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微束分析用于波谱和能谱分析的国家标准化管理委员会国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会IGB/T41074—2021/ISO20720: Ⅲ 1 1 14缩略语 1 1 6附录A(资料性)压强对压片X射线强度影响的实例 7附录B(资料性)颗粒尺寸对压片X射线强度影响的实例 8参考文献 9ⅢGB/T41074—2021/ISO20720:本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规MGB/T41074—2021/ISO1微束分析用于波谱和能谱分析的本文件规定了使用安装在电子探针(EPMA)或扫描电镜(SEM)上的能谱仪(EDS)或波谱仪EDX:能谱术(energy-dispersiveX-rayspectWDX:波谱术(wavelength-disper2GB/T41074—2021/ISO方法b悬浮液烘干法方法c抽吸过滤法方法d压片法方法e树脂包埋与抛光法方法f超薄切片法附录A和附录B)。3GB/T41074—2021/ISO水加压4GB/T41074—2021/ISO或a)分析颗粒表面5a导电胶b悬浮液c抽吸过压片法树脂包超薄切离子束埋与抛片法切割法颗粒大小6原料GB/T41074—2021/ISO20720:2018真空蒸镀法和离子溅射法是保证导电性的两种主要方法。它们在微束分析目的选用合适的喷镀方法。导电性处理方法的基本原理及其特点如图5所示。原料9试样台Q负电荷蒸发对于热敏感或电子束能量敏感的颗粒试样，应增加一层具有良好热导率(如Au或Pt)的保护膜。7X射线强度比/%X射线强度比/%X射线强度比/%X射线强度比/%X射线强度比/%X射线强度比/%GB/T41074—2021/ISO0.1μm的小颗粒三氧化二铁(Fe₂O₃)粉末，其X射线强度比在压片压强为2MPa时达到饱和压强/MPa压强/压强/MPa压强/MPa8X射线强度比/%X射线强度比/%GB/T41074—2021/ISO20720:2(资料性)颗粒尺寸对压片X射线强度影响的实例为研究颗粒尺寸与X射线强度之间的关系，对不同粒径的氧化铝(Al₂O₃)粉末试样采用相同压强图B.1显示了粉末压片氧化铝(Al₂O₃)的AlKaX射线强度和块状氧化铝(Al₂O₃)的X射线强度比与Al₂O₃平均粒径之间的关系。平均粒径/μm[2]JosephD.GellerandPaulD.Engle,SamplePreparationforElectronPrPushingtheLimits,J.Res.Natl.Inst.Stand.Technol.107,2002,pp.627-638[3]ISO14594:20determinationofexperimentalparametersforwavelengthdisp[4]ISO22489:2016,Microbeamanalysis—Electronalysisforbulkspecime微束分析用于波谱和能谱分析的粉末试样制

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