表面化学分析 样品处理、制备和安装 第3部分：生物材料 编制说明_第1页
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文档简介

《Surfacechemicalanalysis-samplehandling,mounting-Part3:Biomate能谱（AES）和二次离子质谱（SIMS）等表面敏感的分析技术至关重要。样品操作可能影响表面敏感的这些分析技术的测量值。这些技术对几个纳米厚度的表面层敏感，这样的薄层会因导入分析室前必要的样品操作或表面处理不当会导致表面组成改变和数据不可靠，恰当的样品操作和制备对于可靠的分析是特别关键。纳米科技是高新技术产业的重要支撑，由于纳米物体的特性，表面分析前样品操作和制备对于可靠的分析是尤为关键析前样品操作和制备对于可靠的分析是尤为关键。本文件指出关于样品制备需要报告的用于表面分析的操作和制备工作的最低限度信息，以帮助确保从表面分析方法所得数据的可靠性和适用性，这对于促进我国光电信息、能源及新材并提高我国表面分析整体水平，特别是为了芯片等国家重大战略急需产业的需2021年便提出将国际标准ISO20579-3：2021等同转化为国家标准，其被列入国本标准起草单位厦门佳集悦网络信息有限公司、清华大学和中科院化学所。前者从事网络信息及电子器件等工作，公司拥有国际国内一流的表面分析次离子质谱仪)等几百台表面分析仪器。清华大学具有世界一流的化学学科，拥有世界一流的XPS、AES和SIMS，标准。三个单位在表面化学分析与标准化方面都具有丰富的经验。此次共同承准制定全过程技术内容把关，组织协调。姚文清和岑丹霞负责进行ISO202021年，起草组按照ISO20579-3：2021发布版进行翻译，向SAC/TC38报提案稿，通过了SAC/TC38组织的标准立项评审，向国家标准化管理委员会提出本标准等同采用国际标准ISO20579-3:2021《Surfacechemicalanalysis–程序提供了具体建议,讨论了样品的来历和先前对样品分析等附加注意事项，讨论了样品保存与时间、湿度和温度的关系，强调样品操作对测量信息的影响，讨论了各种类型固体样品的安装程序，提供了减少样品荷电的方法，强调了切片、溶剂和蚀刻的生物材料样品制备技术，讨论了样品的断裂、劈裂和划本标准等同采用国际标准ISO20579-3:2021。国际标准ISO20579-3:2021制定时已经过国际实验室间试验验证。几年来厦门佳集悦网络信息有限公司、清文件所述生物材料处理、制备和安装方法进行表面分析的数百台在用的XPS、ISO20579-3:2021是当前国际最

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