧化碳、液化气、甲烷、丙烷都是有毒可燃气体，当空气中达到一定浓度时，将危及人的健康与安全。本电路线路简单，但具有很高的灵敏度，对探测上述有毒气体是行之有效的。图4-2-4有毒气体探测报警电路家用有毒气体探测报警器一氧化碳、液化当空气中有毒气体浓度下降至使A、K两点间恢复高阻时，K点电位低于1.4V，U850截止，报警解除。图4-2-4所示电路为探测报警电路。用QM--N10气敏传感器作为探测头，它是一种新型的低功耗、高灵敏度的气敏元件。和其他气敏传感器一样，QM--N10也有一个加热丝和一对探测电极，它是用半导体N型材料制成的。当空气不含有毒气体时，A、K两点间的电阻很大，流过RP的电流很小，K点为低电位，达林顿管U850不导通；当空气中含有还原性气体时(如上述有毒气体)，A、K两点间的电阻迅速下降，通过RP的电流增大，K点电位升高，向C2充电直至达到U850导通电位(约1.4V)时，U850导通，驱动发声集成片KD9561发声。图4-2-4所示电路为探测报警电路。用QM--N10二、湿敏传感器绝对湿度：是指大气中水汽的密度，即每一立方米大气中所含水汽的质量(克数)。相对湿度：是大气中实有水汽压与当时温度下饱和水汽压的百分比，是日常生活中常用来表示湿度大小的方法。当相对湿度达100%时，称饱和状态。1、湿度的相关概念二、湿敏传感器绝对湿度：是指大气中水汽的密度，即每一立方米大2、湿度检测方法湿度检测的方法可分为四类：毛发湿度计法，干湿球湿度计法，露点计法，阻容式湿度计法。其中干湿球湿度计与露点计的时效小，可用于高精度测量，但体积大，响应速度低，无电信号，不能用于遥测及湿度自动控制。阻容式湿度传感器体积小、响应速度快，便于把湿度转换为电信号，但稳定性差，不耐SO2的腐蚀。

2、湿度检测方法湿度检测的方法可分为四类：毛发湿度计1）干湿球湿度计外形

干湿球湿度计外形干球湿球1）干湿球湿度计外形干湿球湿度计外形干球湿球

左边的玻璃温度计（湿球）用湿棉球包裹，并浸没在水槽里。湿棉球由于水份蒸发，所以其温度低于室温，致使湿球的示值低于干球。查对应的湿度表就可知道空气的相对湿度。虽然干湿球湿度计的历史悠久，但现在还经常用它作为电子相对湿度仪表的标定仪器。2）干湿球湿度计原理：左边的玻璃温度计（湿球）用湿棉球包裹，并浸3、陶瓷湿敏传感器金属氧化物半导体陶瓷为多孔结构材料，吸附水蒸气能力强且灵敏度高；物理化学性能稳定；响应速度快；可加热清洗，有利于在恶劣环境下工作；工作范围宽且兼有热敏和气敏特性，可制成多功能敏感元件；生产工艺简单，成本低，是制作湿度传感器的理想材料。主要缺点是：材料固有电阻大，高温性能不够稳定，难以集成化等。一般金属半导体氧化物陶瓷，如MgCr2O4-TiO2等，具有感湿负特性，湿度增大，电阻减小。过渡金属氧化物半导体陶瓷，如Fe3O4等，具有感湿正特性。

3、陶瓷湿敏传感器金属氧化物半导体陶瓷为多孔1）湿敏传感器的分类1）湿敏传感器的分类图4-2-5MgCr2O4-TiO2湿敏传感器结构与湿度特性a)结构b)特性1—康塔尔加热丝2—底座3—杜美丝引线4—引线环电极5—湿敏陶瓷6—RuO2电极2）几种湿敏传感器的结构及特性用P型半导体MgCr２O4及N型半导体TiO２粉粒为原料,配比混合，烧结成复合型半导体陶瓷。当水分子吸附在表面时，其表面电阻明显下降。图4-2-5MgCr2O4-TiO2湿敏传感器结构与湿度在片状多孔陶瓷的两表面烧结多孔金属电极模，焊接铂铑引线，封装于带筛网孔的方形塑料外壳内。这种传感器不须用加热器，只需0.5mW的微小功率即可使用。已广泛应用于轻纺、食品加工、仓库管理、环境保护、家用电器等许多领域。图4-2-6ZnO-ZnCr2O4陶瓷湿度传感器结构1为网眼过滤器，2为塑料外壳，3为陶瓷元件，4为多孔电极，5为元件支架，6为电极引线，7为玻璃固定部分，8为密封，9为树脂密封，10为端子。在片状多孔陶瓷的两表面烧结多孔金属电极模，焊接铂铑引3）湿敏传感器的使用A．电源选择湿敏电阻必须工作于交流回路中。若用直流供电，会引起多孔陶瓷表面结构改变，湿敏特性变劣。采用交流电源频率过高，将由于元件的附加容抗而影响测湿灵敏度和准确性，因此应以不产生正、负离子积聚为原则，使电源频率尽可能低。对离子导电型湿敏元件，电源频率应大于50Hz，一般以1KHz为宜。对电子导电型，电源频率应低于50Hz。3）湿敏传感器的使用A．电源选择湿敏电阻必须工作于交流回Ｂ．线性化一般湿敏元件的特性均为非线性，应用中应将其线性化。Ｃ．温度补偿通常氧化物半导体陶瓷湿敏电阻湿度温度系数为0.1～0.3，故在测湿精度要求高的情况下必须进行温度补偿。Ｄ．测湿范围电阻式湿敏元件在温度超过95％RH时，湿敏膜因湿润溶解，厚度会发生变化，若反复结露与潮解，特性变坏而不能复原。电容式传感器在8O％RH以上高湿及100％RH以上结露或潮解状态下，也难以检测。另外，切勿将湿敏电容直接浸入水中或长期用于结露状态，也不要用手摸或嘴吹其表面。Ｂ．线性化一般湿敏元件的特性均为非线性，应用中应将其线性Ｅ．阻容值的测量测量湿度传感器阻值Rp和容值Cp的三种电路如图4-2-7所示。图4-2-7a为低频交流供电，其中R0选值远大于Rp,限制电流为微安级且恒定，输出电压与Rp成正比。图4-2-7低频交流电源测RPＥ．阻容值的测量测量湿度传感器阻值Rp和容值Cp的三种电路如为了提高灵敏度而又限制温升，可采用图b所示的低频脉冲供电，电路中采用温度常数与Rp温度系数相等的热敏电阻Rt作采样电阻，以实现温度补偿。图c为电容值测量电路，当电源信号频率很高时，Rp的影响可忽略，Cp＝CFU0／Ui。图4-2-7b）低频脉冲电源测RPc)高频电源测RP为了提高灵敏度而又限制温升，可采用图b所示的低频脉冲陶瓷元件的加热去污应切实控制在450℃。它利用元件的温度特性进行温度的检测和控制。当温度达到450℃即中断加热，但由于未加热前元件吸附有水分，突然加热会出现相当于450℃时的阻值，而实