英福康氦检仪技术手册

UL1000Fab技术手册 第1页共109页20233112.0版氦 检 漏 仪1UL1000FabUL1000Fab技术手册2109页22名目一般信息本手册使用符号安全符号指示符真空符号术语定义INFICON效劳的支持修理中心前言用途技术参数物理参数电气参数其它参数环境条件开箱设备供货范围附件与选件吸入器管线SL200工具箱氦气瓶支架ESD垫层手持单元安装运输就位电连接供电电源数据采集系统的连接附件数字输出数字输入记录仪2.3.2.5 RS2322.3.2.6 手持单元真空连接件进气口排气放空冲洗/气镇初始运行检查需要的设备初始运行说明启动与测量 0-2UL1000FabUL1000Fab技术手册第3109页33内部校准验证说明和工作原理前言UL1000Fab的组件真空系统掌握面板液晶显示器启动按键停顿按键抑零按键菜单按键软键数值输入工作模式真空模式吸入器模式UL1000Fab的运行显示屏起转模式中的显示屏测量模式中的显示屏校准的调用扬声器音量显示屏的状态线数值显示模式趋向模式菜单说明主菜单一览线性/对数刻度显示范围自动/手动时间轴比照度待用模式中的本底小数点位数漏率过滤器模式触发与警告12音量单位警告延迟音响警告型式6.4.6.1 定点 0-3UL1000FabUL1000Fab技术手册第4109页44漏率正比设点触发警告校准设定值真空设定值放空延迟保护功能内测试漏孔漏率机器因素抑零-时间质量接口记录仪输出杂项时间和日期6.6.5.3 语言校准恳求电源频率效劳区间排气过滤器效劳信息排气过滤器参数保存/载入12信息效劳调试因素切换灯丝高级功能手动调谐复位功能查访掌握查访校准功能更改菜单-PIN更改设备-PIN抑零校准前言校准进程内部校准自动内部校准手动内部校准外部校准误差和警告信息8.1 提示 0-4UL1000FabUL1000Fab技术手册5109页558.299.19.1.19.1.29.1.39.1.49.29.2.19.2.29.2.39.2.41010.110.210.2.110.2.210.2.310.310.3.110.3.210.3.310.410.5附录图

信息清单接口说明ASCII-模式误差信息参数实例指令清单二进制模式实例数据格式误差信息指令维护INFICON效劳维护打算最小维护标准维护高级维护维护步骤更换排气消音器翻开UL1000Fab检查/更换过滤器过滤筛网涡轮分子泵涡旋泵0-5UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第6109页66一般信息留意 我们建议您认真阅读本使用说明书以保证从一开头就进入最正确工作状态。本使用说明包含有关UL1000Fab的功能、安装、启动和运行等重要信息。一般说明本公司保存设计与特定参数的更改权。图示是无约束的。本手册使用符号安全符号有关操作安全与保护的重要标注如下：留意留意局部损伤。警告警告有关防止大范围地损坏设备和环境的信息。危急危急有关防止各种人身损害的信息。娴熟人员娴熟人员表示必需由娴熟人员才能执行的步骤。1-1UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册7109页77指示符提示 有关有益的步骤的信息。留意 有关用户必需遵守的特别技术要求的信息。Fig.2-4/72章的图47。真空符号下面列出本手册中使用的一些重要的真空符号。真空泵通用涡轮分子泵测量仪器阀门术语定义自动换挡自动选择前置放大器的量程和真空量程。取决于所选的工作模式：吸入器N/SP模式”UL1000Fab的自动换挡功能掩盖整个量程或漏率。不仅漏率讯号而且试样中的压强〔进气口压强PE〕和前级压强〔PV〕均用作为掌握目的。在主量程之间的量程转换通过完成。1-2UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册8109页88自动质量调整这个功能自动调整质谱仪从而显示最大漏率围内转变离子加速电压直到离子检测器检测到最大的离子流校准过程中自动运行质量调整功能。自动抑零确定和自动适应氦本底。UL1000Fab20秒钟。如从前抑制的氦本底应跌落，这样在抑零期间将只显示限值，零点是自动适应的。菜单菜单允许用户按自己的要求编程UL1000Fab。菜单是树状构造的。缺省UL1000Fab供给时工厂设定的状态。FINEFINE10.1毫巴之间。检测限值1×10-10毫巴·升/秒。GROSSGROSS是用于高进气口压强的测量模式〔1至15毫巴。最小检测1×10-7毫巴·升/秒。ULTRAULTRA0.1毫巴。最小检测1×10-12毫巴·升/秒。1-3UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第9109页99最小可检漏率UL1000Fab的最小可检漏率≤5×10-12毫巴·升/秒。内部氦本底号中扣除。测量测量模式待用UL1000Fab测量试件的漏率。INFICON效劳的支持INFICON或INFICON的授权代理。请标明设备无危染申报表的任何设备INFICON将按发送地址退回。具体说明污染类1-1中。建议签订一份维护和检修合同。1-4UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册10109页1010污染申报表检修和/或效劳的供给仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。手续不完整的将导致延迟。本申报表必需由经过授权和有资格的人员填写和签署。11产品说明型号编号2返修缘由3使用的工作液体4产品的污染过程：毒性易爆性放射性其它有害性物质否□否□否□是□是□是□5 有害的物质、气体和/或副产品

*〕已污染的真空产品如无书面的污染资料是不能承受的！商标/ 化学名称 产品名称 〔或符号〕 制造厂

的措施

急救方法6 6 有法律约束的申报：运。公司或机构的名称：地址： ：： 电传：电子邮件：姓名：公司盖章：日期和有法律约束的签名：图1-1 污染申报表1-5UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第11页共109页11111.2.1 修理中心当您需要紧急帮助时，请与当地的INFICON修理中心联系或联系德国科隆的效劳热线。国家公司城市E-Mail巴西PVVacuoPrestSantanadeParnaiba+55.11.870.2665+55.11.870.2665“mailto:pv@prestvacuo.br“pv@prestvacuo.brLtda.中国INFICON香港+852.2520.2880+852.2865.6883“mailto:reach.china@inficon“reach.china@inficonLTD北京+86.10.6590.0164+86.10.6590.0521广州+86.20.8723.6889+86.20.8723.6003上海+86.21.6295.3094+86.21.6295.3852法国INFICONVif+33.4.7672.5215+33.4.7672.5235德国INFICONGmbH科隆+49.221.3474.2222+49.221.3474.2221Leakdetection.service@inficon以色列MarkTechnologiesLtd.KiriatOno+972.3.534.6822+972.3.534.2589日本INFICONCo.Ltd.Ibariki-ken+81.298.89.2741+81.298.89.2838“mailto:reach.japan@inficon“reach.japan@inficon韩国INFICONLtd.汉城+82.31.206.0237+82.31.206.0239“mailto:reach.korea@inficon“reach.korea@inficon加坡INFICONPTELTD加坡+65.890.6250+65.890.6266reach.sigapore@inficon台湾INFICONCo.Ltd.ChubeiCity,Hsinchu+886.3.553.3797+886.3.553.3794“mailto:reach.taiwan@inficon“reach.taiwan@inficon英国INFICONLtd.伦敦+44.208.971.7050+44.208.971.7005美国INFICONInc.EastSyracuseNY+1.315.434.1167+1.315.434.2551“mailto:Service.usa@inficon“Service.usa@inficonSanJose,CA+1.408.361.1200+1.408.361.1556Austin,TX+1.512.448.0488+1.512.448.0398前言用途UL1000Fab是氦检漏仪。本仪器可用下面两种测试方式检测试件中漏孔的位置与大小：UL1000Fab与试件间供给真空连接〔真空模式。或外搜寻〔吸入器模式。1-6UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第12页共109页1212留意留意性或潮湿气体。技术参数1.3.2.1

