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文档简介

东莞龙芯柔性线路板LONGXINLONGXIN龙芯柔性电路板DongGuanLongXinFPCDES工作指示内部受控文件严禁私自以任何形式全部或部分复制姓名部门职位签名日期拟制陶兴平工艺部主管审核陶兴平工艺部主管冯永阵生产部主管陶兴平品质部主管批准李松海总经办懂事文件编号:LX-MEI-TD-004版次:A.0版次修改原因文件名作成日期修改人A.0新规作成LX-MEI-TD-0042021-04-01陶兴平新增内容LX-MEI-TD-0042021-07-01陶兴平文件编号:LX-MEI-TD-004版次:A.0作业指导书作成审核批准编号LX-MEI-TD-004版次A.1页3/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程1.目的:本规程标准DES工艺及操作,满足其生产品质要求;本规程为生产、品质、工艺等有关人员提供操作和监控的依据。2.适用范围:适用于本公司DES工序的作业控制。3.使用材料、工具、设备:工业碳酸钠,氢氧化钠、硫酸(CP级)、消泡剂、显影机、引导板、工业盐酸、蚀刻子液、氢氧化钠、蚀刻机、脱膜机、百倍镜。4.作用或原理:各药水缸的作用:缸名作用或原理显影感光膜中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来,留下已感光交联固化的图形部分蚀刻1、以化学的方法去除线路板上铜箔外表多余部分的铜,使之形成所需的电路图形;2、在蚀刻过程中,CuCl2中的二价铜具有氧化性,将板面铜氧化为一价铜:Cu+CuCl2=Cu2Cl23、为了达到再生的目的,利用氧化剂将Cu2Cl2中的一价铜氧化为二价铜:Cu2Cl2+2HCl+H2O2=2CuCl2+2H2O脱膜将板面的抗蚀干膜(或油墨)彻底的退除干净、露出新鲜的Cu面以便于后制程的生产5.作业方法:5.1作业准备:作业前准备:(每班检查一次)检查各连接处有无渗漏→检查进、排水总阀是否打开→检查各水洗缸进水循环管是否打开→检查各药液排出阀是否关闭→检查各缸内液位是否足够,如不够,则加水至液位,搅拌后通知化验室分析调整→检查传动系统是否正常→滚轮外表是否有异物→检查喷淋、压力是否正常→需加温的药缸提前预热→进产品前药缸开泵循环2分钟以上后,观察控制面板上温度是否到达操作的温度,否则需继续加热。作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页4/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程作业前具体检查项目(每班检查一次).1液位:各缸液位偏低则按各自方法补加与调整,偏高则视具体情况决定是否排出;.2温度:各缸液实测温度与设定值允许偏差±2℃;.3过滤:过滤器不允许有漏液、漏气、空转、停转、堵塞等问题;.4喷嘴:喷淋无堵塞、倾斜;.5仪表:各仪表显示准确、无异常;.6摇摆:是否正常工作;.7风刀:无堵塞,气流温度正常;.8吸水海棉:目视及用手捏挤看其是否有污水渗出,如异常则须清洗至合格,正常生产每个月更换一次吸水海棉,新吸水海棉需用清水浸泡4个小时才能使用;每天每班二次清洗一次.9滤膜系统,滤渣系统无干膜渣堆积,脱膜缸内无大量干膜渣漂浮,脱膜后水洗段传送轮上不允许有膜碎,必须用自来水将其冲干净。作业流程:5.2.1工艺(作业)流程FPC上导板(单面板)→入板→显影1和2→隔离→压力水洗→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→强风吹干→热风吹干→出板→蚀刻进板→蚀刻1、2和3→隔离→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→中检→脱膜1、2和3→压力水洗→隔离→压力水洗→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→强风吹干→热风吹干→FPC下导板。