• 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-01-07 颁布
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【正版授权】 IEC 62047-26:2016 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC 62047-26:2016 EN-FR
  • 标准名称：半导体器件-微机电器件-第26部分：微槽和针状结构描述与测量方法
  • 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2016-01-07

文档简介

一、标准简介

IEC62047-26:2016EN-FR标准主要涉及到微电子机械系统（MEMS）器件的描述和测量方法。这个标准适用于微米级（微米）或更小尺寸的微通道和针状结构等MEMS器件。

二、定义和分类

该标准详细定义了微通道和针状结构的类型、形状、尺寸、材料、表面状态等属性，并提供了对这些器件的分类方法。

三、设计规则

标准提供了设计微通道和针状结构时应遵循的一般性设计规则，包括但不限于结构强度、热性能、电性能、机械稳定性等方面的考虑。

四、制造和测量方法

该标准详细描述了制造这些器件的工艺流程，包括材料选择、制程步骤、关键尺寸控制等。同时，标准还提供了对这些器件的各种物理特性（如尺寸、形状、表面状态等）进行测量的方法。

五、电气和机械性能

标准详细描述了微通道和针状结构的电气和机械性能，包括但不限于电阻、电容、电导率、机械强度、振动特性等。这些性能对于理解器件的工作原理以及在应用中如何优化它们至关重要。

六、可靠性

标准还考虑了MEMS器件的可靠性问题，包括但不限于温度、湿度、机械冲击等环境因素对器件性能的影响。这些信息对于设计和制造高可靠性的MEMS器件非常重要。

七、应用场景

IEC62047-26:2016EN-FR标准适用于各种需要使用微通道和针状结构的电子设备，如传感器、执行器、微流体器件等。这些

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