物理参数最大进气口压强最低可检氦漏率真空模式GROSS模式FINE模式ULTRA模式吸入器模式可显示的最大氦漏率测量范围漏率讯号的时间常数〔63%〕粗抽力量进气口处的抽速〔氦〕真空模式GROSS模式FINE模式ULTRA模式可检质量数质谱仪离子源进气口起转时间(从开机)

15毫巴1×10-7/秒1×10-10毫巴升/秒5×10-12毫巴升/秒〔见下面的注〕1×10-7/秒/秒１2个量级<1秒253/小时〔50Hz〕303/小时〔60Hz〕0.7升/秒0.7升/秒升/秒２，３和４１８０°扇形磁场两个阴极；铱／氧化钇DN25KF2.5分留意留意到达最小可检漏率范围必需满足某些条件：1-7UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第13页共109页1313UL1000Fab已充分预热室温条件必需稳定〔温度，无震惊/加速〕被测试件已长时间抽空〔本底不再降低〕抑零功能必需起作用电气参数电源，单相〔与型号有关〕件号500-100件号500-101功率损耗保护类型电源电缆〔EU，USA，UK〕其它参数阀门尺寸(宽×高×深)包括手把〔毫米〕尺寸(宽×高×深)包括手把〔吋〕重量〔公斤〕重量〔磅〕噪声电平dB〔A〕音响警告dB〔A〕使用中最大可承受加速度污染水平〔按IEC60664-1标准〕过电压类别〔按IEC60664-1标准〕环境条件用于室内允许环境温度(在运行过程中)允许储存温度最高相对湿度最大允许海拔高度(在运行过程中)

220…240伏,50/60Hz100…120伏,60Hz1100伏安IP403米电磁阀1068525850422133110242<58902Ⅱ+10…+40℃-40…+60℃80％无分散2023米1-8UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第14页共109页1414开箱UL1000Fab到货后应马上开箱，即使暂担忧装。检查运输箱是否有任何外伤。完全取开包装材料。检查UL1000Fab的完整性〔参考1.4.1测检查UL1000Fab。与订货部门联系。提示 保存包装材料，以便觉察损坏时申诉。提示 开箱请用随设备供给的开箱工具。设备供货范围氦检漏仪UL1000Fab排气软管适配件电源电缆夹具成套保险丝成套工具袋软管卡箍〔2+2〕排气过滤器用的过滤筛网〔要安装的〕文件夹UL1000Fab技术手册UL1000Fab备件清单1-9UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册15109页1515附件与选件以下部件可附加订货：1.4.2.1

吸入器管线SL200工具箱〔可拆卸的〕氦气瓶支架ESD垫层手持单元成套件，包括手持单元带电缆〔按需要4米延长电缆，8米带软管的喷枪SL200

14005551-000551-001551-00220239022202390271402216555使用UL1000Fab的吸入器管线可简洁地转换成吸入器检漏仪。吸入4米〔12呎。工具箱〔1.4.2.5节5升。工具箱放置在工作面上，用手把压住。氦气瓶支架氦瓶支架使您便于随UL1000Fab携带氦瓶和喷枪。只适用小型和中型的氦瓶不影响UL1000Fab的稳定性。ESD垫层这个垫层放在UL1000Fab的工作面上，由进气口环夹住与接地。用于避开工作面与灵敏的试件间的放电。1-10UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第16页共109页1616手持单元手持单元是一个遥控器，用于从30米外的距离操纵UL1000Fab。它具有开机，停机/放空，抑零与扬声器音量，和用条图显示漏率。1-11UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第17页共109页1717安装运输留意留意UL1000Fab吊设备。留意留意推拉UL1000Fab必需使用为此目的供给的把手。留意留意远距离运输必需使用原来的包装箱。将UL1000Fab装入运输箱时，不要安装小脚轮。就位UL1000Fab推至所需的位置，制动小脚轮。警告警告UL1000Fab何其它液体中。警告警告避开接触酸、碱或溶剂，以及避开恶劣的气候环境。2-1UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第18页共109页1818警告警告UL1000Fab仅限于室内使用。留意留意确保充分的空冷条件。切勿堵塞空冷的进风口和排风口。留意留意为避开有坡度时滑动可锁住UL1000Fab小脚轮的前轮。留意留意UL1000Fab推至所需的位置，制动小脚轮。建议用吸入器探头检测距UL1000Fab10查是否存在任何氦漏。电连接供电电源留意 电气连接必需遵守当地的规程。警告警告将UL1000Fab连接至电源前必需确认当地的供电电源电压与UL1000Fab的额定值相符。仪器必需连接有保护接地的电源。2-2UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第19页共109页1919UL1000Fab电源电压的额定值可从仪器后板电源插座2-2/7下方的铭牌上读出。电压是固定的不能更改。在电源开关中为每根电源导线装有单独的保险丝。仪器的可拆卸电源电缆随仪器供货。电源插座图2-2/7位于仪器的后板上。危急危急必需使用带有保护接地导线的3UL1000Fab时必需连接保护接地。2-3UL1000Fab技术手册 第20页共109页2-2：连接件附件数字输出数字输入记录仪5. RS232手持单元

电源插座电源开关扬声器放空冲洗/气镇排气提示 插座附件数字输出数字输入和记录仪的接脚1在顶上。接脚编号是向下计数的。数据采集系统的连接附件以下附件连接至这个接口2-2/1：外放空阀外分流阀吸入器探头2-420UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册21109页2121130.810瓦。接脚自上至下编号。脚 用途1 +24INFICON分流阀或吸入器管线。2 GND243,6 输入4,5,7,8 输出数字输出脚1用途+24伏，与Digital2GND243142536抑零工作7预备8校准工作9校准恳求10误差11警告12气镇13测量14记录仪选通15公共数字输出2-5UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第22页共109页2222数字输入脚 用途1 +24伏，与DigitalOut“1桥接GND24启动停顿抑零校准去除气镇吸入器/真空打印公共数字0.10伏输入XP23,15的参考电位记录仪记录仪输出〔图2-2/4〕用于记录漏率、进气口压强和前级真空压强。0伏...1010接记录仪〔例如X(t)记录仪〕输出的仪器，其输入内阻应不小于2.5仟欧。测量值通过脚14输出。脚2和3为参考电位GN脚自上至下编号。提示表示压强和漏率与电压的关系曲线附在附录〔XXX〕中。消灭沟通声干扰可将UL1000Fab与图形记录仪工作于同一同电位接地。脚用途1GNDGND22-6UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第23页共109页23232.3.2.5 RS232RS232C接口〔2-2/5〕用作数据通讯设备〔DCE〕可连接个人计算机P，用于监测和数据记录。通过9脚sub-D9章。2.3.2.6

