电镀溶蚀异常报告(修改后)

电镀溶蚀异常报告一、背景电镀二铜线在近两日（3月14日与15日）突然出现多个料号孔环严重溶蚀不良率达到100%几乎所有料号都有问题，在完成SES后导致生产板因溶蚀而报废。为解决该问题，联系供应商来厂服务并查找真因。二、问题描述与分析：2.1问题描述2.1问题描述从以上图片可以看到溶蚀只是发生在独立孔环上，而线路上则没有。通常溶蚀问题会在厚铜板（10Z,20Z）和独立线（独立孔环）表现较为频繁，而目前产线上的溶蚀问题板则出现在1/30Z的手机板上，与以往出现的溶蚀截然不同。2.2溶蚀分析（鱼骨图）物料设备药水浓度偏

划~£（H25O4和5NSO4）异常加错药水导敦药水污染整涼器电流输人岀与实氐电流辅出有差异＜电瀟偏小）光刑失调导人员操作实洪，打谙电疣（电湎偏小易潯蚀）错篮导电不锡槽四价锡■■含量过高导L；物料设备药水浓度偏

划~£（H25O4和5NSO4）异常加错药水导敦药水污染整涼器电流输人岀与实氐电流辅出有差异＜电瀟偏小）光刑失调导人员操作实洪，打谙电疣（电湎偏小易潯蚀）错篮导电不锡槽四价锡■■含量过高导L；致潯蚀'锡槽袴蓝中的對阳根雨秩小环辕镀賜后水冼釀—浓度过高导叙锡面被酸腐蚀濬蚀方注（保养）三、现场排查与分析3.1现场排查排查类别排查过程结论1).人员操作失误，打错电流a).经对产线生产板和料号核对，未发现失误可排除2).加错药水导致污染a).对药水取样分析未曾发现药水异常可排除3).整流器电流输出与实际有差异(偏小)a).用钳表对锡槽的整流器输出检测，未见异常可排除b).对锡槽阴阳极电流全部检测未发现异常4)•光剂自动补加系统异常a).对光剂自动补加系统进行检测，检测结果正常(A,B液流量达到1：1的要求)有溶蚀风险b)・B液泵浦在3月13日出现过暂时性故障(泵浦连接线路断开，后续维修已经处理OK)5)・锆篮导电不良和锆篮被腐蚀a)•检查发现锆篮有被腐蚀的问题有溶蚀风险6).主槽药水(H2SO4,SNSO4)浓度低a).从实验室分析的数据和复测药水的结果来看，浓度正常。可排除7)•来料药水存在异常a)•对锡槽所有使用的药水进行检查、分析发现锡光剂930A颜色存在异常。有溶蚀风险8.)光剂失调导致溶蚀取锡槽药水做槽片，槽片颜色正常可排除9).锡槽锆篮阳极缺少导致阳极面积小a).对锡槽的锆篮提出来检查发现锡球均在锆篮口位置(正常)可排除10)•锡槽四价锡含量过高导致溶蚀a)・3月份有发槽液给供应商让帮忙分析光剂，同时也让其分析四价锡含量。有溶蚀风险b)•由于供应商设备故障只能烧杯试验来看四价锡是否有偏高的现象，供应商以烧杯试验的结果告知四价锡有可能偏高但是具体数据没有(业界标准是W10g/L)11).镀锡后水锡酸浓度过高，导致锡面被酸腐蚀后蚀刻溶蚀a).对镀锡后水洗槽取样测试PH值为7.4(弱碱性)符合要求(要求是6.5-8.5)可排除b).在更换水洗缸试板后仍不0K,故判断与水的酸度没有直接的关系3.2分析

经过对产线上的各项检查发现有以上（鱼骨图）中的四项有可能影响到溶蚀:1.B液泵浦在13日的时候出现过故

障。（停止自动补加约1天）B液大约少补加了20L,1.B液泵浦在13日的时候出现过故

障。（停止自动补加约1天）2•竞铭锆篮使用4个月后锆篮腐蚀严重腐蚀锆篮称重：0.505kg正常锆篮样品是0.585kg3•来料光剂颜色异常左边透亮的为正常颜色， 右边浑色为异常（腐蚀后锆篮比样品轻了80腐蚀锆篮称重：0.505kg正常锆篮样品是0.585kg3•来料光剂颜色异常左边透亮的为正常颜色， 右边浑色为异常附件为药水商经过烧杯试验发过

