原料腐蚀清洗工艺操作规范

1、3/3XXX光电资料有限企业文件编号：Q/WS9308-4-2009原料的腐化冲刷工艺操作规范版本号：A/0页码：第1页共3页WINSAINT奏效日期：2009年8月1日一、目的：为正确、规范原料的腐化冲刷工艺操作，保证生产作业正常，特拟定本规范。二、范围：合用于原料的腐化冲刷作业。三、依据：使用说明书四、权责单位：原料腐化冲刷生产车间五、作业流程：作业准备原料浸泡清水冲刷原料腐化超声冲刷烘干净化送检包装。六、主要内容1、作业准备、进入腐化车间须穿着好干净工作服、鞋。戴防腐化手套、口罩，穿防备服、鞋。、检查化学试剂规格、纯水质量。原料浸泡：氢氧化钠、硝酸、盐酸、氢氟酸、氟化铵、硫酸一律用工业级

2、或分析纯原料腐化：硝酸(含量65%68%)、氢氟酸(含量40%)、盐酸应为电子级；纯水电阻率大于15兆欧厘米以上。检查腐化手套安全不漏设置好烘箱的温度，并送电。2、作业、原料的浸泡、1、将片料称重后装入周转箱中，以大体上半箱为准。2、向原资猜中分别倒入盐酸和硝酸，盐酸与硝酸的比率为2：1。3、在浸泡大体3-4天此后，用清水将酸冲刷干净。B、1、将埚底料称重后装入周转箱中，以大体上半箱为准。2、称取1-2公斤左右的氟化铵，加到埚底猜中。3、向周转箱中加入工业级的纯氢氟酸，以浸过原资料为准，此中氟化铵需溶解到氢氟酸中。4、埚底料浸泡的时间大体为4天左右。5、浸泡完成，用清水冲刷，尽量将酸给冲刷干净

3、。注意事项：1、浸泡片料、埚底料的时间的长短要视实质见效，可适合的延伸浸泡的时间。2、关于表面含有金属的片料，可适合的加大盐酸的量。3、由于浸泡埚底料所用到的工业级的氢氟酸为二次利用的回收酸，所以在浸泡埚底料前要视埚底料表面的石英及其余杂质，可适合的加入1-2桶的新的氢氟酸。4、操作人员必定要做好防备，戴防腐化手套、口罩，穿防备服、鞋。2、腐化冲刷A、抛光片、彩片等硅片的腐化冲刷1、清水冲刷硅片料。2、碱液腐化。依据冲刷硅料的多少配制氢氧化钠溶液。一般为氢氧化钠：水=1：1（质量比），腐化时间一般为2-4分钟，腐化过程中要不停的搅拌，使碱液与硅料表面充分反响。硅料表面光明、干净即可。3、纯水多

4、次超声冲刷。纯水多次超声冲刷，使表面残留的碱尽量洗净。防备有碱液残留。4、酸漂洗在氢氟酸中浸泡5分钟左右。（氢氟酸：水=1：1（体积比），XXX光电资料有限企业文件编号：Q/WS9308-4-2009原料的腐化冲刷工艺操作规范版本号：A/0页码：第2页共3页WINSAINT奏效日期：2009年8月1日5、水洗，超声。超声时间大体10分钟左右。甩干。注意事项：1、碱液腐化硅料时要视实质见效，依据实质状况可适合的改变冲刷的时间。2、硅料腐化后要实时用纯水冲刷，且必定要冲刷干净，防备造成表面氧化。3、操作人员必定要做好防备，戴防腐化手套、口罩，穿防备服、鞋。B、多晶料、头尾料、边皮料、提杂料、埚底料

5、的腐化冲刷1、分筐、关于头尾料、提杂料须先进行打磨办理。此后按型号、电阻率破裂分筐。、边皮料表面的杂污先用肥皂水浸泡，擦洗干净。表面假如有大批的杂质的话，可进行超声加热、擦洗干净后，此后按型号、电阻率破裂分筐、关于埚底料须先进行浸泡办理。此后按型号、电阻率分筐。清水冲刷硅资料2、混酸腐化。在HNO3：HF=3：1-7：1的混酸中浸泡1-2分钟左右，浸泡过程中要适合的搅拌，使混酸与硅料表面充分反响。硅料表面光明、干净即可。3、纯水多次超声冲刷。纯水多次超声冲刷，使表面残留的酸尽量洗净。应测试PH值为7-8，防备有酸残留。4、每腐化500硅料需改换腐化液一次，详细改换时间需视硅料冲刷见效。注意事项

6、：1、混酸腐化硅料时要视实质见效，可适合的改变混酸的比率以及冲刷的时间。2、硅料腐化后要实时用纯水冲刷，且必定要冲刷干净，防备造成表面氧化。3、操作人员必定要做好防备，戴防腐化手套、口罩，穿防备服、鞋。4、籽晶、母合金腐化方法与头尾料同.、烘干。硅料送入设置好温度的烘箱高温干燥。注意硅料不可以直接接触不锈钢的烘盘。、净化送检，包装。分选包装必定要高纯条件下进行，用高纯塑料袋封装。每袋操作者要穿着高纯工作服、口罩、手套。5公斤5、记录XXX光电资料有限企业文件编号：Q/WS9308-4-2009原料的腐化冲刷工艺操作规范版本号：A/0页码：第3页共3页WINSAINT奏效日期：2009年8月1日腐化工艺控制表MN-10-A硅料名称硅料批号硅料型号硅料根源领料人工艺配比领料重量HF：HNO3=（）:（NaOH=（）%）入库重量复洗重量配液工腐化工耗资重量本批硅料腐化使用化学品状况化学名称生产厂家生