脚23578手持单元

用途TXDRXDGNDCTSRTS手持单元接口〔图2-2/6〕是一个串列接口，由手持单元掌握UL1000Fab。手持单元可通过带RJ45插头的延长电缆连接。具体信9章。脚 用途2 +24伏〔0.8安时间延迟保险丝〕3 0伏5 RXD〔RS232C接口〕7 TXD〔RS232C接口〕真空连接件进气口进气口位于UL1000Fab的顶部。法兰型号为DN25KF。如选用真空模式，测试件或测试室必需连接进气口〔参阅6.3节。进气口还用于连接吸入器管线。2-7UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册24109页2424排气排气法兰〔2-2/12〕位于UL1000Fab后板的下方。法兰型号为DN16KF。仪一起供货，可安装在排气过滤器中。此外，也可在排气口上连接排气管道，警告警告与UL1000Fab连接的腔体有关，如腔体内有致命性气体，可通过排气口进入空气中。放空〔如颖空气，枯燥空气，氮气，…〕至大气压强。此时，必需用软管连接至软管联接件2-2/10。冲洗/气镇〔图2-211050毫巴。2-2中的接头是快速接头，用于连接收径为8/6毫米的软管。2-8UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册25109页2525初始运行检查本章说明初始运行步骤，包括如何开上UL1000Fab电源，如何测量和如何执行内部校准。留意 在初始运行的过程中如发生任何意外的状况或检漏仪反响不正常，可在任何时间关断UL1000Fab电源。需要的设备需要以下部件：法兰盲板25KF〔如未预先安装在进气口上。带有DN25KF适配件的氦测试漏孔〔选件。初始运行说明请依据下述步骤一步一步地启动初始运行。更具体的说明请参阅5UL1000Fab的运行。3-1UL1000Fab技术手册 第26页共109页启动与测量UL1000Fab开箱和检查是否有任何外伤〔1.4节开箱。将仪器连接电源〔2.3.1节供电电源。用电源开关图2-28，开上检漏仪。UL1000Fab启动后，在掌握面板〔3-3/1〕的显示屏上消灭欢送画息。2分钟，并发出笛音表示启动完成。此时UL1000Fab进入待用状态。图3-3 UL1000Fab的顶视图1 掌握面板 2 进气口检查进气口〔图3-3/2〕是否已盲住。如未，请在进气口上盖上盲板。3-226UL1000Fab技术手册 第27页共109页按下启动按键〔图3-4/6〕后，进气口将被抽空，片刻后将显示测量的漏率。这是测量模式。如已连接试件，此时即可喷氦检漏。3-4

掌握面板1液晶显示器85号软键21号软键96号软键32号软键107号软键43号软键118号软键54号软键12菜单按键6启动按键13停顿按键7掌握面板14抑零按键为消退任何本底讯号〔在试件中的剩余氦气〕可按 抑零按键图3-4/14。要撤消抑零功能，可按住抑零按键2….3秒钟。按停顿按键图3-4/13，UL1000Fab将进入待用状态。如按住数秒钟UL1000Fab的进气口将被放空。169步。3-327UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册28109页2828内部校准910验证111213141516

〔参阅7.2.1节内部校准仪器预热〔1520分钟。校准键5图3-/，进入校准菜单。按键4图3-45，选用内部校准。按键8图3-/130秒钟。按图3-/1气口被放空。请按以下步骤验证精度。需用测试漏孔。如无测试漏孔，请进入16步。从进气口卸下盲板，将翻开的氦测试漏孔接至进气口上。〔图3-/漏率。按停顿按键〔3-4/13〕中止测量。将显示待用模式。〔图3-413待用气口被放空。从进气口上卸下氦测试漏孔，在进气口上重盖上盲板。关断检漏仪的电源开关图2-/。初始运行完成。3-4UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第29页共109页2929说明和工作原理前言UL1000Fab根本上是一台真空应用的氦检漏仪，进展测试时试件是处UL1000Fab组成部件的抽气系统进展抽空。也可由与检漏仪平行设置的附加真空泵进展抽空。UL1000Fab的另一个运行模式是吸入器模式，此时仪器必需连接附件吸入器管线〔1.4.2节附件和选件。4-1UL1000Fab技术手册 第30页共109页UL1000Fab的组件UL1000Fab是一台具有金属外壳与滚轮的装备齐全的仪器。仪器内装有完整的真空系统和电源。仪器的顶部是进气口和显示器。4.2.1 真空系统下面的真空图表示UL1000Fab内的主要组件：图4-5 UL1000Fab的真空图4-230UL1000Fab技术手册 第31页共109页图中MS：质谱仪，氦传感器〔180°磁质谱仪〕涡轮分子泵〔TMP，供给MS中的高真空条件〕V1a…V8：电磁阀〔用于掌握气流〕涡旋泵〔为涡轮分子泵供给前级压强和试件抽空〕质谱仪中主要包含离子源，磁分别器和离子收集极。个过滤器到达离子收集极。在那里用电流来表达测量到的离子流。1×10-4泵为前级泵的涡轮分子泵供给。真空系统的作用除了维护质谱仪中的工作压强外，还用于试件的抽V1a,V1b,V2,V4a,V4bV5,V6,和V8用于放空系统和涡轮分子泵。阀门V7在校准过程中开启与关闭内部测试漏孔。时氦气将逆着涡轮分子泵的抽气方向渗入质谱仪。4.3节工作模式。4-331UL1000Fab技术手册 第32页共109页掌握面板掌握面板〔图4-6/7〕包含液晶显示器，启动、停顿、抑零和菜单按8个软键。掌握面板本身是可旋转的。图4-6 掌握面板1液晶显示器85号软键21号软键96号软键32号软键107号软键43号软键118号软键54号软键12菜单按键6启动按键13停顿按键7掌握面板14抑零按键LCD显示器液晶显示器〔图4-6/1〕是与操作人员的通讯设备。它显示漏率，仪器的状态报告，信息，警告和误差。4-432UL1000Fab技术手册 第33页共109页启动按键按启动按键〔4-6/6〕启动UL1000Fab的测量程序。如在测量模式中再次按启动按键，最大漏率指示器(„保持“功能)起作用。这个指示器显示„启动“与下一次„停顿“之间的最大漏率。停顿按键按停顿按键〔图4-6/13〕中止测量程序。如按下的时间长些，进气口将按菜单放空延迟中定义的条件放空。参阅6.6.1.1节放空延迟选择放空的时间参数。抑零按键按抑零按键〔4-6/14〕起用抑零模式。当按抑零量值中扣除。从而，显示的漏率为GROSS1×10-7FINE1×10-10ULTRA1×10-12撤消抑零功能可将按键保持在按下状态约3秒钟。请参阅下面的图示。4-7：减除本底4-533UL1000Fab技术手册 第34页共109页4-8：撤消抑零菜单按键在任何工作模式中按菜单按键〔图4-6/12〕液晶显示器即消灭菜单。如菜单在当前的对话前翻开，在菜单离开前将显示最终的显示屏。再次按菜单按键将返回至从前工作模式的显示屏的最终的显示屏。软键

