真空技术 术语

ICS23.160

J78

中华人民共和国国家标准

GB/T3163—XXXX

代替GB/T3163-2007

真空技术术语

Vacuumtechnology—Terminology

(ISO3529-1:2019,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part1:Generalterms,

MOD;

ISO3529-2:2020,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part2:Vacuumpumpsand

relatedterms,MOD;

ISO3529-3:2014,Vacuumtechnology—Vocabulary—Part3:Totaland

partialpressurevacuumgauges,MOD)

（工作组讨论稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上

-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/T3163—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件修改采用ISO3529-1:2019《真空技术词汇第1部分：一般术语》、ISO3529-2:2020

《真空技术词汇第2部分：真空泵及有关术语》和ISO3529-3:2014《真空技术词汇第3部分：

真空计》。

本文件与ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020和ISO3529-3:2014相比做了下述结构调整，文件之

间的结构编号变化对照一览表见附录C：

——3.1对应于ISO3529-1:2019中的第3章；

——第4章对应于ISO3529-1:2019中的第4章；

——3.2对应于ISO3529-2:2020中的第3章；

——3.3对应于ISO3529-3:2014中的第2章；

——附录A对应于ISO3529-2:2020中的附录A；

——附录B对应于ISO3529-3:2014中的附录A。

本文件与ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020和ISO3529-3:2014的技术差异及原因如下：

——增加了真空计校准的相关术语（见3.3.6）。

本文件做了下列编辑性改动：

——为与现有标准协调，将标准名称改为《真空技术术语》。

本文件代替GB/T3163-2007《真空技术术语》，与GB/T3163-2007相比，除结构调整和编辑性改

动外，主要技术变化如下：

——更改了文件的范围，删除了真空技术应用领域的术语和定义涵盖范围（见第1章，2007年版

的2.1）

——删除了“标准环境条件”（见2007年版的2.1）；

——删除了“标准气体状态”（见2007年版的2.2）；

——更改了“真空区域”的划分范围（见，2007年版的2.2）；

——增加了“超清洁真空”的术语和定义（见）；

——更改了“压力”的定义（见，2007年版的2.5）；

——删除了“帕斯卡”（见2007年版的2.6）；

——删除了“分压力”中的符号和单位（见，2007年版的2.7）；

——更改了“饱和蒸气”的定义（见，2007年版的2.15）；

——增加了“体积速度”的术语和定义（见0）；

——增加了“气体温度”的术语和定义（见1）；

——更改了“气体量（压力-体积单位）”的定义（见2，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定义（见，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾数”的定义（见，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏参数”的术语和定义（见）；

——更改了“碰撞率”的定义（见，2007年版的2.21）；

——删除了“体积碰撞率”（见2007年版的2.22）；

II

GB/T3163—XXXX

——删除了“气体量”（见2007年版的2.23）；

——更改了“气体的扩散”的定义（见，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滞流”的定义（见，2007年版的2.26）；

——更改了“伯谡叶流”的定义（见，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的术语和定义（见2）；

——更改了“流量”的定义（见8，2007年版的2.37）；

——更改了“麦克斯韦速度分布”的定义（见2，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流导”的定义（见6，2007年版的2.45）；

——增加了“动量适应系数”的术语和定义（见）；

——更改了“解吸”的定义（见4，2007年版的2.59）；

——更改了“渗透”的定义（见9，2007年版的2.64）；

——更改了“渗透率”的定义（见0，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定义（见，2007年版的3.1.1）；

