化学品供应系统简介

1、Chemical Supply System化学品供应系统简介 课 程 大 纲 系统之目的 化学品之种类与用途 系统之基本要求 化学品供应质量要求 系统之流程图 CDU之流程图 TEE-BOX之构造 VMB之构造 SAMPLING BOX之构造 系统设备之材料要求 运转操作注意事项系统之目的 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件化学品之种类与用途(一) 酸性: 腐蚀性腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3O

2、P4. 毒性毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 碱性:NH4OH,KOH,Developer. 有机溶剂 易燃液体易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. 腐蚀性有机溶剂腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2.化学品之种类与用途(二)系统之基本要求 操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑 化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品 兼容兼容 微粒子控制：过滤器循环过滤微粒子控制：过滤器循环过滤 满足最大需求流量：高浓度化学品如满足最大需求流量：高浓度

3、化学品如H2SO4、 H3PO4 自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化 取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量 取样分析取样分析 泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO) 系统诊断：系统诊断：Pump、Filter 、Valve运转时数运转时数 维修保养管路维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能功能 化学品用量统计化学品用量统计化学品供应质量要求Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics11000.510 PPb.810

4、0-2000.2-0.31-2 PPb.550-1000.21 PPb.35200.21 PPb.25100.1100 PPt系统之流程图(一)CCBStorge Tank12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote1m3200LDrum化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank适合使用量较大之化学品,如H2O2,H2SO4等适合使用量中等之化学品,如HF,H3PO4等适合使用量较小之化学品,如BOE,HNO3等将化学品经循环过滤,再经N2或Pump加压输送至有需求之生产机台内将化学品经管路分配至不同生产机台S可依

5、实际用量需求选择使用Tee BoxSampling Box系统之流程图(二)Provided By Systems Chemistry,INCFMCSOCPHUBCDUVMBToolTee Box系统之流程图(三)TOOL机台机台OCPSCADA ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加强讯号循环过滤 25”后供酸启动CDU 循环过滤后，同时由OCP供应GN2，打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOLCHEMICAL LINEGN2 LINESIGNAL LINE供酸VMB泄漏警报系统之流程图(四)Tool SideOCP SideTroubleReadyStopRequestE

6、lectric Signal Interface Between BCDS & ToolEMO1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应 若是，则回传Ready讯号若否，则回传Trouble讯号3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品+24V+24V+24VCCB之流程图Provided By NOVAGN2inletStorageTank充填槽车CDUCDU之流程图(型一)Provided By NOVAOutletPumpTransferFilterSupplyFilterGN2inletCDAinletDrumD

7、ay TankTankCDU之流程图(型二)Provided By Systems Chemistry,INCOutletDrumTankPumpTrans/RecFilterSupplyFilterTEE-BOX之构造主管路主管路VMBDrain Port手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器Provided By NOVA1.箱体以PP制成2.CPVC外盖3.箱体与外盖间以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸碱类适用VMB之构造箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain PortinletTo ToolsCDA inlet From OCP to 气动阀For The Future UsePu

8、rge inletDrain PortExhaust气动阀手动阀保养管路时需先以PN2将化学品 Purge至机台端 Drain4132Provided By NOVA1.箱体以PP制成2.CPVC外盖3.箱体与外盖间以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸碱类适用SAMPLING-BOX之构造1.将取样瓶置入,并关闭 箱门2.按压按钮,再打开取样 手动阀3.化学品流出达需求之 量后,关闭手动阀,放开 按钮4.打开箱门,盖上瓶盖,取 出取样瓶5.清洁取样箱按钮手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain PortinletProvided By NOVA1.箱体以SUS制成2.钢丝玻璃外盖3

9、.箱体与外盖间以 O-Ring密合有机溶剂类适用系统设备之材料要求 一般无机酸碱类 外管：CPVC 内管：PFA Piping & Tubing 管件：铁弗龙材质制品 有机溶剂类 外管：SUS 304 内管：SUS 316L EP 管件：SUS 316L以上制品 有机碱类 外管：SUS 304 内管：PFA Piping & Tubing 管件：铁弗龙材质制品运转操作注意事项(一)充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施工作前，先行思考及演练各细节后，再行动工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认正确选用及使用适当防护器具正确处理化学品废弃物，

10、避免造成后续伤害良好个人安全卫生环保习惯认知工作安全”意外”意识运转操作注意事项(二)熟知化学品泄漏处理七项步骤远离泄漏源辨示泄漏状况 寻求协助支持 管制隔离污染区 拯救伤员 围堵外泄物 清除污染物及环境检测 事故调查记录留存运转操作注意事项(三)熟知化学品淋溅烧伤之急救处理稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质自救-救人前应先保护自己冲-清水不断冲洗至少15分钟脱-边冲边脱并避免二次伤害支持-请求支持成立紧急处理ERT 对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙(涂抹-按摩-擦净-涂抹)送-尽速送医运转操作注意事项(四)熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理原则1.维持呼吸，血液循环，维持患者生命2.减轻患者病痛，促使其能早日康