8个软键〔4-6/2…/5和/8…/11〕18具有定常的功能返回/取消〔1号软键〕OK〔8号软键。特别功能的功能：1号软键〔4-6/2〕的功能为取消。8号软键〔4-6/11〕OK。所选的设定值或编写值将被储存下来，并再次显示从前的菜单页。4-634UL1000Fab技术手册 第35页共109页数值输入如已翻开一个可更改数目的菜单页，请按下述方法执行：1号软键取消。可更改的数字是闪耀的。用→〔8号软键〕和←〔4号软键〕可选择您需要更改的数字。将数字更改至一个特定的数可按相应的对数择所需要的数。子菜单自动关闭，全数的下一个数字现在闪耀。完成最终数字后，必需按OK〔8号软键〕确认全部修正值。例1.0×10-7/3×10-7/2/3〔3号软键〕图4-9。4-9：1的数值输入在子菜单中按〔4号软键〔图4-1。4-735UL1000Fab技术手册 第36页共109页4-10：子菜单的数值输入工作模式真空模式〔参阅4.2.1节真空系统差，使外面喷的氦气可通过漏孔进入系统。当按启动按键V1aV1b翻开，样品由涡旋泵抽空。同时阀门V2强上升。随着阀门V2的关闭，涡轮分子泵运行于无涡旋泵产生背压压强P2保持不变或增加很慢。4-836UL1000Fab技术手册 第37页共109页下面的流程图表示在抽空过程中和在GROSS，FINE和ULTRA模式下的气流状态。图4-11左：抽空〔无测量GROSS模式抽空过程始终维持到进气口压强P115毫巴以下。此时阀门V2翻开。可能存在的氦气现在逆着涡轮分子泵的抽气方向进入质谱仪，在那里被检测出来。这个模式称为GROSS1×10-7/秒。由于涡旋泵连续抽空试验样品，进气口压强P1将连续下降。低于1毫巴时UL1000Fab将切换至FINEV4a和关闭阀门V1a与V1b1×10-10/秒。4-10左：FINE模式，右：ULTRA模式

4-937UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第38页共109页3838现在涡轮分子泵的下部进一步抽空样品P10.1毫巴后，UL1000Fab切换至ULTRA模式，即关闭V4a和开启V4b。进入涡轮分子泵的气流处于较高的层级。此时进气口处的抽速为2.2升/5×10-12毫巴升/秒。提示UL1000Fab的一个特别的设置可停顿如上所述的自动换挡程序。只有Gross模式〔参阅6.3节模式〕单位将停留在GROSS模式4-11〔右〕与进气口压强无关。4.3.2 吸入器模式在吸入器模式中将吸入器管线(优先承受INFICON的标准吸入器管线14005)连接至进气口上。当按下启动按键时系统开头通过吸入器管线抽空气。由于固定的气流通过吸入器管线，软件将经过GROSS模式进入FINE模式，然后停留在这个模式上。进气口压强不会连续下降。依据进气口压强的测量,系统软件将确认通过吸入器管线的气流量值<1×10-7毫巴升/秒。INFICON的吸入器系统QT100QT100供给低的进气口压强，建议保持系统于真空模式以避开产生压强警告的错误。4-10UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第39页共109页39395 UL1000Fab的运行按电源开关将UL1000Fab接通电源〔3.2.1节启动和测量。约2.5分钟后完成启动过程；仪器进入待用模式和作好测量预备。请将要测试的部件连接至进气口上，并按启动按键。UL1000Fab开头示器上随时反映进气口部位的压强状况。一旦压强到达15毫巴11乇或1500帕显示相应的漏率值。有关显示屏的状况请参阅5-13。显示的漏率相应于测试部件中的氦本底浓度。由于UL1000Fab连续漏率足够低时，您即可开头喷氦查找可能存在的漏孔。当运行完毕后请按停顿放空。显示屏显示屏用于显示漏率讯号或程序的特定设置和藉软件菜单显示取得的信息〔6章菜单的说明。此外还显示仪器状态信息与维护指导〔8章误差与警告信息。起转模式中的显示屏在起转模式中显示屏显示：涡轮分子泵的转速前级真空压强放射的状态工作灯丝表示起转过程的条图留意 如显示屏太亮或太暗，请至6.2.45-1UL1000Fab技术手册 第40页共109页测量模式中的显示屏在测量模式中，有两种不同的模式显示漏率：数值显示模式，与条图显示相结合5-13趋向模式〔漏率与时间的关系〕5-14模式选择符号在显示屏的右下角〔紧邻8号软键，可按8两个显示模式之间转换。有关显示模式的说明参阅5.3.4节数值显示模式5.3.5节不同显示模式的说明。进入校准〔5号软键〕和扬声器音量〔23号软键〕对全部模式均是一样的。底线上的状态图标也适用于全部显示模式。5-11：测量模式的显示校准的调用在全部模式中，5号软键用于进入例行校准程序。有关校准的具体7章校准。扬声器音量在左手侧有两个扬声器符号标有＋与－。按相应的软键〔2号或3号软键符号和一个数字。这个数字表示当前的音量大小〔范围从0至15有关音量大小，警告和声轨等信息参阅6.4.3节音量。5-240UL1000Fab技术手册 第41页共109页显示屏的状态线显示屏底部的状态线〔从左至右阅读〕指示以下信息：音量大小12检测的质量警告三角工作模式

5.3.2节扬声器音量。〔黑底白字。1点数表示质量数〔4点=氦，2点=氢气。8.1节。VAC或SNIFF表示选择的工作模式(6.3节模式)。GROSS/FINEULTRA 取决于进气口压强，这里指示UL1000Fab是GROSS，FINEULTRA〔参4.3节工作模式。抑零数值显示模式

表示抑零功能是否起作用。显示屏用大号数字表示漏率5-13。同时表示漏率单位。在漏率下面用小号数字显示进气口压强。漏率和压强的单位可在菜单中定义〔6.4.4节单位〔6.2.2节显示范围自动/手动。编程的触发值〔至6.4.1和至6.4.2〕由短的垂直线条码显示：直线为12。此外进气口压强显示在条图上面的小图中。5-341UL1000Fab技术手册 第42页共109页5.3.5 趋向模式在趋向模式中，显示漏率与时间的关系图5-14。此外仍用数字显示当前的漏率值。时间轴可在菜单中定义〔参阅6.2.3节时间轴。强度轴〔y-轴〕定义的方法与条图一样〔6.2.1节线性刻度/对数。5-14：趋向模式的显示5-442UL1000Fab技术手册 第43页共109页6 菜单说明按菜单按键6-15将显示当前工作模式的主菜单。图6-15： 主菜单主菜单6-15将引导操作人员进入下面各节中说明的子菜单。6-16。6-143UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册44109页444411234一览刻度线性/对数/手动时间轴比照度待用时的本底小数点位数漏率过滤器模式触发和警告12音量单位警告延迟音响警告型式校准内部手动外部自动启动真空设定值放空延迟微粒保护污染保护压强限值内部测试漏孔漏率校准因素机器因素设定值抑零-时间质量接口记录仪输出掌握位置杂项语言校准要求主频参数保持/加载信息查阅设定值真空图查阅误差清单校准历史校准因数效劳进入掌握-PIN-PIN抑零6-16：菜单构造一览表

