镀膜工艺.ppt

1、镀膜工艺培训,2011.03.10,镀膜玻璃,镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。 镀膜玻璃按产品的不同特性可分为以下几类： 阳光控制膜玻璃、低辐射镀膜玻璃（Low-E）等。,阳光控制膜玻璃的介绍,阳光控制膜玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，主要用于建筑和玻璃幕墙。,阳光控制膜,需求： 遮挡太阳能 好看的外观颜色,Low-E镀膜玻璃介绍,玻璃是重要的建筑材料，随着对建筑物装饰性要求的不断提高，玻璃在建筑行业中的使用量也不断增大。然而，当今人

2、们在选择建筑物的玻璃门窗时，除了考虑其美学和外观特征外，更注重其热量控制、制冷成本和内部阳光投射舒适平衡等问题。这就使得镀膜玻璃家族中的新贵，Low-E玻璃脱颖而出，成为人们关注的焦点。,Low-E玻璃又称低辐射玻璃，是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品。其镀膜层对中远红外线高反射的特性，使其与普通玻璃及传统的建筑用镀膜玻璃相比，具有以下明显优势： 优异的热性能 良好的光学性能,Low-E玻璃的分类,1.在线Low-E：在浮法玻璃冷却工艺过程中完成的。液体金属或金属粉沫直接喷射到热玻璃表面上，随着玻璃的冷却，金属膜层成为玻璃的一部分，故其膜层材料一般为半导体氧化物。 2.离线Lo

3、w-E：采用真空磁控溅射镀膜工艺，在玻璃表面镀制多层复合膜，主要功能膜层一般为银（Ag）膜，其它膜层为辅助膜，起加强连接、保护主膜等作用。依据Ag膜的不同又分为单Ag，双Ag等不同产品大类，色彩丰富。,玻璃镀膜,目标 调整可见光透过率 减少阳光热量（遮阳） 减少热损失（保温） 形成颜色 结果 增加生活舒适度 减少费用 空调/暖气 可以让玻璃窗形成 使人喜欢的颜色,Low-E玻璃,Low-E = Low emissivity (低辐射）,通过玻璃的反射来减少热损失，不是靠吸收,Low-E中空玻璃,真空磁控溅射的镀膜工艺,磁控溅射的工作原理是指在高真空条件下，电子在电磁场的作用下，飞向基片过程中与

4、氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar+和新的电子， Ar+ 在电磁场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。,溅射过程,溅射过程,溅射用靶,靶材,什么是靶材？通俗地讲是氩离子要轰击的材料，也就是玻璃要镀上的材料（反应溅射是靶材结合反应性气体） 镀膜所用的靶材可分为两类： 一个是平面靶，另一个旋转靶，其中平面靶又可分为整体式和分体式。 如按材料性质来分，可分为金属靶和陶瓷靶 如按靶材安装数量来分又可分单旋转靶。和孪生旋转靶，单平面靶和孪生平面靶。,溅射系统概述,整条设备其中包括： 真空泵、溅射源 配电柜、气体供应 人机操作界

5、面等,溅射系统概述,整个过程，玻璃是从右侧进从左侧出 C1 为进入腔室 C2 为缓冲腔室 C3 为转移腔室 C4 为工艺腔室 C5 为转移腔室 C6 为缓冲腔室 C7 为出口腔室,玻璃检测系统,腔室外的在线测量（包括可见光透过率、膜面可见光反射率、玻璃面可见光反射率和面电阻等）,玻璃检测系统,腔室内测量 例：双银镀膜机,玻璃检测系统,人机界面,阳光控制膜系和LOW-E膜系的材料及性能,阳光控制膜系,1.低的可见光透过率和阳光透射率 2.太阳能的反射和吸收 主要靶材的应用： Si3N4、Cr、SnO2等,LOW-E膜系（舒适型/高选择型）,舒适（舒适型、舒适阳光型和高舒适型） 单银LowE（主要