——增加了“气体传输真空泵”的术语和定义（见）；

——更改了“容积真空泵”的术语和定义（见，2007年版的3.1.2）；

——删除了“气镇（真空）泵”（见2007年版的.1）；

——删除了“油封（液封）真空泵”（见2007年版的的.2）；

——删除了“干式真空泵”（见2007年版的.3）；

——增加了“隔膜真空泵”的术语和定义（见）；

——增加了“线性蠕动真空泵”的术语和定义（见）；

——增加了“涡旋真空泵”的术语和定义（见）；

——更改了“旋片真空泵”的术语和定义（见，2007年版的.1）；

——更改了“液环真空泵”的定义（见，2007年版的）；

——增加了“外置叶片真空泵”的术语和定义（见0）；

——更改了“定片真空泵”的定义（见1，2007年版的.2）；

——删除了“滑阀真空泵”（见2007年版的.3）；

——更改了“余摆线泵”的定义（见2，2007年版的）；

——增加了“蠕动真空泵”的术语和定义（见3）；

——更改了“罗茨真空泵”的定义（见4，2007年版的）；

——增加了“蠕动真空泵”的术语和定义（见3）；

——增加了“螺杆真空泵”的术语和定义（见5）；

——增加了“爪式真空泵”的术语和定义（见6）；

——更改了“动量真空泵”的定义（见7，2007年版的3.1.3）；

——更改了“涡轮真空泵”的定义（见8，2007年版的）；

——增加了“再生式真空泵”的术语和定义（见9）；

——增加了“复合涡轮分子真空泵”的术语和定义（见2）；

——增加了“气体收集真空泵”的术语和定义（见2）；

——更改了“气体捕集真空泵”的术语和定义（见3，2007年版的3.1.4）；

——增加了“非蒸散吸气剂真空泵”的术语和定义（见6）；

——删除了“吸气剂离子泵”（见2007年版的）；

——删除了“升华（蒸发）离子泵”（见2007年版的.1）；

——增加了“标准二极型离子真空泵”的术语和定义（见9）；

——增加了“二极型离子真空泵”的术语和定义（见0）；

III

GB/T3163—XXXX

——增加了“三极型离子真空泵”的术语和定义（见1）；

——更改了“低温真空泵”的术语和定义（见2，2007年版的）；

——增加了“冷凝器”的术语和定义（见3）；

——增加了“表面冷凝器”的术语和定义（见4）；

——增加了“喷雾冷凝器”的术语和定义（见5）；

——增加了“表面凝结（结霜）”的术语和定义（见6）；

——更改了“叶片”的定义（见，2007年版的3.2.4）；

——更改了“气镇阀”的定义（见，2007年版的3.2.6）；

——更改了“扩压器”的定义（见6，2007年版的3.2.13）；

——增加了“干式真空泵”的术语和定义（见）；

——更改了“高真空泵”的定义（见，2007年版的3.4.5）；

——增加了“机械增压真空泵”的术语和定义（见.1）；

——增加了“喷射增压真空泵”的术语和定义（见.2）；

——删除了“附属真空泵”（见2007年版的3.4.7）；

——更改了“体积流率”的定义（见，2007年版的3.5.1）；

——更改了“真空泵的流量”的定义（见，2007年版的3.5.2）；

——更改了“前级压力”的定义（见，2007年版的3.5.4）；

——更改了“临界前级压力”的定义（见，2007年版的3.5.5）；

——更改了“最大工作压力”的定义（见，2007年版的3.5.7）；

——更改了“极限压力”的定义（见，2007年版的3.5.8）；

——增加了“基础压力”的术语和定义（见）；

——增加了“入口压力”的术语和定义（见0）；

——更改了“压缩比”的定义（见1，2007年版的3.5.9）；

——更改了“加热时间”的术语和定义（见9，2007年版的3.5.18）；

——更改了“冷却时间”的术语和定义（见0，2007年版的3.5.19）；

——增加了“最大连续抽气量”的术语和定义（见1）；

——更改了“裸规”的定义（见.1.1，2007年版的.1）；

——更改了“全压真空计”的定义（见，2007年版的4.2.3）；

——更改了“分压真空计”的定义（见，2007年版的4.2.4）；