6-2UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第45页共109页45456.1 主菜单主菜单有7入菜单树的下一层。提示 全部下面的章节表示进入直接在标题项下面菜单项的路径。这个路径用一点〔·〕表示，打印成斜体。键号名称说明1返回回到从前的显示屏2一览显示设定值3模式6.2节选择不同的工作模式4触发和警告6.3节设定单位，触发值和警告5校准6.4节UL1000Fab校准6设定值6.5节内部机器掌握的设定值7信息6.6节UL1000Fab的信息和效劳菜单8查访掌握6.7节查访限制6.8节6-3UL1000Fab技术手册 第46页共109页6.2 一览主菜单＞一览在这个菜单中6-17将全部影响数据显示的功能放在一起。6-17：一览菜单键号名称说明1返回回到从前的显示屏2刻度线性/对数条图和趋向模式的设定值6.2.1节3显示-范围自动/手动6.2.2节4时间轴6.2.3节5比照度6.2.4节6待用模式中的本底6.2.5节7小数点位数6.2.6节8漏率过滤器6.2.7节6-446UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第47页共109页47476.2.1 线性/对数刻度主菜单一览刻度线性/对数〔=在测量模式中数字测量值下面的条图和趋向模式中的Y-轴。条图的刻度可线性或对数。用箭头可打算条图掩盖多少个量级。通常推举使用对数刻度，由于漏率的变化可简洁地掩盖数个量级。2：线性按这个键将显示转换为线性刻度，从零开头。3：↓〔量级数〕2个量级。只选对数〔软键6〕时有用。6：对数刻度将以对数显示。7：↑〔量级数〕9〔6〕时有用。6-5UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第48页共109页4848显示范围自动/手动主菜单＞一览＞显示范围自动/手动显示漏率范围的上限可自动或手动设定。这些设定值应用于条图〔=在测量模式中数字测量值下面的条图和趋向模式中的Y-轴。这里定义的上限，最低限值设定于一个基于量级数的值〔参阅6.2.1节刻度线性/对数。2：手动显示量程的上限可手动设定。3：↓〔量级数〕选手动时用于削减显示的上限。最小值为10-11毫巴升/秒。6：自动自动选择显示量程的上限。7：↑〔量级数〕选手动时用于增大显示的上限。最小值为10+3毫巴升/秒。8：保存设定值，回到从前的菜单。67在测量屏上更改它。时间轴主菜单＞一览＞时间轴16….240秒分级更改。3：↓16秒。7：↑240秒。6-6UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册49109页4949比照度主菜单＞一览＞比照度50〔或相近的值。提示 如由于偶然的缘由显示器设定得太亮或太暗可按下面的方法更改：UL1000Faboffon。在仪器起转的过程中37比照度菜单中确认后才能将这个设定值保存于EPROM中。如未被确认，当仪器再一次on时，仍应用以前的设定值。3：↓0。4：invert显示7：↑99。待用模式中的本底主菜单＞一览＞待用模式中的本底内部本底漏率可在待用模式ON或OFF时显示。缺省值为OFF。3：OFF不显示本底漏率。7：ON显示本底漏率。〔例如氦气来自空气或检漏仪内外表的吸附气体。内部本底是不会完全消逝的。长时间抽空的很清洁系统其本底可到达10-11毫巴升/10-10毫巴升/10-9毫巴升/秒量级。6-7UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第50页共109页5050当按启动扣除。这样确保测量的试件漏率仅为纯漏率。当再次转换到待用/25秒后计算的内部本底值。小数点位数主菜单＞一览＞小数点位数可选择显示漏率的小数点位数。缺省值为1。3：1将显示一位小数的漏率。7：2将显示两位小数的漏率。当使用I•CAL漏率过滤器〔6.2.7节〕时，两位小数特别有用。漏率过滤器主菜单＞一览＞漏率过滤器可选择漏率过滤器的种类。缺省值为I•CAL。3：固定的将使用固定时间常数的过滤器。7：2I•CAL确保基于漏率强度的最正确时间段的平均讯号。I•CALI•CAL还可消退与漏率讯号无关的噪声峰和为低的漏率讯号供给相当短的响应时间。计算方法供给卓越的灵敏度和响应时间，从而得到推举的设定值。6-8UL1000Fab技术手册 第51页共109页6.3 模式主菜单＞模式模式菜单6-18使子菜单可选择不同的工作模式。模式菜单键号1名称撤消说明2真空无任何更改使用常规的真空模式3真空仅GROSS模式仅用GROSS模式检漏。检漏仪4UL1000Fab将停留在这个模式即1〔与自动换4.3.1节真空模式〕在本菜单中未使用5在本菜单中未使用6吸入器4.3.2节吸7入器模式在本菜单中未使用8OK保存设定值，回到从前的菜单6-951UL1000Fab技术手册 第52页共109页触发与警告主菜单＞触发与警告在这个菜单中〔图6-17〕可设定触发值，扬声器音量和漏率与压强的单位。6-19：触发与警告菜单键号名称说明1返回回到从前的显示屏2116.4.1节3226.4.2节4音量6.4.3节5单位选择漏率与压强的单位。参阅66.4.4节在本菜单中未使用7警告延迟6.4.5节8音响警告型式选择不同的警告型式。参阅6.4.6节1主菜单＞触发与警告＞1可设定一个触发值。有关输入的说明参阅4.2.2.7节数值输入。12UL1000Fab1超过。6-1052UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第53页共109页5353显示12，如漏率超过〔高于〕编程的值它们会闪。继电器输出I/O2-2/22.3.2.2节数字输出。警告/扬声器触发值1定义各种型式警告产生反响的〔参阅6.4.6节音响警告型。2主菜单＞触发与警告＞2可设定二个触发值。有关输入说明参阅4.2.2.7节数值输入。如超过触发值2，相应的继电器将动作，并在显示器上指示出来。音量主菜单＞触发与警告＞音量可调整扬声器的最小音量和常规音量。低于环境噪声水平的值。工作音量可在15〔最大〕与定义的最小音量值之间调整。6-11UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第54页共109页54542：↓0。3：↓减低工作音量。最小值为在最小音量下定义的值。4：笛音off/笛音on5：文本扬声器以工作音量发出声音。6：↑15。7：↑15。6.4.4 单位主菜单＞触发与警告＞单位45个漏率单位。2：↑往上滚动选择压强单位。3：↓往下滚动选择压强单位。6：↑往上滚动选择漏率单位。7：↓往下滚动选择漏率单位。6-12UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册55109页5555警告延迟主菜单＞触发与警告＞警告延迟在某些应用中〔例如在抽空一个“腔体测试系统”中〕启动按键后需要将警告中断一些时间。可更改警告的延迟时间。3：↓0秒。7：↑10分直至无穷大。按下启动1或超过输入的延迟时间扬声器即发出警告声。设定值仅工作于音响警告型式 SETPOINT〔设点〕和TRIGGERALAR〔触发警告〔参阅6.4.6节。音响警告型式主菜单＞触发与警告＞音响警告型式音响警告触发器可接通或关断。软键2：定点参6.4.6.1节。3：漏率正比6.4.6.2节。帮助。软键6：设点参6.4.6.3节。7：触发警告16.4.6.4节。6-13UL1000Fab技术手册 第56页共109页定点声音讯号的音调只是在LR-窗口6-20中转变它的频率，从低于触发值1一个量级至高于触发值1高于窗口音调是连续的高。14×10-7毫巴升/4×10-8毫巴·升/4×10-6毫巴·升/秒。6-20：定点漏率正比声音输出的频率与条图显示器上的读值成正比。频率范围从300HZ3300HZ6.2.1节线性/对数刻度。设点11音调变化与漏率成6-21。6-21：设点6-1456UL1000Fab技术手册 第57页共109页6.4.6.4 触发警告1率而变化。校准主菜单＞校准7章校准图6-22。6-22：校准菜单6-1557UL1000Fab技术手册 第58页共109页设定值主菜单＞设定值在这个菜单中6-23可观看和更改内部机器掌握的设定值。6-23：设定值菜单键号名称说明1返回回到主菜单2真空设定值6.6.1节3抑零-时间6.6.2节4质量6.6.3节5接口6.6.4节6杂项6.6.5节7参数保存/加载6.6.6节6-1658UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第59页共109页5959真空设定值主菜单＞设定值＞真空设定值在这个菜单中可观看和更改属于真空系统的设定值。3：放空延迟6.6.1.1节4：保护功能6.6.1.2节6：内部测试漏孔漏率6.6.1.3节7：机器因素6.6.1.4节放空延迟主菜单＞设定值＞真空设定值＞放空延迟通过这个菜单可定义在按停顿停顿按键的时间段比这里定义的延迟时间短时，UL1000Fab即转变至待用模式。当按下停顿按键的时间段比这里定义的延迟时间长时，UL1000Fab马上进气口放空。2：马上按停顿按键后进气口将马上被放空。3：1秒钟后1秒钟后被放空。4：1.5秒钟后1.5秒钟后被放空。5：？帮助。6：2秒钟后2秒钟后被放空。7：不放空按停顿按键后进气口不放空。6-17UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册60109页60606.6.1.2 保护功能主菜单＞设定值＞真空设定值＞保护功能软键2：微粒保护参阅关键词微粒保护微粒保护这模式可在onoff之间切换。如切换至on1毫巴以下时UL1000Fab不开头抽空。假定被测试部件由另一个平行连接的泵抽空。目的：检漏仪不在高压强下抽空，无气流无微粒进入检漏仪的可能。3：污染保护参阅关键词污染保护污染保护如这模式切换至on，一旦测量的漏率超过编程的漏率UL1000Fab关件放空。6：压强限值参阅关键词压强限值。7：Gross检漏参阅关键词Gross检漏。8：OK保存设定值回到从前的菜单。压强限值20.02毫巴。如压强不在这范围内将消灭误差信息：P>上限值：毛细管裂开P<下限值：通过毛细管的流量太低〔毛细管堵塞〕6-18UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第61页共109页6161Gross检漏可设定最大抽空时间。如试件有大漏就不会象无漏孔的试件那样快速地抽空。Gross检漏定义抽至低于15毫巴的允许时间。如时间超过，设备将停顿抽空，并显示相应的信息。内测试漏孔漏率主菜单＞设定值＞真空设定值＞内测试漏孔漏率4.2.2.7节数值输入。警告警告一般没有理由编写内部测试漏孔的漏率除非已更换了内部漏孔。错误的内部漏孔漏率将导致错误的漏率读值。机器因素主菜单＞设定值＞真空设定值＞机器因素因素。这个因素只用于真空测量模式〔不用于吸入器模式。4.2.2.7节数值输入。抑零-时间主菜单＞设定值＞抑零-时间可更改抑零-时间。3：↓0.5秒。7：↑5.0秒。保存设定值回到从前的菜单。6-19UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册62109页6262在某些状况下UL1000Fab可能显示负漏率，例如，假设扣除的本底〔0.55.0秒之间。缺省值5。留意：当检测很低的漏率〔<10-10毫巴升/秒〕时，抑零值必需为5秒。这样才能到达ICAL的全力量和避开错误的读值。质量主菜单＞设定值＞质量可选择测量气体的质量数。UL1000Fab必需在待用模式中。2：H2〔2amu〕2amu的氢。3：3H〔3amu〕3amu的氦同位素。4：4H〔4amu〕4amu的氦。接口主菜单＞设定值＞接口可设定接口的参数。1：返回回到从前的菜单。3：记录仪输出6.6.4.1节。4：掌握位置6.6.4.2节。6-20UL1000Fab技术手册 第63页共109页记录仪输出主菜单＞设定值＞接口＞记录仪输出可在这个子菜单中选择要记录的讯号。1：撤消回到从前的菜单，当前的设定值无任何更改。2：Off关断输出讯号〔OV在两个输出中〕3：p1p26：漏率和p1参阅关键词：漏率和p1，6-23页。7：漏率参阅关键词：漏率，6-23页。记录仪输出图2-2/4有两个通道。p1p2

