• 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-11-22 颁布
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【正版授权】 IEC 62047-29:2017 EN Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC 62047-29:2017 EN
  • 标准名称：半导体器件-微机电装置-第29部分：室温下悬空导电薄膜的机电松弛试验方法
  • 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2017-11-22

文档简介

1.IEC62047标准是关于电子器件的一系列标准，涵盖了各种类型的电子元件和设备。

2.其中，IEC62047-29是关于微电子机械设备的部分标准，特别关注的是电子机械薄膜的自立导电薄膜的室温机电松弛测试方法。

3.该标准规定了用于室温环境下的自立导电薄膜的电机械松弛测试方法。这种方法用于评估薄膜在受到机械应力时的电气性能。

4.测试过程中，薄膜会在一个恒定的电场和温度环境下受到周期性的机械应力。这个应力周期通常会持续一段时间，以观察薄膜在应力释放后的电气性能变化。

5.这个测试方法有助于发现薄膜中可能存在的潜在机械问题，例如机械裂纹、断裂或塑性变形等，这些问题可能会影响薄膜的电气性能。

6.在实际应用中，这个测试方法对于设计和生产高质量、可靠性的半导体器件至关重要。因为它可以提供有关薄膜在各种应力条件下的性能信息，有助于确保产品的稳定性和可靠性。

IEC62047-29:2017EN标准是一个关于室温环境下自立导电薄膜的电机械松弛测试方法的详细指南，对于半导体器件的设计和生产具有重要意义。

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