——更改了“分压真空计”的术语和定义（见，2007年版的4.3.1）；

——删除了“电离计系数（压力单位倒数）”（见2007年版的4.3.4）；

——增加了“电离计灵敏度”的术语和定义（见）；

——更改了“液位压力计”的定义（见.1，2007年版的）；

——增加了“布尔登压力计”的术语和定义（见.2.1）；

——增加了“薄膜真空计”的术语和定义（见.2.2）；

——增加了“电容薄膜真空计”的术语和定义（见.2.3）；

——更改了“黏滞真空计”的定义（见.1，2007年版的）；

——增加了“磁悬浮转子真空计”的术语和定义（见.1.1）；

——增加了“石英摩擦真空计”的术语和定义（见.1.2）；

——增加了“热电偶真空计”的术语和定义（见.2.1）；

——增加了“皮拉尼真空计”的术语和定义（见.2.2）；

——增加了“热敏电阻表”的术语和定义（见.2.3）；

——更改了“电离真空计”的定义（见.1，2007年版的）；

IV

GB/T3163—XXXX

——增加了“交叉场电离真空计”的术语和定义（见.2）；

——删除了“放射性电离计”（见2007年版的）；

——删除了“冷阴极电离计”（见2007年版的）；

——更改了“潘宁计”的定义（见.2.1，2007年版的.1）；

——更改了“磁控管真空计”的术语和定义（见.2.2，2007年版的.2）；

——增加了“翻转磁控管真空计”（见.2.3）；

——增加了“发射阴极电离真空计”（见.3）；

——删除了“放电管指示器”（见2007年版的.3）；

——增加了“离子能量分析真空计”（见.3.8）；

——删除了“双金属线振荡器真空计”（见2007年版的.9）；

——增加了“离子阱质谱仪”（见.4）；

——更改了“飞行时间质谱仪”的定义（见.1，2007年版的）；

——增加了“反射质谱仪”（见.1.1）；

——增加了“Wiley-Mclaren质谱仪”（见.1.2）；

——删除了“真空系统及有关术语”（见2007年版的第5章）；

——删除了“检漏及有关术语”（见2007年版的第6章）；

——删除了“真空镀膜技术”（见2007年版的第7章）；

——删除了“真空干燥和冷冻干燥”（见2007年版的第8章）；

——删除了“表面分析技术”（见2007年版的第9章）；

——删除了“真空冶金”（见2007年版的第10章）；

——更改了“符号和缩略语”（见第4章，2007年版的附录B）；

——删除了附录“在采用国际单位制（SI制）之前使用的压力单位和换算系数”（见2007年版的

附录A）；

——更改了真空泵分类表（见附录A，2007年版的附录C）；

——增加了全压真空计树形图（见附录B）；

——更改了与ISO3529结构编号对照一览表（见附录C，2007年版的D）；

——删除了中文索引（见2007年版的中文索引）；

——删除了英文索引（见2007年版的英文索引）。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由中国机械工业联合会提出。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。

本文件起草单位：东北大学、台州职业技术学院、沈阳真空技术研究所有限公司。

本文件主要起草人：

本文件于1982年首次发布，1993年第一次修订，2007年第二次修订，本次为第三次修订。

V

GB/T3163—XXXX

真空技术术语

1范围

本文件界定了真空技术领域基础通用、真空泵及其相关、全压和分压真空计方面的术语和定义，确

立了真空技术领域的概念体系。

本文件尽可能准确地对术语给出了理论性定义，并供相关领域的交流与合作中使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

GB/T40344.1-2021真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求（ISO21360-1:2012，

IDT)