主菜单＞设定值＞接口＞＞p1p21记录进气口压强p12记录进气口压强p21…100.51伏=1×10-3毫巴开头。6-24有关TPR265的特性曲线见附录。6-2163UL1000Fab技术手册 第64页共109页漏率和p1主菜单＞设定值＞接口＞记录仪输出＞漏率和p112p1。输出均为对数。输出1…100.5伏。6-25漏率主菜单＞设定值＞接口＞记录仪输出＞漏率11…102记录漏率的指数局部。步进功能：U=1…100.51伏=1×10-1〔见：漏率和p1的范围，图6-2。掌握位置主菜单＞设定值＞接口＞掌握位置软键1 PLCUL1000FabDigitalIn连接件掌握的〔6.6.4.2节。掌握面板上的启动，停顿和抑零按键是锁住的。软键2 就地和PLCUL1000FabDigitalIn连接件或掌握面板上的启动，停顿和抑零按键掌握的。软键3 就地UL1000Fab是通过掌握面板上的启动，停顿和抑零按键掌握的。DigitalIn连接件未用。6-2264UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册65109页6565杂项主菜单＞设定值＞杂项可设定在这个子菜单中的当前的时间和日期，使用的语言和电源频率。2：时间和日期6.6.5.1节3：语言6.6.5.2节4：校准恳求6.6.5.3节6：电源频率6.6.5.4节7：排气过滤器效劳时限8：排气过滤器效劳信息。时间和日期主菜单＞设定值＞杂项＞时间和日期时间和日期可在接连两页中更改。有关输入说明参阅4.2.2.7节数值输入。语言主菜单＞设定值＞杂项＞语言可选择使用的语言。缺省设定值为英语。3：德语将显示德语。7：英语将显示英语。6-23UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册66109页6666校准恳求主菜单＞设定值＞杂项＞校准恳求可选择是否消灭校准恳求信息提示操作人员或不消灭。缺省值为off不消灭。3：Off关断校准恳求。7：翻开校准恳求。如翻开校准恳求，在接通电源后30分钟或从上次校准后UL1000Fab5℃以上一个相应的信息将消灭。

电源频率

主菜单＞设定值＞杂项＞电源频率不同的电源频率导致涡旋泵不同的抽速。可选择供电电源的电源频率。缺省值：23050Hz，11560Hz。软键3：50HzUL1000Fab50Hz电源频率。软键6：60HzUL1000Fab60Hz电源频率。排气过滤器效劳时限过滤器维护后，复位这个排气过滤器效劳时限。排气过滤器效劳信息排气过滤器必需定期维护以保证UL1000Fab的正确功能。如启用这个效劳信息，UL1000Fab将提示您需要维护。警告警告如将效劳信息置之不顾，则不能排解泵马达过热的危急。6-24UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册67109页6767参数保存/载入/可保存和载入各个设定值或重载入缺省设定值。216.6.6.1节326.6.6.1节436.6.6.1节5：载入缺省值载入缺省设定值6：载入参数组6.6.6.2节7：26.6.6.2节8：36.6.6.2节载入参数组/保存当前的参数组入。4：编写文件名重命名参数组。6-25UL1000Fab技术手册 第68页共109页1主菜单＞设定值＞参数保存/载入＞载入参数组将显示选择保存的参数组设定值，并可重载入。6：↑往上回到上一个屏。7：↓往下进入下一个屏。信息主菜单＞信息信息菜单图6-26可使用子菜单来选择属于UL1000Fab的各种信息。6-26：信息菜单6-2668UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第69页共109页69692：查阅设定值4页上，如触发值，测试漏孔，质量数，时间和日期。3：查阅内部数据4个屏上。4：真空图将显示UL1000Fab的真空图。并显示开启与关闭的阀门。5：查阅误差清单将显示所发生的误差和警告的清单。6：校准历史将列出进展校准的历史记录。7：校准因素将显示不同质量数的校准因素和机器因素。8：效劳6.7.1节6-27UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册70109页70706.7.1 效劳主菜单＞信息＞效劳这个显示屏可进入效劳菜单。初始的效劳口令在设备供货时未供给，4.2.2.7节数值输入。有关这一章的说明比较简短。更具体的内容在效劳培训后供给。〔如手动开关阀门。2：调试6.7.1.1节3：因素6.7.1.2节4：信息将显示一些效劳信息5：开关灯丝6.7.1.3节6：高级功能6.7.1.4节7：手动调谐6.7.1.5节8：复位功能6.7.1.6节6-28UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册71109页7171调试