工艺(作业)流程示意图:无5.3作业步骤:开机方法:.1打开控制柜电源开关;.2按下面板上“启动START”按钮;.3依据《流转单》规定值,调整参数后,做首板确认具体的参数;.4从左至右将总控制面板上所有按钮打至绿灯亮。关机方法:(先确认缸内无产品).1从左至右将总控制面板上所有旋钮关至“绿灯灭”位置,“O”位置或直接按红色“STOP”键;作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页5/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程.2关控制柜总电源;.3关掉总进水阀。槽液控制:工序槽名控制项目单位控制范围控制点DES线显影Na2CO3%蚀刻HClmol/L2-32.5Cu2+g/L120-160140退膜NaOH%3-54参数控制:工作段名称参数控制范围显影工作速度干膜-m/min湿膜-m/min感光油墨-2.喷淋压力1.5-kg/cm2(控制点kg/cm2)水洗压力-2.5kg/cm2(控制点2.0kg/cm2)温度28-32℃(控制点30烘干温度45-65℃(控制点50℃蚀刻工作速度(以首板速度为准)单面1/2OZ-m/min1OZ-2.5双面多层1/3OZ-2.51/2OZ±1OZ-2镂空1OZ±喷淋压力-kg/cm2(控制点kg/cm2)水洗压力1.5-2.5kg/cm2(控制点2.0kg/cm2)温度45-50℃(控制点50℃脱膜温度48-52℃(控制点50喷淋压力-2.5kg/cm2(控制点kg/cm速度湿膜-m/min干膜-m/min水洗压力kg/cm2溢流水洗压力kg/cm2(控制点1.0kg/cm2)烘干温度80-90℃(控制点作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页6/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程溶液开缸及药水添加:缸号体积及控制要求开缸用量添加要求换缸要求显影1000LNa2CO3浓度:1.0(0.8%-1.2%)8Kg1手动加药:每生产4小时化验;2化验室取样分析后,生产根据化验分析结果进行添加且做好药水添加记录,加药时,应将药品溶解后参加;3非正常连续生产过程中,生产前应通知化验室分析并根据分析结果进行调整药品浓度前方可生产。每生产100㎡更换一次蚀刻1230HCL:2mol/L-3mol/L由供应商提供蚀刻母液化验调整成分后使用1、盐酸的添加量按化验结果添加;2,盐酸与再生剂的添加比例按3:1添加,再生剂应分次少量添加(每次不超过500ML,如超过应分次添加)3、液位过低及时反馈通知设备部检查系统运行情况。由化验室通知Cu2+120-16脱膜1NaOH4.0%(3.0-5.0%)1.加水约1/2体积;正常生产时依据每班分析结果补加NaOH。每两天换缸一次2.参加25kgNaoH;3.补足水位,开循环泵搅拌。作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页7/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程各缸换缸步骤和频次:缸名换缸频次换缸操作步骤显影(830L按照平米计算每生产100㎡更换一次显影液1.开泵循环2-5分钟后,关泵后再将旧药水排放干净;2.用市水冲洗缸壁及缸底,再用干净扫把擦洗干净缸壁及缸底污垢;3.注入市水至液位处,开泵循环10-20分钟;4.