各级无尘室尘埃粒子测量表_第1页
各级无尘室尘埃粒子测量表_第2页
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文档简介

,XXXXXX科技有限公司,,,,,,,,,,

,无尘室尘粒测量表,,,,,,,,,,

,检测日期,区域,尘粒大小,测试位1,测试位2,测试位3,"平均值

(pc/立方英尺)","符合

等级",测量结果判定,测试人,异常处理记录

,,,0.5µm,,,,,,,,

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,尘粒等级对照表,,,,,,,,,,

,等级,,"小于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值

(pc/立方米)",,,,"小于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值

(pc/立方英尺)",,,,

,,,0.5µm,,5µm,,0.5µm,,,5µm,

,100级,,≤35*100,,0,,≤98,,,0,

,1000级,,≤35*1000,,≤250,,≤980,,,≤7,

,10000级,,≤35*10000,,≤2500,,≤9801,,,≤70,

,100000级,,≤35*100000,,≤25000,,≤98012,,,≤700,

,"说明：

1.一般厂房洁凈度标准：每立方英尺空气中0.5微米及以上尘粒数≤708,215，每立方英尺空气中5微米及以上尘粒数≤56,657；每立方米空气中0.5微米及以上尘粒数≤25,000,000，每立方米空气中5微米及以上尘粒数≤2,000,000；

2.无尘棚洁凈度标准：每立方英尺空气中0.5微米及以上尘粒数≤9,915，每立方英尺空气中5微米及以上尘粒数≤71；每立方米空气中0.5微米及以上尘粒数≤350,000，每立方米空气中5微米及以上尘粒数≤2,500；

3.检测周期：一般厂房洁凈度：1次/月；无尘棚洁凈度：不低于1次/周；

4.由于涉及测量过程的不确定性，一般要求用3个有效的数据来确定浓度等级水平.

5.当洁净度达不到标准要求时，测量人员应分析不达标的原因，如因5S原因造成则通报区域主管全面做5S，如因厂房或出风口等原因造成则通知厂务处理，并将处理结果记录于表中。

6.单位换算公式：1立方英尺=0.028立方米，1立方米=35.71立方英尺",,,,,

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