来的相关数据4•锡槽在3附件为药水商经过烧杯试验发过

来的相关数据四、更槽后生产与问题跟进4.1更槽后生产状况由于溶蚀造成的生产停产，在供应商没有提供有效的方法后，经过多方（生产、品质、工艺和供应商）决定对锡槽药水进行更槽，以便立即生产，缓解产线塞车的状况。在完成更槽和锡槽拖缸后，产线在未更改任何镀锡参数和设备条件的状况下将之前的溶蚀料号进

行返镀锡和试生产都未发现有溶蚀；但是当产线正常生产到第三天时，溶蚀问题又出现并且与更槽前的溶蚀有一定的区别的问题见下图片：更槽后的溶蚀较之前的相比有很大不同主要是发生的位置发生了变化，后续溶蚀在非高电位区域也出现了，溶蚀的不良相对于更槽前降低了很多，不良率在10%左右。4.2问题跟进对于再次出现的溶蚀问题，工艺与供应商对现场多个方面一一进行排查和分析，以下为跟进的具体方向。序号跟进内容跟进过程跟进结果1.供应商怀疑外层曝光能量和干膜质量会对锡槽的药水产生一定的影响，担心有机物质会带到锡槽，使之产生镀层异常而造成的蚀。在外层工艺的陪同下供应商对外层无尘室进行全面了解，未发现有异常地方。无异常2.供应商怀疑我司锡槽温度过咼会导致干膜有机物质的快速分解而影响镀锡的质量对锡槽的三个地方进行温度检测（左、中、右）测量温度分别为：23.5°C；22°C；24°C。锡槽温度控制在22+/-2C从测试结果来看温度均在SOP控制范围以内。同时供应商也建议我司锡槽温度可适当降低控制在18-20C这个范围值，以达到更好的镀锡效果。无异常

3在了解到10%的溶蚀不良率时，考虑到溶蚀可能会存在一定的规律性将出缸后的板分开放置，以飞靶上左边第一块到右边第一块在SES进行蚀刻后发现每靶板都有一块板产生，而且都是最后一块板（即飞靶右边第一块）的位置，认为造成此问题的原因与阳极锆篮有很大的关系对线上锡槽进行勘察，发现阳极右边第一个锆篮过于靠近中间影响到右边的第一块板镀锡质量（见下图）在重新排布锆篮后，再次试生产1015料号300PNL，未发现溶蚀问题，包括每条飞靶最右边的一块，都单独取出来进行全检也未发现溶蚀问题，后续生产已经转向正常。五、初步结论：综合此次异常爆发的突然性、和现场排查的问题以及更槽后的状况来看：更槽前：1•在B液自动补加停止（1天）后不排除有造成光剂失调的可能。2•锆篮有腐蚀的迹象，腐蚀后的锆篮会影响到导电性，对溶蚀有很大的影响。3•供应商来料光剂出现异常的状况，会对品质有造成一定的影响（目前供应商对于光剂异常暂未给出合理解释，问题光剂已经留样待进一步追溯，）。4•四价锡过高会导致镀锡质量（由于我司实验室未有分析的仪器和方法，只能委托采购外发分析，待分析结果后方可知道是否过高）。

更槽后：1.在完成更槽后，溶蚀仍有10%的不良率，从跟进的过程和不良率确定是阳极排布不当导致的飞靶边上一块板存在镀锡质量隐患而造成的。六、溶蚀造成品质、产能影响影响方面影响状况明细品质溶蚀报废： 因溶蚀返镀锡造成渗镀报废： （见明细）产能因为溶蚀问题停线共：96H； 影响产能：2914M2影响料号（见明细）影响料号.xlsx物料成本因为溶蚀导致更换锡槽，更换锡槽物料见明细锡槽开缸物料.xlsx其他因为返工后需要修理问题板，问题板共500PNL需要修理，大概需要5天完成修板（5*11=55H）/七、待进一步跟进的事项针对锆篮被腐蚀的问题，已经联系采购将锡槽药水带给竞铭厂家（锆篮供应商）让其分析药水是否含有腐蚀锆篮的物质。针对锡槽的异常，已经将旧锡槽中所有的物料分开取样和留样以便进一步追溯与跟进同药水商沟通需要重新带样分析四价锡的具体含量