关泵,放干缸内水,关排水阀;5.加水,称取10kg碳酸钠,溶解后参加缸内;6.通知化验室分析调整浓度;7.水洗段每过4小时更换一次纯水;7蚀刻1230由化验室通知5微米聚丙烯滤芯的泵,抽出所有蚀刻液至备用缸;;DI水至液位循环30min后排水;4.将药液抽回至缸内。循环30min后通知化验室分析。脱膜81次/两天开泵循环2-5分钟后,关泵后再将旧药水排放干净。2.用清水冲洗缸壁及缸底,再用干净塑料扫把擦拭干净缸壁及缸底污垢。3.注入市水600L,开喷淋、开泵循环10-20分钟。4.关泵、关喷淋,放干缸内水,关排水阀。5.参加3/4缸市水,将称取25kgNaOH溶解后参加缸内。700L,循环10分钟以上。7.通知化验室分析调整浓度。水洗1次/每班1.关机后将水洗缸排水阀打开至水排干;2.用干净塑料扫把擦洗缸壁及用水管冲洗缸底;3.加市水至液位6.维护与保养:日常维护和保养:作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页8/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程保养频率保养项目保养方法保养验收标准一次/四小时压水辘(吸水辘)浸泡、挤压,自来水冲洗,严禁用碱性洗洁精清洗.无滑腻感,无污染及污水,无残留物,外表洁净,保持湿润一次/班1、周边环境清扫、清洁、整理地面不积水,杂物等清扫干净,生产板及其它物品摆放整齐2、机身、滚轮用海绵或抹布擦拭、清洁污迹、灰尘、药水迹、结晶已清除3、各水洗段、水缸用水冲洗水洗段、清洗缸体、缸壁、清洗网内残渣缸壁异物及污迹已清除;过滤网无残渣堵塞4、喷嘴每日检查喷嘴是否堵塞,用清水清洗。清洁干净、无堵塞5、温度探头清洗温度探头外结晶物及其它杂质。清洁干净、无结晶物及其它杂质6、过滤筒、过滤网(滤芯)用清水冲洗过滤筒内残渣及过滤网纱过滤筒内残渣及过滤网纱残渣已清洗干净7、脱膜后水洗段用自来水冲洗传送轮和用刷子刷滚轮和传送轴传送轮和轴上无碎膜残渣一次/周显影缸周保养1、排放药液及水洗缸水2、用自来水冲洗传送轮和用刷子刷滚轮和传送轴,然后放清水入缸,将缸底沉积的湿膜和干膜渣等杂质清洗干净;3、放水入缸至水位开泵洗缸10分钟将水放掉4、清洗喷嘴、喷管、行辘等相关的部件用专用扫把擦洗水缸内壁水垢和杂物,保养完毕之后必须更换过滤棉芯。缸壁异物及污迹已清除;各喷嘴无堵塞,喷出的水形为扇形;行辘上无残留物;一次/周蚀刻缸周保养1、清洗喷嘴,喷管、行辘等.安装时要按原装编号装入,装喷水管时要注意喷嘴方向要一致。各喷嘴无堵塞,喷出的水形为圆锥形或扇形;行辘上无残留物,运行顺畅一次/周脱膜缸周保养1、排放药液2、取出过滤网,然后放清水入缸,将缸底沉积的湿膜和干膜渣等杂质清洗干净;3、放水入缸至水位开泵洗缸10分钟将水放掉。4清洗喷嘴、喷管、行辘、过滤网系统和滤膜系统等相关的部件;用专用扫把擦洗水缸内壁水垢和杂物,保养完毕。缸壁异物及污迹已清除;各喷嘴无堵塞,喷出的水形为扇形;行辘上无残留物;过滤网和滤膜系统无异物堵塞或粘附.作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页9/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程保养频率保养项目保养方法保养验收标准一次/月显影缸大保养1.排放药液及水洗缸水;将入口处与烘干段的行辘全部撤除下来,然后放清水入缸,将缸底沉积的湿膜和干膜渣等杂质清洗干净;3.加水至约2/3液位,参加溶解好的30kgNaOH,升温至45-50℃开机喷淋120分钟后将溶液排掉,然后用干净的塑料扫把擦洗缸体→加满自来水开机喷淋15分钟,排水→加水至约2/3液位,参加30LH2SO4并补充水至液位,升温至45-50℃酸洗30分钟,排掉→加满自来水开机喷淋15分钟,排水→加水至2/3液位,参加6kgNa2CO3正常喷淋15min后放掉,取出各段过滤棉芯清洗干净或换新棉芯(包括水洗段和显影段的过滤棉芯)4.