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

ISO和IEC维护的用于标准化的术语数据库地址如下：

——ISO在线浏览平台：/obp

——IEC在线浏览平台：/

3.1基本术语

3.1.1一般术语

真空vacuum

用来描述低于大气压力或大气分子密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。

真空区域rangesofvacuum

根据一定的压力范围对真空区域进行的划分。

注1：在选定真空度范围时，会有所不同，下面所列为大致认可的典型真空度范围。

注2：地面气压取决于天气状况和海拔高度，气压范围从31kPa（珠穆朗玛峰的高度和天气状况为气压低点）到110

kPa（死海的海拔高度和天气状况为气压高点）不等。

1

GB/T3163—XXXX

压力范围定义范围定义的理由如下（典型情况）

大气压(31kPa～110kPa)～压力可以通过简单的材料（如普通钢材）和容积式真

低（粗）真空

1×102Pa空泵来获得；气体处于粘性流态

压力可以通过精密的材料（如不锈钢）和容积式真空

1×102Pa～1×10-1Pa中真空

泵来获得；气体处于过渡流态

压力可以通过精密的材料（如不锈钢）、弹性体密封

1×10-1Pa～1×10-6Pa高真空（HV）

和高真空泵来获得；气体处于分子流态

压力可以通过精密的材料（如低碳不锈钢）、金属密

1×10-6Pa～1×10-9Pa超高真空（UHV）封、特殊的表面处理和清洗、烘烤和高真空泵来获得；

气体处于分子流态

压力可通过复杂材料（如真空烧制低碳不锈钢、铝、

﹤1×10-9Pa极高真空（XHV）铜铍、钛）、金属密封、特殊表面处理和清洁、烘烤

和附加吸气剂泵来获得；气体处于分子流态

超清洁真空ultracleanvacuum

需要特殊条件的中真空或者高真空，对于某些气体种类来说等于超高真空条件。

注1：根据特定的应用，会对气体种类（掺杂）有不同的要求。

注2：碳氢化合物、CO、CO2和H2O是典型的掺杂气体。

注3：特定情况下对低颗粒密度也有要求。

真空压力pressureofavacuum

p

.1

真空压力pressureofavacuum

<气体作用于表面上>气体作用于表面上力的法向分量除以该面积。

注1：如果存在气体流动，规定表面方向与气体流动方向相对应。

.2

真空压力pressureofavacuum

<大量气体中某一特定点的压力>根据理想气体定律所确定的气体状态，如有必要时可对真实气体进

行修正。

注1：当应用理想气体定律时，一个无穷小体积内的压强p由该体积内气体分子的数密度n、玻尔兹曼常数k和温度

T的乘积给出。

注2：对于大多数真空中的实际应用，对于真实气体（考虑体积和气体分子的相互作用）未经修正的理想气体定律

依然适用。

2

GB/T3163—XXXX

分压力partialpressure

混合气体中某一特定气体组分的压力。

全压力totalpressure

当“压力”不能明确区分各组分分压力和它们之和之间的区别时，用来表示混合气体中所有组分分

压力之和。

真空度degreeofvacuum

表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值表示。

3.1.2气体和蒸气及它们参数的术语

气体gas

不受分子间力约束，能自由占据任意可达空间的物质。

注1：在真空技术中，“气体”已泛指非可凝性气体和蒸气。

非可凝性气体non-condensablegas

温度处在临界温度之上的气体，即单纯增加压力不能使其凝结的气体。

蒸气vapour

温度处在临界温度以下的气体，即单纯增加压力能使其凝结的气体。

饱和蒸气压saturationvapourpressure

pL

在给定温度下，蒸气与其凝聚相处于热力平衡时蒸气的压力。

饱和度degreeofsaturation

蒸气压力与它的饱和蒸气压力之比。

注1：当蒸气与物质的凝聚相处于热力学平衡时，蒸气始终处于饱和状态。

饱和蒸气saturatedvapour

3

GB/T3163—XXXX

在给定温度下，压力等于其饱和蒸气压的蒸气。

注1：当蒸气与物质的凝聚相处于热力学平衡时，蒸气始终处于饱和状态。

不饱和蒸气unsaturatedvapour

在给定温度下，蒸气压力低于其饱和蒸气压的蒸气。

分子数密度numberdensityofmolecules

n

<t瞬间，气体中某一点周围>选定体积内的分子数目除以该体积。

注1：t指瞬间。更确切地说，是指一段很短的延续时间Δt的平均值，这段延续时间要充分，以便可获得可信的统

计平均值。

单位质量密度unitarymassdensity

ρu

气体的质量密度除以其压力。

0

体积速度bulkvelocity

v

在某一时刻，围绕该点充分选择的体积中的分子的平均速度。

注1：体积必须选择得大小适当，以包含足够数量的分子，从而可以获得稳定的统计结果，以使所获得的值在该体

积中没有显著变化。

1

气体温度temperature

T

与t时刻下参考单元的体积内所含分子的平均动能成正比，与同体积内的气体分子体积速度有关。

注1：见3.2.10中的注。

2