主菜单＞信息＞效劳＞调试在成功输入口令后显示效劳菜单。在这个菜单只可能执行特别功能〔如手动开关阀门。1：返回回到主菜单2：HEX-ViewerROM参阅关键词HEX-ViewerROMRAM参阅关键词HEX-ViewerRAM4：显示器测试将开头显示器的功能性测试。按任何软键回到菜单软键5：编写偏离电流参阅关键词编写偏离电流HEX-ViewerROMHEX-ViewerROM将显示ROM的内容。1：-64K64K上调2：-4K4K上调3：+4K4K下调4：+64K64K下调6：↑往上回到从前的显示屏7：↓往下进入下一个显示屏8：OK回到效劳菜单6-29UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第72页共109页7272HEX-ViewerRAM主菜单＞信息＞效劳＞调试＞HEX-ViewerRAM将在线显示RAMHEX-ViewerROM一节。编写偏离电流主菜单＞信息＞效劳＞调试＞编写偏离电流将显示偏离电流和漏率。偏离电流的值可更改。软键2：↓减小偏离电流软键6：↑增大偏离电流8：OK保存设定值，回到从前的菜单因素主菜单＞信息＞效劳＞因素可更改测量模式间的因素。4：500GW/15GW参阅关键词因素500GW/15GW7：因素ULTRA/FINE参阅关键词因素ULTRA/FINE8：因素FINE/GROSS参阅关键词因素FINE/GROSS6-30UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第73页共109页7373因素500GΩ/15GΩ主菜单＞信息＞效劳＞因素＞500GW/15GW可更改前置放大器测量量程间的因素。1：撤消回到从前的菜单，对现有的设定值无任何更改3：↓0.1的倍数降低7：↑0.1的倍数增加8：OK保存设定值，回到从前的菜单因素ULTRA/FINE主菜单＞信息＞效劳＞因素＞因素ULTRA/FINE可更改FINE模式与ULTRA模式之间的因素。1：撤消回到从前的菜单，对现有的设定值无任何更改2：-11的倍数降低3：-0.10.1的倍数降低6：+11的倍数增加7：+0.10.1的倍数增加8：OK保存设定值，回到从前的菜单6-31UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册74109页7474FINE/GROSS因素FINE/GROSS可更改GROSS模式与FINE模式之间的因素。1：撤消回到从前的菜单，对现有的设定值无任何更改2：-1010的倍数降低3：-11的倍数降低6：+1010的倍数增加1的倍数增加8：OK保存设定值，回到从前的菜单切换灯丝主菜单＞信息＞效劳＞切换灯丝可选择阴极。将显示需要的和工作阴极的编号。3：117：228：OK保存设定值，回到从前的菜单6-32UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第75页共109页7575高级功能主菜单＞信息＞效劳＞高级功能将翻开子菜单关断UL1000Fab的自动掌握。选择撤消来否认或确定关断自动掌握。UL1000Fab后板上的电源开关关断，然后再开上电源。软键2：开关阀门和泵参阅关键词开关阀门和泵软键3：开关放射参阅关键词开关放射软键6：前置放大器量程参阅关键词前置放大器量程软键7：后续放大器量程参阅关键词后续放大器量程6-33UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册76109页7676开关阀门和泵主菜单＞信息＞效劳＞高级功能＞开关阀门和泵将显示UL1000Fab的真空图。并显示开启或关闭的阀门。前级泵，涡轮分子泵和阀门可手动开或关。1：返回回到主菜单2：TMPoff关断涡轮分子泵3：TMPon开上涡轮分子泵4：泵off关断前级泵软键5：泵on开上前级泵6：↑往上选择从前的阀门7：↓往下选择下一个阀门8：开关阀门选择的阀门被翻开或关闭。将当前的状态显示在真空图中6-34UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册77109页7777开关放射主菜单＞信息＞效劳＞高级功能＞开关放射可手动开上或关断放射。将显示放射的工作状态和要求的状态。3：Off关断放射6：待用将放射转换至待用状态7：ON开上放射8：OK保存设定值，回到从前的菜单前置放大器量程主菜单＞信息＞效劳＞高级功能＞前置放大器量程可手动选择前置放大器的灵敏度。2：13MΩ13M前置放大器量3：470MΩ470MΩ前置放大器量程6：15GΩ15GΩ前置放大器量程7：500GΩ500GΩ前置放大器量程8：OK保存设定值，回到从前的菜单6-35UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第78页共109页7878后续放大器量程主菜单＞信息＞效劳＞高级功能＞后续放大器量程可手动选择后续放大器的放大倍数。0.41.66.47：25.6〔固定〕25.68：OK保存设定值，回到从前的菜单手动调谐主菜单＞信息＞效劳＞手动调谐如在进气口上装有外测试漏孔，可执行质量的粗调谐。1：撤消回到从前的菜单，对现有的设定值无任何更改3：↓4390伏8：OK保存设定值，回到从前的菜单6-36UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第79页共109页79796.7.1.6 复位功能主菜单＞信息＞效劳＞复位功能误差清单与校准历史可复位，和重载入工厂设定值。1：返回回到主菜单2：去除误差清单翻开子菜单，用OK或Cancel键来去除发生过的误差清单3：去除校准历史翻开子菜单，用OK或Cancel键来去除校准历史4：载入工厂设定值翻开子菜单，用OK或Cancel键来恢复工厂设定值6-37UL1000Fab技术手册 第80页共109页查访掌握主菜单＞查访掌握这个菜单6-27可限制查访整个UL1000Fab或仅只查访菜单。6-27：查访掌握菜单4：查访校准功能6.8.1节8：更改菜单-PIN6.8.2节查访校准功能主菜单＞查访掌握＞查访校准功能它可选择是否限制查访校准菜单。3：Off-PIN〔6.8.2节〕已启用，您需要这个PIN起始校准7：ON校准功能可在主菜单和待用模式与测量模式中启用8：OK保存设定值，回到从前的菜单6-3880UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册81109页8181更改菜单-PIN主菜单＞查访掌握＞更改菜单-PIN查访菜单可用输入或更改个人身份识别名〔PIN〕来限制。如输入0000，即不检查PIN。4.2.2.7节数值输入。更改设备-PIN主菜单＞查访掌握＞更改设备-PIN进入UL1000Fab可用设备-PIN来限制。如设备-PIN不是0000，UL1000FabPIN。无设备-PIN就不能使。留意 在任何状况下要牢记这个PIN！PIN的重设定必需由INFICON修理部门执行。抑零主菜单＞查访掌握＞抑零这个设定值使掌握面板上的抑零按键起作用〔相对于不起作用。仪器具有“ULTRA抑零”功能，当它启动后首次到达ULTRA测量量抑零功能。6-39UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第82页共109页8282校准前言UL1000Fab可使用两种不同的方法校准：内部校准，用安装在仪器内的标准漏孔。外部校准，用一个附加的标准漏孔，将它装在进气口或试件上。准漏孔的漏率有关。尽管UL1000Fab是一台格外稳定的仪器，测量的影响。于使用的频度。留意 为到达最正确化的校准，仪器在使用前应至少预热30分钟。校准进程有三种进入校准进程的方法：〔即在仪器起转过程的终点或按停顿按键后可用校准〔5号软键〕起始校准功能。在测量模式中可按校准〔5号软键〕起始校准进程。在主菜单中可用校准〔5号软键〕起始校准。任何时候只要按停顿按键或1号软键〔撤消〕即可终止校准。相应的软键。内部校准UL1000Fab内部校准有两种可能性：7-1UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第83页共109页8383如仪器的进气口自动校准〔8号软键。或关闭内部标准漏孔时反响时间大大地取决于容器的容量。7.2.1.1