6、靶材为：Ag、 SnO2 、NiCrOx、Si3N4、 ZnO2 、TiO2 等） 单银层 高可见光透过率和阳光透射率 低辐射率，高红外线的反射。（室内热量）,LOW-E膜系（舒适型/高选择型）,高选择型 主要靶材为：Ag、 SnO2 、NiCrOx等 2个银层导致： 高可见过透过率 低阳光透过率 很低的辐射率，高的红外反射,抛光粉,作用：用于清洗玻璃表面的发霉、油污、印痕等污染物 主要成分：有氧化铈及氧化铝两种类型,隔离粉,用途及工作原理： 如果两片玻璃间无隔离，玻璃间会形成很小的间 隙，水汽会在其中凝结成水，由于缝隙非常狭细，很小的一滴水就会覆盖相当大的玻璃表面。由于水量小，从玻璃中析出来

7、的钠离子会很快使水的PH值达到临界值9，从而导致玻璃表面发生大面积的腐蚀发霉等现象。,镀膜线用隔离粉主要成分：PMMA即聚丙烯酸甲酯，不含酸性防腐蚀 喷隔离粉使玻璃间缝隙变大，等量的冷凝水只能覆盖相对小得多的玻璃表面，则受腐蚀的玻璃表面积就会大大减少。 玻璃间缝隙大，冷凝水的量也大，则让水的PH值达到临界值9所需要的钠离子量也大，发生腐蚀时间大大延长，即储存时间会变长。 玻璃间缝隙大使空气流通，有助于减少水汽凝结。 有添加酸性化合物的隔离粉可形成缓冲体系，防止水汽凝结时PH值升高腐蚀玻璃。,注意事项： 1、正常情况下不会对健康产生危害，但其残余单体可能会使敏感体质的人出现皮肤过敏。 2、微粒会

8、对眼睛产生物理刺激，可用大量清水清洗，带走微粒。 3、小心被散落在地面的树脂微粒滑倒，撒落的树脂要尽快清理干净。 4、该微粒会产生大量静电，小心避免火花放电，周围最好不要放有机溶剂和易燃气体,工艺气体,镀膜用工艺气体主要有氮气、氩气、氧气 氮气在镀膜中主要是用作反应性气体。镀膜线用的是高纯氮。 高纯氩在镀膜中主要用于产生等离子体，轰击靶材达到溅射的目的。 高纯氧在镀膜中主要也是用作反应性气体。,气体使用过程注意事项,1. 搬运、充装注意事项 （1）在搬动存放气瓶时，应装上防震垫圈，旋紧安全帽，以保护开关阀，防止其意外转动和减少碰装。 （2）搬运充装有气体的气瓶时，一般用特别的担架或小推车，也可

9、以用手平抬或垂直转动。但决不允许用手搬着开关阀移动 （3）运输和装卸气瓶时，必须配戴好气瓶瓶帽（有防护罩的气瓶除外）和防震圈。充装有气的气瓶装车运输时，应妥善加以固定，避免途中滚动碰装；装卸车时应轻抬轻放，禁止采用抛卸、下滑或其他易引起碰击的方法。 （4）充装有互相接触后可引起燃烧、爆炸气体的气瓶（如氢气瓶和氧气瓶），不能同车搬运或同存一处，也不能和其他易燃易爆物品混合存放。 （5）气瓶瓶体有缺陷、安全附件不全或已损坏，不能保证安全使用的，切不可再送去充装气体，应送交有关单位检查合格后方可使用。,2.存放、使用原则 （1） 压力气瓶必须分类分处保管，直立放置时要固定稳妥。使用时应加装固定环。气

10、瓶要远离热源，避免曝晒和强烈震动；一定要注意分类分处保管。 （2）在钢瓶肩部，需有钢印打出下述标记： 制造厂、制造日期、气瓶型号、工作压力、气压实验压力、气压实验日期及下次送验日期、气体容积、气瓶重量。 （3） 为了避免各种钢瓶使用时发生混淆，针对不同气体钢瓶常漆上不同颜色，并用不同颜色写明瓶内气体名称： （4） 压力气瓶上选用的减压器要分类专用，安装时螺扣要旋紧，防止泄漏；开、关减压器和开关阀时，动作必须缓慢；使用时应先旋动开关阀，后开减压器；用完后，先关闭开关阀，放尽余气后，再关减压器。切不可只关减压器，不关开关阀。,（ 5） 使用压力气瓶时，操作人员应站在与气瓶接口处垂直的位置上。操作时