气体量（压力-体积单位）quantityofgasinpressure-volumeunits

pV

处于平衡状态的理想气体所占体积与其压力的乘积。

注1：应该确定气体的温度。

注2：这样定义的气体量等于气体的质量除以其单位质量密度所得的商。

注3：气体量是气体所占体积内气体的内能或势能的2/3。

4

GB/T3163—XXXX

3.1.3描述气体分子运动和气体流所需术语

平均自由程meanfreepathofmolecules

l，λ

一个分子和其他气体分子两次连续碰撞之间所走过的平均距离。

注1：该平均值应是在足够多的分子数且足够长的时间间隔下得到的统计值。

注2：在平均自由程的概念中，假定分子间的相互作用在分子间的某一距离处中断（刚球模型和截止力势）。平均

自由程也可以定义为其它类型的相互作用。（例如兰纳-琼斯势）。在这种情况下，其数值采用刚球模型下气

体的平均自由程，被观察气体与其有相同的粘度、温度和密度。

克努曾数Knudsennumber

K,Kn

平均自由程与管道或容器的特征尺寸之比。

注1：对于圆管，管道的特征尺寸是直径，对于矩形截面的管道，它是矩形的较小边。

稀疏参数rarefactionparameter

δ

管道或容器的特征尺寸与平均自由程的比值。

注1：对于圆管，管道的特征尺寸是直径，对于矩形截面的管道，它是矩形的较小边。

注2：稀疏参数与克努曾数成反比。

碰撞率collisionrate

v

在给定的时间间隔内，一个气体分子（或其他特定粒子）相对于其他气体分子（或特定的粒子群）

运动时所受到的碰撞的平均次数，除以该时间间隔。

注1：该平均值应是在足够多的分子数且足够长的时间间隔下得到的统计值。

气体的扩散diffusionofgas

由于浓度梯度引起的一种气体在另一种介质中的运动。

注1：介质可以是另一种气体（在这种情况下称为互扩散）或是一种可凝性介质。

扩散系数diffusioncoefficient；diffusivity

D

气体通过单位面积的质量流率除以该面积法线方向的密度梯度的绝对值。

5

GB/T3163—XXXX

粘滞流viscousflow

气体分子平均自由程远小于导管最小截面尺寸时气体通过导管的流动。流动取决于气体的粘滞性。

注：流动可以是层流或湍流。

粘滞系数viscousfactor

在气流速度梯度方向单位面积上的切向力与速度梯度之比。

泊肃叶流Poiseuilleflow

特指通过管道两端的压力差产生的长管流动。

注：当流动为层流、导管截面为圆形时，这种流动特指哈根-泊肃叶流动。

0

分子流molecularflow

气体平均自由程远大于导管最大截面尺寸时气体通过导管的流动。

1

过渡流（粘滞-分子流）intermediateflow；transitionalflow

在粘滞流和分子流之间的中间状态下，气体通过导管的流动。

2

滑移流slipflow

气体在平均自由程较小但与管道的特征尺寸相近的条件下通过管道，此时流动受到管壁上的速度滑

移条件的影响。

注1：管道的特征尺寸见3.3.8注1。

注2：对于滑移流条件，不像粘滞流条件下假定的那样，管道壁面的体速度为零。

注3：滑移流的条件介于过渡流和粘滞流之间。

3

分子泻流moleculareffusion；effusiveflow

孔口的最大尺寸小于气体平均自由程时，气体通过孔口的流动。

4

流逸transpiration

由压力差引起的气体通过多孔固体的流动。

5

6

GB/T3163—XXXX

热流逸thermaltranspiration

在两相连容器之间，由于容器温度不同引起的气体流动，当气体迁移达到平衡时，两容器间产生压

力梯度。

6

分子流率moleculeflowrate

分子通量molecularflux

qN

在给定时间间隔内，从给定方向通过截面S的分子数目与反向穿过S的分子数目之差，除以该时间。

7

分子流率密度moleculeflowratedensity

分子通量密度densityofmolecularflux

分子流率除以截面S的面积。

8

流量throughput

qpV

在给定时间间隔内，流经截面的气体量（压力-体积单位）除以该时间。

注1：它亦是质量流率除以单位质量密度。

9

质量流率massflowrate

qm

在给定时间间隔内，通过截面S的气体质量除以该时间。

0

体积流率volumeflowrate

qV

在特定的温度和压力下，给定时间间隔内，通过截面S的气体体积除以该时间。

1

摩尔流率molarflowrate

qv

通过给定截面S的摩尔流率为：在给定的时间间隔内，给定气体通过截面S的摩尔数除以该时间。

2

麦克斯韦速度分布maxwellianvelocitydistribution

7

GB/T3163—XXXX

是基于麦克斯韦—波尔兹曼速度分布函数的速度分布。

注：对于给定温度，处于平衡状态的气体分子的速度分布。

3

传输几率transmissionprobability

PC

随机进入管道入口的气体分子通过管道出口而没有沿相反方向返回入口的几率。

4

分子流导moleculeconductance

CN，UN

孔口或管道两特定截面之间的分子流导为：分子流率除以孔口两侧或管道两截面间的平均分子数密

度差。

