等离子体化学-3学习教案

1、会计学1等离子体等离子体(dnglzt)化学化学-3第一页，共41页。第1页/共41页第二页，共41页。放电为2450MHz ) ，它能导致电子回旋共振，增加放电频率，有利于提高工艺质量。第2页/共41页第三页，共41页。第3页/共41页第四页，共41页。（3）电场和气压对等离子体的性质的影响P111 图3.3。 a：注意:在低压，强电场条件下，电流密度 小时容易产生辉光放电，电流密度增大到一定值后过度到弧光放电。 b：若一个大气压或更高的气压下，可不经过(jnggu)辉光放电直接从电晕放电过度到弧光放电。（4） 等离子体温度与气压的关系：P112图3.4第4页/共41页第五页，共41页。第5

2、页/共41页第六页，共41页。第6页/共41页第七页，共41页。MeAMA第7页/共41页第八页，共41页。第8页/共41页第九页，共41页。的碰撞次数为:eeN1第9页/共41页第十页，共41页。第10页/共41页第十一页，共41页。第11页/共41页第十二页，共41页。第12页/共41页第十三页，共41页。第13页/共41页第十四页，共41页。第14页/共41页第十五页，共41页。第15页/共41页第十六页，共41页。方向1cm行程中与气体分子碰撞所产生的平均电离次数，按图3.8描述P122。第16页/共41页第十七页，共41页。数,同时产生nq个电子。第17页/共41页第十八页，共41页

3、。第18页/共41页第十九页，共41页。dxnnndnqpp0qpnnnn0dxnnndnpp0第19页/共41页第二十页，共41页。0pn0nnndxp 时 (3.25) ddnnexpexp0denn0第20页/共41页第二十一页，共41页。ddsnsnsniexpexp0得0ii0expdddee第21页/共41页第二十二页，共41页。满足自持放电(fng din)要求。ddeeiinn100de第22页/共41页第二十三页，共41页。0/n000nnnniiinnn100第23页/共41页第二十四页，共41页。这样(zhyng)得到自持放电条件为: （3.34）denn0110dide

4、enn110dideeii011die11 die第24页/共41页第二十五页，共41页。第25页/共41页第二十六页，共41页。第26页/共41页第二十七页，共41页。2:从中可见, VB存在一极小值。从中还可见:p ， d ,反应p ，d 。pdf第27页/共41页第二十八页，共41页。（3.39）11ln1dPEBApexpdVEBB)11ln(expApVBpddB第28页/共41页第二十九页，共41页。11lnlnApdBpdVB越越，BVp第29页/共41页第三十页，共41页。e越越，BVp11ln718. 2minABVB第30页/共41页第三十一页，共41页。第31页/共41页第三十二页，共41页。第32页/共41页第三十三页，共41页。第33页/共41页第三十四页，共41页。第34页/共41页第三十五页，共41页。第35页/共41页第三十六页，共41页。第36页/共41页第三十七页，共41页。第37页/共41页第