取出各段行辘,把残余物擦拭干净,再用清水洗净后正确安装好;5.拆下喷嘴、喷管等相关的部件清洗,清除残留在喷管里的异物、杂物,并小心疏通喷咀,用专用扫把擦洗水缸内壁水垢和杂物;6.吸水棉辘先泡洗后用洁精液清洗,再用清水清洗干净;各段压辘如清洗不掉,需用酒精檫洗掉。缸壁异物及污迹已清除;各喷嘴无堵塞,喷出的水形为扇形;行辘上无残留物;检查,损坏的必须更换;检查传动轮有无破损,传动有无异常,如果有找设备部修理。一次/月蚀刻段大保养1.蚀刻机里的蚀刻液抽至干净的桶内存放;2.放清水入缸,将缸底沉积的杂质清洗干净;3.加水至液位,开机喷淋15分钟排放掉。重新加水至3/4液位,称取NaOH约25Kg,溶解后参加缸中,加水至液位,升温至50±5℃4.加满水开机喷淋15分钟排放掉,重复此步骤一次;5.加水至3/4液位,缓慢参加H2SO4约20L,加水至液位,升温至50±5℃,开机喷淋60分钟,将溶液排放掉;6.将缸放满水,开泵10分钟后将残渣用水冲走;7.清洗滚轮上的脏污(如胶渍等)、过滤网;清洗喷嘴,安装时要按原装编号装入,装喷水管时要注意喷嘴方向要一致;8.蚀刻机清洗完毕后,将蚀刻液抽回药水缸。蚀刻缸内无结晶、残留物;各喷嘴无堵塞,喷出的水形为圆锥形或扇形;行辘上无残留物,运行顺畅;检查、清洗喷嘴,如有堵塞的需疏通或更换一次/月脱膜段大保养1排放药液及水洗缸水;2再将烘干段的行辘全部撤除下来,取出过滤网,然后放清水入缸,将缸底沉积的湿膜和干膜渣等杂质清洗干净;3再对各缸参加30LH2SO4升温至50±5℃酸洗120分钟,排掉加满自来水循环水洗30分钟,排水,用5%NaOH4.清洗喷嘴、喷管、行辘、过滤网系统和滤膜系统等相关的部件;5.用专用扫把擦洗水缸内壁水垢和杂物;保养完毕。缸壁异物及污迹已清除;各喷嘴无堵塞,喷出的水形为扇形;行辘上无残留物;过滤网和滤膜系统无异物堵塞或粘附.一次/月水洗缸保养1.将水洗缸溶液排放完后,加水至3/4液位,称取NaOH约5kg,溶解后参加缸中,加水到液位后,开启喷淋60-120分钟,然后排放掉;2.加水至3/4液位,参加浓H2SO4约5L,加水到液位后,喷淋30分钟后排放掉;3.加水至液位后喷淋30分钟后排放掉,然后用水冲洗干净缸体。缸壁异物及污迹已清除;过滤网无残渣堵塞一次/月压水辘、风刀每月更换一次压水海绵辘,清洁并调整风刀无残留物、污迹作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页10/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程定期维护(大保养)溶液配制用量:工作段名称液缸体积L(max)NaOH用量(kg)浓HCL用量(L)浓H2SO4用量(L)显影缸83030/30蚀刻123025/20脱膜800//30水洗缸100或1555/57.放板要求:放板时作业人员一定要戴上干净的手指套,轻拿轻放防止折皱,严禁裸手取板;单面板均需用引导板(或框架板)拖动,显影、蚀刻和脱膜时均需胶带胶粘牢,贴引导板(或框架板)时注意板上应该无残胶(带、纸)并应贴在板的边缘;7.3放板前核对工作板的型号、数量等应与流程卡一致,如有疑问,立即找当班组长或主管处理。7.4干膜显影撕保护膜时,注意一定把板边小碎块保护膜一起撕掉,以免进入显影机堵塞喷嘴;7.5曝光后的板须停置15分钟前方可显影,但最长停留时间不可超过8小时;7.6根据物料的类型调节传送速度等参数,批量生产须在试生产首板合格前方可批量生产;7.7放板入机器时作业者应自检每张产品,确认无误前方可放入机器,板与板之间应间隔2~5cm(1-2个轮距)间距,以防叠板7.8放板人员放板时必须每3-5分钟内巡视一次机器工作情况,以及时发现并处理卡板等异常现象;7.9每班显影,蚀刻作业员对当班显影板的数量、型号以及工艺检查、维护项目必须作详细记录;7.10生产时采用将线路面(若两面有线路,则线隙较小或线路较密的一面)朝上显影和蚀刻的原则;1放板前需确认各段药水温度达到设定温度前方可放板;2显影与蚀刻放板时必须遵循短边与转送方向相垂直的原则,为防止卡板板子可倾斜20-30°角放板。