注：单位为m3/s，L/s。

5

流导conductance

C，U

<对于管道，或一段管道，或小孔>等温条件下，流量除以两个特定截面间或孔口两侧的平均压力差。

6

固有流导intrinsicconductance

Ci，Ui

容器中气体分子按麦克斯韦速度分布的条件下，连接两个容器的管道（或孔口）的流导。

注：在分子流态下，等于入口流导与传输几率的乘积。

7

流阻resistance

w

流导的倒数。

3.1.4用于定义真空技术中表面和体积效应的术语

吸附sorption

固体或液体（吸附剂）对气体或蒸气（吸附物）的捕集。

表面吸附adsorption

气体或蒸气（吸附质）保持在固体或液体（吸附剂）表面上的吸附。

8

GB/T3163—XXXX

物理吸附physisorption

由于物理力产生的，而非化学键产生的吸附。

化学吸附chemisorption

形成化学键的吸附。

吸收absorption

气体（吸收质）扩散进入固体或液体（吸收剂）内部的吸附。

能量（热）适应系数energy(thermal)accommodationcoefficient

α

入射粒子和表面间实际交换的平均能量与入射粒子和表面达到完全热平衡时应该交换的平均动量

之比。

动量适应系数momentumaccommodationcoefficient

σ

撞击粒子和表面之间实际传递的平均动量与入射粒子和达到完全热平衡的表面碰撞后从表面返回

应传递动量的比。

入射率impingementrate

φ

给定时间间隔内，入射到表面上的分子数除以该时间和表面面积。

凝结率condensationrate

给定时间间隔内，凝结在表面上的分子数（或物质的数量或质量）除以该时间和表面面积。

0

粘着率stickingrate

给定时间间隔内，吸附在表面上的分子数目除以该时间间隔和表面面积。

1

9

GB/T3163—XXXX

粘着几率stickingprobability

Ps

粘着率与入射率之比。

2

停留时间residencetime

τ

吸附于表面上的分子被表面约束的平均时间。

3

迁移migration

分子在某一表面上的运动。

4

解吸desorption

被材料吸附的气体或蒸气的释放现象。

注：释放可以自然进行，也可用物理方法加速。

5

除气degassing

气体从某一材料上的人为解吸。

6

放气outgassing

气体从某一材料上的自然解吸。

7

蒸发率specificevaporationrate

给定时间间隔内，从某一表面上蒸发的分子数（物质数量或物质质量）除以该时间和蒸发表面积。

注：单位为m-2•s-1•kg•mol/（m2•s），g/（m2•s）。

8

解吸率specificdesorptionrate

放气率outgassingrate

除气率degassingrate

在给定时间内，冷凝材料上解吸（或放气或去气）的气流量（或分子流率）除以材料表面积。

注：单位为Pa•m/s,m-2•s-1。

9

10

GB/T3163—XXXX

渗透permeation

气体通过某一固定体阻挡层的过程。

注：该过程包括气体在固体内的扩散也包括各种表面现象。

0

渗透率permeability

Ρ

处于稳定流动状态下的某种气体通过某一固体阻挡层的渗透率为：通过阻挡层的气体流量除以一数

值，该值是固体壁面两侧气体压力的函数。

注：这个函数的形式取决于实际渗透所包括的物理过程。

1

渗透系数permeabilitycoefficient

P

渗透率和阻挡层厚度的乘积，除以阻挡层的面积。

3.2真空泵及相关术语

3.2.1真空泵

真空泵vacuumpump

获得、改善和（或）维持真空的一种装置。

注1：可以分为两种类型：气体传输泵（）和捕集泵（2）。

注2：3.1中给出的一些定义在3.2中以不同的术语重复，以适应真空泵。

注3：“真空”的定义见。

注4：真空泵的分类表见附录A。

气体传输真空泵gastransfervacuumpumps

通过容积变化或动能传递将气体分子从真空泵的入口输送到出口（）的真空泵（）。

容积真空泵positivedisplacementvacuumpump

泵腔吸入气体，其入口被周期性地隔离，然后将气体输送到出口（）并排出的一种真空泵

（）。

注1：大多数的容积真空泵，气体在排出之前是被压缩的。它可分为两类，往复式容积真空泵和旋转

式真空泵（～），具有单个转子（～3）或具有多个转子的真

空泵（4～6）。

注2：容积真空泵通常配备有气镇系统，其作用是：在泵压缩腔内，充入可控的适量非可凝性气体，

以降低被抽气体在泵腔中的凝结程度。

11

GB/T3163—XXXX

注3：油封（液封）真空泵是一种用泵油（液体）来密封相对运动零部件间的间隙、减少压缩腔末端

残余死空间的旋转式容积真空泵。

注4：干式容积真空泵是一种泵腔内不含油或液体的容积真空泵。

注5：所有类型的容积真空泵都能由多级转子组成，这些多级转子可以是相同的也可以是不同的。

隔膜真空泵diaphragmvacuumpump

通过适配阀来辅助控制隔膜的往复与振荡运动使泵腔中气体被压缩和排出的干式真空泵

（）。

活塞真空泵pistonvacuumpump