留意自动内部校准

建议尽可能使用自动校准。一旦这个挨次开头，整个过程将自动执行。在完成时〔约25秒后〕作好下一步使用的预备。7.2.1.2 手动内部校准中选用手动内部校准时，假定UL1000Fab已连接试件〔如否请进入自动内部校准。手动内部校准开头后，UL1000Fab将试件抽空〔如试件未在真空状态下，并翻开内部标准漏孔。需要多长时间使氦讯号稳定下来与试件的容积有关。因此用户必需确认讯号已到达稳定值〔8号软键。确认。其后仪器已校准完毕。7-2UL1000Fab技术手册 第84页共109页外部校准进展外部校准时，必需将标准漏孔连接在试件上或直接连接在进气口上。在选择外部校准〔8号软键〕后，将显示以下信息和执行下述操作步骤：孔已连接和翻开。检查打印在测试漏孔上的漏率与显示器上显示的漏率相比较。如漏率值不相符，用漏率编写键〕修正。 键〔8号软键。7-28：外部校准1步无需操作。7-29：外部校准2步7-384UL1000Fab技术手册 第85页共109页条图显示一个讯号，此讯号必需变化不大。如是，按OK〔8 键。7-30：外部校准3步无需操作。7-31外部校准4步无需操作。图7-32 外部校准，第5步7-485UL1000Fab技术手册 第86页共109页关闭外标准漏孔，并按OK〔8号软键〕确认。外部校准6步条图显示一个讯号，此讯号必需不降低。允许动。如是，OK〔8号软键。外部校准7步UL1000Fab显示老的和计算的校准因素。这个因素必需10请承受的值。外部校准8步7-586UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册87109页8787误差和警告信息UL1000Fab装备有全面的本机诊断设施。如检测到误差或警告条件，将通过液晶显示器通知操作人员。400毫秒从500Hz来回变化，以便与日常的环境噪声明显地区分开来。误差和警告信息被记录下来，便于以后通过菜单信息查阅〔参阅6.7节。提示警告信息将指示警告信息：UL1000Fab检测到一个不正常条件或当它需要提示操作人员〔如恳求校准或维护定期已到。UL1000Fab将在液晶显示器上显示信息，并保持在待用模式或测量模式中。O〔8号键此后UL1000Fab仍能连续使用〔可能会有某些限制。状态行显示警告三角形直至退出警告状态〔5.3.3节。误差信息误差是事例，它迫使UL1000Fab中断测量运行。在此状况下UL1000Fab关闭全部阀门〔待用模式。误差信息将保存在液晶显示器上，直至按“重启动〔8号键〕确认。接着，UL1000Fab重启动一个的起转挨次。某些状况下，重启动UL1000Fab前检查一下某些设定值或测量值是有益的。因4号键或菜单键〕进入UL1000Fab菜单。在离开菜单后再次显示同样的误差信息。〔仪器内的“监视”电路将防止UL1000Fab的失控运行。这个监视电路将使UL1000Fab重启动。经过这个步骤后，仪器将进入待用模式。无误差信息输出。8-1UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第88页共109页8888误差和警告信息清单在掌握屏上显示的全部误差和警告信息列于下面的清单中。用W打头的编号为警告信息。用E打头的编号为误差信息。编号编号W14显示的信息ERR14_SERVICE_OIL__FILTERERR15_CONTAMINATION_PROTECT说明与解决方法油过滤器维护周期已到期！W15漏率太高！转换至效劳模式以防污染！W16W17W18E23E24OPTIONU24<20伏E25E29E30IO阀门U<7伏OPTION124伏电压太低，U<20伏。I/O板上的保险丝已断。7伏；例如影响V1.I/O板有故障。FBU24<20伏手持单元的电压太低，U<20伏。可能是接线后板上的保险丝已断。W31W32 前置放大器T>60℃ 前置放大器的温度太高，T>60℃。环境温度太高。W33前置放大器T<2℃空气过滤器已脏，必需更换。前置放大器的温度传感器讯号指示，T<2℃。前级泵启动时间加长。温度传感器有故障。8-2UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第89页共109页8989编号显示的信息说明与解决方法E34MSVU24<18.3伏MSV板上的讯号MVPZN24U<18.3伏。MSV板上的保险丝已断。24伏电源电压丧失。关断UL1000Fab！电压丧失将导致旋片泵上的排气阀关闭，从而导致污染真空系统。E35E36E37E38E39E40

MSVAnod-Cad-U>130伏MSVAnod-Cad-U<30伏MSVSup-NomU>>MSVSup-Pot>363伏MSVSup-Pot<297伏MSVAnod-PotU>>

MSV板XT7/1上的参考电压UREF太高，U>5伏。阳极与阴极间的电压太高，U>130伏。MSV板有故障。阳极与阴极间的电压太低，U<30伏。MSV板有故障。MSV板上的讯号MFSZH抑制极电压有短路MSV板有故障U>363伏，MSV板有故障。U<297伏，MSV板有故障。阳极工作电位超过额定值10%。额定值可在效劳菜单中显示。E41MSVAnod-PotU<<E42MSVAnod-NomU>>E43MSVCat-加热器I>>E44MSVCat-加热器I<<E45MSV1损坏

MSV板有故障。阳极工作电位降至低于额定值10%。额定值可在效劳菜单中显示。MSV板有故障MSV板上的讯号MFSZH工作。阳极电压已短路。阳极电压的额定值太高，阳极电压限值约为1200伏。MSV板上的讯号MFPKZHI>3.6安。MSV板有故障。MSV板上的讯号MFPKZHI<0.2安。MSV板有故障MSV板上的讯号MSIBE1的放射不能加上。UL1000Fab2。当下次开上UL1000Fab时重复警告。当通过效劳菜单手动1放射时，警告将消逝。订购一个离子源。8-3UL1000Fab技术手册UL1000Fab技术手册第90页共109页9090E46

显示的信息MSV2损坏

说明与解决方法MSV板上的讯号MSIBE2的放射不能加上。UL1000Fab1。E47E48E50E52W53E54W55E56E58E60E61W62

当下次开上UL1000Fab时重复警告。当通过效劳菜单手动2放射时，警告将消逝。订购一个离子源。MSV阴极损坏MSV板上的讯号MSIBE源来更换阴极。。MSV保险丝F2断 MSV板上的讯