作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页11/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程8.接板要求:接板时一定要戴上干净干燥的防静电手套,轻拿轻放防止折皱,严禁裸手接板,以免造成板面油渍和手指印,双手对角接板,不允许拖、拉板,接的板必须用干净的蓝胶片隔开,防止檫花;8.2接板操作时要轻拿轻放,逐块接板放好,然后小心从导板上撕下来,小心撕破产品;8.3从显影出来的板件,接板人员必须进行自检,显影出板后,接板时必须板与板之间用干净的蓝胶片隔开,以免两张板粘在一起,影响产品品质;8.4蚀刻接板检查是否有蚀刻不净,蚀刻不净的板需单独挑出,禁止蚀刻不净的板进行脱膜;在正常生产过程中,当同一型号连续出现5PNL蚀刻不净时必须暂停放板,重新调整作业参数直至合格才能继续作业;8.5脱膜接板员要检查板面是否脱膜干净,若脱膜不净须重新脱膜;8.6蚀刻后接板和脱膜接板时必须将蚀刻干净和不干净的分开标识处理;8.7蚀刻后未能及时脱膜的板必须放置于盛水的盆子里,正常板需在30mins内脱膜。9.首板控制:9.1每班或在生产每一种型号板前必须要做首板检查,首件须用周转框或首件盒盛放,以免折伤;9.2每款产品按菲林号各生产2张,经品质部IPQC确认,合格前方可按照试板参数批量生产,注意在试板未检验合格之前,其余批量板不能生产;9.3首检项目:检查是否有曝光不良,显影不尽,显影过度,蚀刻不净或蚀刻过度现象,用百倍镜测量线宽线距是否符合MI要求,线宽/线距必须控制在要求的20%以内,有特殊要求按MI要求控制;9.4每班必须准确、如实的做好首检记录。10.生产注意事项:10.1机器启动前必须严格按照点检表中项目进行点检﹑确认,并在点检表上做好记录;10.2生产时各水洗槽必须溢流水洗;10.3除显影撕麦拉外,蚀刻、放板、中间检板、磨板、放板;所有取板、放板、点数动作须带防静电手套或指套;10.4盐酸及再生剂要及时补充,以免液位不足;盐酸生产100PNL需添加4升,蚀刻子液每100PNL添加800毫升;10.5待显影的物料不可以拿出显影室或被白光照射;10.6曝光好的基材须于15min后48H之前完成显影、蚀刻、脱膜烘干等作业作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页12/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程10.7调整生产时要打开蚀刻槽的日光灯,以随时掌握蚀刻槽状况;10.8每班加药前要认真核对化验室提供的化验单上需加药水的名称、数量,对于已超出工艺控制范围的必须在在接到化验单后必须立即停止作业,15分钟内添加完毕,对于未超出工艺控制范围而化验单上注名需要添加的必须在1小时内添加完毕,加药时要搅拌或过滤,直至药水溶解、混和均匀,并在加药时通知工艺或品质人员进行监督,并做好相关记录;加完药后需再次分析药水确认10.9所有固体药剂必须称量后添加,所有液体药剂必须用量具测量前方可添加,量杯在使用之前须用纯水洗干净;10.10员工不能随便更改各段压力和作业参数;10.11生产中须随时检查设备是否运转正常,如发现异常应立即停止作业,应第一时间通知设备部修理,严禁擅自维修;10.12过板厚度最厚不得超过,如有超过此厚度的必须要有