- 废止
- 已被废除、停止使用,并不再更新
- 2015-03-05 颁布
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![【正版授权】 IEC 62047-15:2015 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass_第1页](http://file4.renrendoc.com/view5/M01/0B/06/wKhkGGaEgP6AavUJAAD_Lt1L8Ao327.jpg)
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基本信息:
- 标准号:IEC 62047-15:2015 EN-FR
- 标准名称:半导体器件-微机电器件-第15部分:PDMS与玻璃之间粘合强度的测试方法
- 英文名称:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass
- 标准状态:废止
- 发布日期:2015-03-05
文档简介
IEC62047是一个国际电工委员会(IEC)的标准系列,主要针对微电子机械系统(MEMS)和半导体器件的标准。这个标准的主要目标是规范这些产品的设计、制造、测试和质量保证过程。IEC62047-15:2015EN-FR是一个针对玻璃与PDMS之间结合强度测试的特定部分。这个测试对于评估和验证PDMS与玻璃之间的连接强度至关重要。
玻璃和PDMS(一种常见的聚二甲基硅氧烷,常被用作MEMS的基板)之间的结合强度通常通过机械拉伸的方法来测量。这个测试方法需要制备一个特定的样品,其中PDMS被用作模板以制造特定的形状和结构,然后将其与玻璃结合。接着,通过拉伸样品并测量其断裂时的最大拉伸力,可以估计玻璃和PDMS之间的结合强度。
这个测试方法的关键在于确保拉伸过程中的均匀应力分布,以避免在测试过程中引入不均匀的应力和应变。此外,样本的制备和测试过程中需要注意确保样本的一致性和可重复性,这对于得到准确的测试结果至关重要。
此外,该标准还对测试设备、环境条件、测试步骤、结果分析等方面做出了具体的要求和规定。任何违反这些规定的测试都可能导致测试结果的不准确或不公正,因此需要严格遵守该标准以确保测试结果的可靠性和有效性。
IEC62047-15:2015EN-FR标准对于评估和验证PDMS与玻璃之间的结合强度具有重要的
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