在泵内通过使用适配阀进行往复运动将气体吸入压缩并排出的一种容积真空泵（）。

线性蠕动真空泵linearperistalticvacuumpump

通过线性运动的装置交替挤压和释放弹性软管，使气体沿软管流动的一种真空泵（）。

涡旋真空泵scrollvacuumpump

通过一对相互啮合的环绕渐开线组成的涡旋盘相对运动进行气体压缩并排出的一种真空泵

（）。

注1：涡旋泵根据实际应用情况，可以选择在涡旋泵入口设置进气阀、隔离阀，以实现对故障条件或

电源损坏情况下的隔离。

旋片真空泵rotaryvanevacuumpump

泵内偏心安装的转子与定子固定面相切的一种容积真空泵（）。

注1：压缩的气体通过排气阀被排放到大气中。

注2：两个（或两个以上）旋片在转子槽内滑动（通常为径向的）并在定子内壁上滑动，将泵腔分成

几个可变容积的一种旋转容积真空泵。

液环真空泵liquidringvacuumpump

泵内装有带固定叶片的偏心转子，将液体抛向定子壁的一种旋转容积真空泵（）。

注1：液体形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可以变化的容积。

0

外置叶片真空泵externalvanevacuumpump

12

GB/T3163—XXXX

转子偏心转动并与定子内壁相接触的一种旋转容积真空泵（）。

注1：一种定子安装在转子上，并将定子腔分成不同容积部分的设备。

1

滑阀真空泵rotarypistonvacuumpump

转子相对定子内壁偏心转动的一种旋转容积真空泵（）。

注1：安装在转子上的活塞或滑阀在可摆动的导轨（被安装在定子适当位置上）中滑动，并将定子腔

分成两个相互封闭的可变容积。

注2：定片真空泵又被称作滑阀真空泵。

2

余摆线泵trochoidvacuumpump

一种椭圆活塞绕着偏心轴转动的旋转容积真空泵（）。

注1：外壳与活塞处于连续非接触密封状态，需要用油进行密封。

3

蠕动真空泵peristalticvacuumpump

使用由多个滚柱或凸缘组成的转子压缩并迫使气体沿柔性管道移动的一种旋转容积真空泵

（）。

4

罗茨真空泵rootsvacuumpump

具有两个或三个同步反向旋转的叶型转子，转子间、转子与泵壳内壁间有间隙且互不接触的一种旋

转容积真空泵（）。

注1：罗茨真空泵可以当做粗抽泵（机械增压泵）、前级泵和主泵使用。

注2：罗茨泵各级运转过程中不存在内部压缩。

5

螺杆真空泵screwvacuumpump

一种旋转式容积真空泵，其同步反向旋转的螺杆转子采用各类型线设计，如有内压缩比特性的锥形

或变螺距转子（）。

注1：螺杆真空泵也可以有无内压缩的型线设计。

6

爪式真空泵clawvacuumpump

两个同步反向旋转的爪型转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种旋转容积

真空泵（）。

注1：爪式真空泵可以有一个或多个压缩级。

7

13

GB/T3163—XXXX

动量真空泵kineticvacuumpump

通过机械方式（高速旋转或在流动方向上提供动能）、使用另一种流体（在流动方向上提供动能）

和使用电场来输送气体离子这三种方式，将气体从泵入口转移到泵出口（）的一种真空泵

（）。

注1：包含三种类型真空泵：机械动量泵（8～2）、流体输送泵（3～0）与离子传

输泵（1）。

8

涡轮真空泵turbinevacuumpump

通过高速旋转的涡轮转子输送大量气体的一种动量传输真空泵（7）。

注1：动密封不会产生摩擦，泵内气流既可以垂直于旋转方向（径流式或离心式），也可以平行与旋转方向（轴流

式）。

9

旋涡真空泵regenerativevacuumpump

通过离心转子级，利用气体涡流行为与平行转子侧通道相结合进行气体输送的旋转动量真空泵

（7）。

注1：再生式真空泵设计有一个或多个气体压缩级，并且可以采用轴向的气体通道与径向的气体通道。

0

牵引分子泵moleculardragvacuumpump

泵内气体分子和高速转子表面相接触而获得动量，使气体分子定向排出的一种动量泵（7）。

1

涡轮分子泵turbo-molecularvacuumpump

泵内由开槽圆盘或叶片组成的转子，在相应圆盘间转动的一种牵引分子泵（0）。

注1：转子圆周线速度与气体分子速度为同一数量级的一种牵引分子泵。涡轮分子泵通常工作在分子流态下。

注2：复合涡轮分子真空泵。

2

复合涡轮分子真空泵compoundturbo-molecularvacuumpump

由基于涡轮分子真空泵原理设计的抽气级、基于牵引分子真空泵原理设计的压缩级与/或真空泵排

气侧的再生级组成的一种单轴高真空泵（）。

3

扩散泵diffusionvacuumvacuumpump

以低压、高速蒸气射流为工作介质的一种动量真空泵（7）。

注1：气体分子扩散到蒸气射流内并被携带到出口。在蒸气射流内部气体分子密度始终低于外部。因为泵内气体平

均自由程足够大时才会形成蒸汽喷射流，所以扩散泵工作在分子流态下。

14

GB/T3163—XXXX

4

自净化扩散泵self-purifyingdiffusionvacuumpump

工作液中的挥发性杂质不能返回锅炉而被输送到出口（）的一种特殊油扩散泵（3）。

5