工艺的相关指示方可过机,以免影响机器性能;3机器的各段零部件不得随意调换使用,以免影响机器的整体性能,在机器保养过程中应将各段滚轮,吸水辘编号,先拆下一段保养后装回原处再拆另一段保养并依此类推;4生产双面板时,在蚀刻后脱膜前应对其在线全检,确认无问题方可进入剥膜工序;5蚀刻缸保养后,如果铜含量偏低,不允许添加电镀用的磷铜(球),只能采取其它方法(如补加备用液、补加不含磷的废铜箔等);10.16一般情况下,显影后的产品(特指干膜产品)必须在24小时内蚀刻完毕;蚀刻后的产品必须在24小时内进行化学清洗/磨板后立即转贴合或其它流程;7生产过程中如发现产品加工异常时,应立即停止作业并报告相应管理者解决;8《作业指示流转卡》上操作参数或其他事项异于本《工艺规程》时,应咨询当班工艺工程师,根据工艺工程师的指示进行作业并要求工艺工程师在《作业指示流转卡》上签注;9停产时关掉电源、水阀等。11.作业中生产品质自检:显影板生产板型号、版本必须与MI符合;显影作业参数必须符合首板作业时的参数;作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页13/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程检查板面是否有显影不尽、残胶、干膜起翘、短线、断路、干膜压不实、气泡等不良现象;单元内有效图形必须符合MI要求,线宽、线距控制在要求范围内。蚀刻板板面不允许出现开路、短路、过蚀、线细线粗、铜颗粒、板面药水腐蚀、缺口、针孔、残胶等;线宽、线距控制在公差范围内。12.安全操作:12.1手上有水不可以操作电源和设备上的按钮;12.2开机之前必须确保所有的过滤器盖已锁紧,各药水段顶门或侧门已经关好,各药水添加缸药水充足,发动机无异常情况,管道无跑冒滴漏现象,否则严禁启动机器;12.3在需要打开相关的玻璃门窗前必须先关闭相应的喷淋程式,另外在打开各药水缸时还必须在关闭总电源前方可作业;12.4开机之前必须确认抽风系统已经打开,以免气体泄露影响身体健康和污染车间环境;12.5机器须由指定的人操作,操作者必须是经过培训且考核合格的人员,其他人员一律不许私自操作机器,否则视作违规;12.6加药,换缸等接触化学药品的操作,需戴耐酸碱橡胶手套、穿好水鞋、防护围裙防护眼镜及防毒口罩等防护用品前方可作,严格按规定操作;加H2SO4时一定要缓慢参加,防止一次参加量过多,槽液升温过快而烧毁槽体,固体化学物质一定要先溶解,再参加缸内;12.7各种化学药品对人体都有不同的危害,故添加要十分小心,如不慎伤及皮肤或眼睛,要用适量的水冲洗至少15分钟,严重者送医生处救治;12.8添加药品之后,应将盖口盖好,确保密封,添加完的空瓶、空桶须将盖子盖好,放在指定废品存放处,不可乱扔;12.9设备维修或维护时,开机需征得维修人员的同意,否则不得开机。13.显影点的测试(每周一、四,换缸后4小时内必须开始检测,并做好记录)13.1取6块经过贴膜未曝光的光铜板,尺寸最好400×300mm13.2按正常开机程序开机,并根据工艺要求将机速调好,然后将6块板按序放入机中,待第6块板完全进入显影缸后,立即关闭喷淋,同时以相同的速度将板送出;作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页14/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程测量第一块至第6块最后显影完全干净的地方的长度,记录其数值除以缸的长度(显影缸长度为220CM)再乘以100%即为显影点的百分数,显影点控制在40%-60%。14.DES线故障的产生,原因分析和解决方法:故障类型产生主要原因解决方法显影不净等参数没达到规定要求1.确认温度操作条件(28℃-32℃);;;;。显影过度;1.5%。