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文档简介

1离子辅助沉积用射频离子源4产品参数>3A>200h5.1工作环境a)环境温度：5℃~40℃;b)环境相对湿度：30%RH～70c)大气压力：在86kPa～106kPd)不应受到影响使用的震动和强电磁场干e)供电电源：三相208V交流电，交流电压f)室内应无腐蚀性气体，通风良好。25.2外观5.2.1产品应外观整齐、清洁，表面涂、镀层无明显剥落、擦伤、露底及污垢。5.2.2外壳应平整，放于平台上不应有摇动现象。5.2.3零件结合处应整齐，无毛刺、锐棱和粗糙不平现象，刚性连接部件不得松动。5.2.4仪器可拆卸部分应无障碍地拆装。5.2.5铭牌及标志应清楚，所有紧固件不得松动，各调节器件转动灵活，功能正常。5.3尺寸偏差产品各部件实际尺寸与标示尺寸相符，允许偏差为±5%5.4.1产品各部件应齐全、完整，产品装配应正确5.4.2产品部件应有足够的强度在正常安装和使用时不应发生破坏或变形。5.5功率重复性5.6功率稳定性产品在正常工作条件下，泄漏电流应不大于击）抗扰度试验和电压暂降、短时中断和电压变化抗扰度试验时满足5.5、5.6的3············································N——测量次数；应在实际使用现场进行，记录产品自安装使用开始至首次出现故障的累计工作时间。产品在正常工作条件下，泄漏电流应不大于4√√√√√√—√—√ √—√√√8.3.2有下列情况之一时，应进行型式a)新产品试制定型鉴定；b)转厂生产的试制定型鉴定；c)产品正式生产后，结构、材料、工艺有较大改变可能影响产品性能；8.4.1每台出厂检验的产品，各项检验项目均为合格时，该台产品判定为合格。8.4.2型式检验的产品各项指标与检验项目均合格时，该台产品判定为合格；若出现不合格项目，应9标志、随行文件、包装、运输和贮存9.1标志a)产品型号、产品名称；a)产品型号、产品名称；c)包装箱体积（长×宽×高）mm、毛重和净重（e)产品

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