分馏扩散泵fractionatingdiffusionvacuumpump

将工作介质中密度高、蒸气压力低的组分供给最低压力级，而将密度小、蒸气压高的组分供给高压

力级的一种多级油扩散泵（3）。

6

扩散喷射泵diffusion-ejectorvacuumpump

泵内前一级或几级具有扩散泵（3）的特性，而后一级或几级具有喷射泵（7）特性

的一种多级动量泵（7）。

7

喷射真空泵ejectorvacuumpump

基于文丘里（Venturi）效应产生压力降,被抽气体被高速流携带到出口（）的一种动量泵

（7）。

注1：喷射真空泵在粘滞流和过渡流下工作。

8

液体喷射真空泵liquidjetvacuumpump

以液体（通常为水）为传输流体的一种喷射泵（7）。

9

气体喷射真空泵gasjetvacuumpump

以非可凝性气体为传输流体的一种喷射泵（7）。

0

蒸气喷射真空泵vapourjetvacuumpump

以蒸气（水、汞或油蒸气）为传输流体的一种喷射泵（7）。

注1：被抽蒸气在泵的出口处冷凝。

1

离子传输泵iontransferpump

泵内气体分子被电离，然后在电磁场或电场作用下向出口（）输运的一种动量泵

（7）。

2

15

GB/T3163—XXXX

气体收集真空泵gasgatheringvacuumpump

以固态或吸附态捕捉气体的真空泵（）。

3

气体捕集真空泵gasentrapmentvacuumpump；capturevacuumpump

通过物理或化学吸附、冷凝或沉积的方法使气体分子或蒸汽分子保留在泵腔内部表面的真空泵

（）。

4

气体吸附真空泵adsorptionvacuumpump

泵内气体分子主要被具有大的表面积材料（如多孔物质）物理吸附而保留在泵内的一种捕集泵

（3），低温条件下吸附性增强。

5

吸气剂真空泵gettervacuumpump

主要是通过金属、合金或是散装或新沉积的薄膜等材料对气体分子进行化学吸附的一种捕集泵

（3）。

6

非蒸散吸气剂真空泵non-evaporablegettervacuumpump

NEG真空泵NEG-vacuumpump

带有活性多孔合金或粉末混合物吸气材料的捕集真空泵（3）。

注1：在系统被抽真空和密封之后，在材料通过化学反应吸收气体前，吸气材料必须加热（通常通过射频感应加热）。

7

升华真空泵sublimationvacuumpump

蒸发真空泵evaporationvacuumpump

泵内吸气剂材料被升华（蒸发）同时沉积在真空室内表面的一种捕集泵（3）。

注1：本文中升华和蒸发为相似概念。

8

溅射离子泵sputterionvacuumpump

由阴极连续溅射和离子注入至阴极结合的方式所获得的吸气剂上的一种气体捕集真空泵

（）。

注1：泵主要通过吸气剂效应进行工作，但对惰性气体来说，注入效应起主要作用。

9

标准二极型离子真空泵standarddiodeionvacuumpump

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GB/T3163—XXXX

只具有阴极化学活性吸附作用的溅射离子泵（8）。

0

二极型离子真空泵differentialionvacuumpump

带有化学活性阴极及附加的钽活性阳极的溅射离子泵（8），该泵可以更好地抽除惰性气体。

1

三极型离子真空泵triodeIonvacuumpump

一种包含阴极栅格、中心阳极和周围收集器，可以实现对惰性气体的最大抽速的溅射离子泵

（8）。

2

低温真空泵cryogenicvacuumpump；cryopump

是一种捕集真空泵（3），由若干低温表面构成，该表面冷却到足够低温以冷凝或吸附残余

气体，并与可被吸附材料捕集的具有更低冷凝温度的气体分离。

注1：所选择的温度应取决于被抽取气体的性质。

注2：低温泵通常与活性炭或是分子筛等材料结合使用，冷凝物需要保持一定的温度，使得平衡蒸气压等于或小于

真空室所要求低压。

注3：低温抽气作用主要依赖于三种效应：低温吸附（通过多孔物质在低温下进行物理吸附）、低温冷凝（分子在

冷却表面冷凝）与低温捕集（在具有较高冷凝温度的凝聚/沉积材料层上物理捕获具有极低凝结温度的轻分

子）。

3

冷凝器condenser

将蒸汽冷凝为液态或是凝华为固态的装置（6）。

注1：真空冷凝器用于抽除低真空范围内的蒸汽，特别在干燥工艺中。

4

表面冷凝器surfacecondenser

<液态冷凝>蒸汽在冷却管或板表面被冷凝为液体的冷凝器。

5

喷雾冷凝器spraycondenser

直接接触冷凝器。

注1：蒸汽在与冷却剂直接接触时冷凝。

6

表面凝结（结霜）surfacedeposition(desublimation)

使用适当的冷却管或冷却板使蒸汽温度低于三相点进而使气体凝结（凝华）。

17

GB/T3163—XXXX

3.2.2泵的零部件

泵売pumpcase

将低压气体与大气隔开的泵外壁。

入口inlet

被抽气体被真空泵吸入的泵口。

出口outlet

被抽气体被真空泵排出的泵口。

叶片vane；blade

旋转容积真空泵中的定子和转子间用以分隔工作空间的滑动元件，通常用于旋片真空泵中

（）。

注1：机械动量真空泵的转子通常具有非接触式的叶片，例如：涡轮分子真空泵的叶片。