显影后有膜碎显影参数不合理1.检查显影速度是否太快;2.检查水压是否达到标准。显影后有膜划伤1.传动不够良好;2.菲林与曝光盘不够清洁1.检查传动有无卡板;。沉淀1.氯-铜比值不对;;。蚀刻过度1.蚀刻速度过慢根据板面铜厚设定速度,并根据首板线宽、线距调整。2.蚀刻液中盐酸浓度过高1.通知化验室分析调整;3.铜离子过高加水调整铜离子;蚀刻不尽1.蚀刻速度过快根据板面铜厚设定速度,并根据首板线宽、线距调整;2.蚀刻液温度不正常检查表头温度显示与缸内液温是否一致并通知设备组处理;3.喷压不足1.检查管路及喷嘴是否破裂、脱落,通知设备组处理;2.检查液位是否过低,如是,则补充液位。双面蚀刻效果不一致1.上下喷压不一致1.通知设备组调整上下喷压后做首板确认。2.检查喷嘴是否堵塞,如是则疏通或更换之。2.喷管破裂导致喷压降低通知设备部处理。蚀刻后板面有胶传动轮上或蚀刻液中有胶倒缸,按保养方法清洗缸体,清洁传动轮。侧蚀大作业指导书编号LX-MEI-TD-004版次A.1页15/15生效日2021-07-01名称DES工艺规程故障类型产生主要原因解决方法光致抗蚀剂被破坏1.用氢氧化钠中和或者用水稀释进行调整.2.加强板面清洁处理.4.调整烘烤温度.脱膜不净1.NaOH药液浓度过低3.喷压降低1.关机检查喷嘴是否堵塞,如是则疏通或更换之;2.循环泵工作是否正常,通知设备组处理。4.水洗压力不足调整至正常压力。蚀刻段等卡板1.传动杆不转立即停机,取出板件并通知设备组处理胶带未贴好,板件脱落立即停机,取出板件并通知设备组处理;贴胶带时注意贴好。喷嘴脱落停机检查并从新安装好喷嘴铜外表有黄色或白色沉淀蚀刻液的氯离子和酸度太低2.采用5%盐酸密溶液清洗板面后再彻底用水清洗干净.停电立即从蚀刻段取出板件,用水清洗干净,作好标识待处理。15.附件:《DES线维护保养记录表》《DES线检查记录表》《DES线作业记录表》

高考语文试卷一、语言文字运用(15分)1.在下面一段话的空缺处依次填入词语,最恰当的一组是(3分)提到桃花源,许多人会联想到瓦尔登湖。真实的瓦尔登湖,早已成为▲的观光胜地,梭罗的小木屋前也经常聚集着▲的游客,不复有隐居之地的气息。然而虚构的桃花源一直就在我们的心中,哪怕▲在人潮汹涌的现代城市,也可以获得心灵的宁静。A.名闻遐迩闻风而至杂居 B.名噪一时闻风而至栖居C.名噪一时纷至沓来杂居 D.名闻遐迩纷至沓来栖居2.在下面一段文字横线处填入语句,衔接最恰当的一项是(3分)在南方,芭蕉栽植容易,几乎四季常青。▲至于月映蕉影、雪压残叶,那更是诗人画家所向往的了。①它覆盖面积大,吸收热量大,叶子湿度大。②古人在走廊或书房边种上芭蕉,称为蕉廊、蕉房,饶有诗意。③因此蕉阴之下,是最舒适的小坐闲谈之处。④在旁边配上几竿竹,点上一块石,真像一幅元人的小景。⑤在夏日是清凉世界,在秋天是分绿上窗。⑥小雨乍到,点滴醒人;斜阳初过,青翠照眼。A.①③②④⑥⑤ B.①④②③⑥⑤C.②①④③⑤⑥ D.②③④①⑤⑥3.下列诗句与“悯农馆”里展示的劳动场景,对应全部正确的一项是(3分)①笑歌声里轻雷动,一夜连枷响到明②种密移疏绿毯平,行间清浅縠纹生③分畴翠浪走云阵,刺水绿针抽稻芽④阴阴阡陌桑麻暗,轧轧房栊机杼鸣A.①织布②插秧③车水④打稻 B.①织布②车水③插秧④打稻C.①打稻②插秧③车水④织布D.①打稻②车水③插秧④织布4.阅读下图,对VR(即“虚拟现实”)技术的解说不正确的是一项是(3分)A.VR技术能提供三个维度的体验:知觉体验、行为体验和精神体验。 B.现有的VR技术在精神体验上发展较快,而在知觉体验上发展较慢。C.VR技术的未来方向是知觉体验、行为体验和精神体验的均衡发展。D.期许的VR体验将极大提高行为体验的自由度和精神体验的满意度。二、文言文阅读(20分)阅读下面的文言文,完成5—8题。临川汤先生传邹迪光先生名显祖,字义仍,别号若士。豫章之临川人。生而颖异不群。