11、严禁敲打撞击，并经常检查有无漏气，应注意压力表读数。 （6） 使用氧气瓶时应配备专用工具，并严禁与油类接触。操作人员不能穿戴沾有各种油脂或易感应产生静电的服装手套操作，以免引起燃烧或爆炸。 （7） 气瓶与明火的距离应大于十米（确难达到时，可采取隔离等措施）。 （8） 使用后的气瓶，应按规定留0.05 Mpa以上的残余压力，防止空气倒吸。 （9）各种气瓶必须定期进行技术检查，充装一般气体的气瓶三年检验一次；如在使用中发现有严重腐蚀或严重损伤的，应提前进行检验。,几种特殊气体的性质和安全,（1）乙炔：乙炔是极易燃烧、容易爆炸的气体。含有713%乙炔的乙炔-空气混合气体，或含有30%乙炔的乙炔-氧气

12、混合气最易发生爆炸。乙炔和氧、次氯酸盐等化合物也会发生燃烧和爆炸。 存放乙炔气瓶的地方，要求通风良好。使用时应装上回闪阻止器，还要注意防止气体回缩。如发现乙炔气瓶有发热现象，说明乙炔已发生分解，应立即关闭气阀，并用水冷却瓶体，同时最好将瓶体移至远离人员的安全处加以妥善处理。发生乙炔燃烧时，绝对禁止用四氯化碳灭火。,（2）氧气：氧气是强烈的助燃气体，在高温下，纯氧十分活泼；温度不变而压力增加时，可以和油类发生急剧的化学反应，并引起发热自燃，进而产生强烈爆炸。 氧气瓶一定要防止与油类接触，并绝对避免让其它可燃性气体混入氧气瓶；禁止用（或误用）盛其他可燃性气体的气瓶来充灌氧气。氧气瓶禁止放于阳光曝晒

13、的地方。,镀膜玻璃的切割,切割 切割时隔离粉仍还在膜面上，以下是切割时的一些注意事项： 切割需在膜面进行，避免膜面与切割桌桌面接触。 切割油应适于软膜且易挥发和清洗。 切割台及任何与膜面接触的设备应预先检查是否可用。 切割人员应穿戴干净的手套避免在膜面上留下指印。 如果采用模板切割，则模板需很小心地在膜面上定位以避免与膜面磨擦。建议放置一保护片在玻璃与模板之间。 切割后的玻璃需置于架子上，小必确保首片玻璃的膜面不直接靠在架子的后部。随后的玻璃按相同方式放置，最后一片应以相反的方式放置避免运输过程与膜面的直接接触。 如果隔离粉未被清洗掉则不需用其它保护性材料，然而由于某种原因玻璃上如果没有隔离粉

14、，建议在玻璃间使用软木垫。 如果在除膜过程粉尘可以有效清除的话，可切割过程在线除膜。 建议切割后48小时内钢化，在此期间进行预处理及清洗,镀膜玻璃的磨边,磨边 1. 清洗时要用去离子水，并且保证镀膜玻璃膜面尽量避免与清洗机接触。 2. 避免玻璃镀膜面与磨边机的履带相接触。 3. 切割操作人员要带口罩和医用手套以防止污染膜面。,钢化的注意事项：,镀膜玻璃建议在切割后48小时内进行钢化或热处理 膜面朝上 手工搬运时需穿戴手套，大片玻璃应采用带保护材料的吸盘上下片 钢化前可在膜面上作标记 在使用镀膜玻璃做钢化或热处理前24小时钢化炉中停止使用二氧化硫。由于二氧化硫与钢化过程的杂质结合引起炉内较脏可能导致产品外观缺陷等级下降。 如果玻璃是手工下片，则操作人员需戴干净的手套。 大片玻璃应采用带保护材料的吸盘下片 钢化后的玻璃应贮存在架子上 除最后一片所有