体玉立,眉目朗秀。见者啧啧曰:“汤氏宁馨儿。”五岁能属对。试之即应,又试之又应,立课数对无难色。十三岁,就督学公试,补邑弟子员。每试必雄其曹偶。庚午举于乡,年犹弱冠耳。见者益复啧啧曰:“此儿汗血,可致千里,非仅仅蹀躞康庄也者。”丁丑会试,江陵公①属其私人啖以巍甲而不应。曰:“吾不敢从处女子失身也。”公虽一老孝廉乎,而名益鹊起,海内之人益以得望见汤先生为幸。至癸未举进士,而江陵物故矣。诸所为附薰炙者,骎且澌没矣。公乃自叹曰:“假令予以依附起,不以依附败乎?”而时相蒲州、苏州两公,其子皆中进士,皆公同门友也。意欲要之入幕,酬以馆选,而公率不应,亦如其所以拒江陵时者。以乐留都山川,乞得南太常博士。至则闭门距跃,绝不怀半刺津上。掷书万卷,作蠹鱼其中。每至丙夜,声琅琅不辍。家人笑之:“老博士何以书为?”曰:“吾读吾书,不问博士与不博士也。”寻以博士转南祠部郎。部虽无所事事,而公奉职毖慎,谓两政府进私人而塞言者路,抗疏论之,谪粤之徐闻尉。居久之,转遂昌令。又以矿税事多所蹠戾②,计偕之日,便向吏部堂告归。虽主爵留之,典选留之,御史大夫留之,而公浩然长往,神武之冠竟不可挽矣。居家,中丞惠文,郡国守令以下,干旄往往充斥巷左,而多不延接。即有时事,非公愤不及齿颊。人劝之请托,曰:“吾不能以面皮口舌博钱刀,为所不知后人计。”指床上书示之:“有此不贫矣。”公于书无所不读,而尤攻《文选》一书,到掩卷而诵,不讹只字。于诗若文无所不比拟,而尤精西京六朝青莲少陵氏。公又以其绪余为传奇,若《紫箫》、《还魂》诸剧,实驾元人而上。每谱一曲,令小史当歌,而自为之和,声振寥廓。识者谓神仙中人云。公与予约游具区灵岩虎丘诸山川,而不能办三月粮,逡巡中辍。然不自言贫,人亦不尽知公贫。公非自信其心者耶?予虽为之执鞭,所忻慕焉。(选自《汤显祖诗文集》附录,有删节)[注]①江陵公:指时相张居正,其为江陵人。②蹠戾:乖舛,谬误。5.对下列加点词的解释,不正确的一项是(3分)A.每试必雄其曹偶 雄:称雄B.酬以馆选 酬:应酬C.以乐留都山川 乐:喜爱D.为所不知后人计 计:考虑6.下列对原文有关内容的概括和分析,不正确的一项是(3分)A.汤显祖持身端洁,拒绝了时相张居正的利诱,海内士人都以结识他为荣幸。B.因为上书批评当权者徇私情、塞言路,汤显祖被贬官至广东,做了徐闻尉。C.汤显祖辞官回家后,当地官员争相与他交往,而汤显祖不为私事开口求人。D.汤显祖与邹迪光相约三月份到江南一带游玩,但没准备好粮食,因而作罢。7.把文中画线的句子翻译成现代汉语。(10分)(1)见者益复啧啧曰:“此儿汗血,可致千里,非仅仅蹀躞康庄也者。”(2)然不自言贫,人亦不尽知公贫。公非自信其心者耶?予虽为之执鞭,所忻慕焉。8.请简要概括汤显祖读书为文的特点。(4分)三、古诗词鉴赏(11分)阅读下面这首唐诗,完成9—10题。学诸进士作精卫衔石填海韩愈鸟有偿冤者,终年抱寸诚。口衔山石细,心望海波平。渺渺功难见,区区命已轻。人皆讥造次,我独赏专精。岂计休无日,惟应尽此生。何惭刺客传,不著报雠名。9.本读前六句是怎样运用对比手法勾勒精卫形象的?请简要分析。(6分)10.诗歌后六句表达了作者什么样的人生态度?(5分)四、名句名篇默写(8分)11.补写出下列名句名篇中的空缺部分。(1)名余曰正则兮,__________________。(屈原《离骚》)(2)__________________,善假于物也。(荀子《劝学》)(3)艰难苦恨繁霜鬓,__________________。(杜甫《登高》)(4)树林阴翳,__________________,游人去而禽鸟乐也。(欧阳修《醉翁亭记》)(5)__________________,抱明月而长终。(苏轼《赤壁赋》)(6)浩荡离愁白日斜,__________________。(龚自珍《己亥杂诗》)(7)道之以德,__________________,有耻且格。(《论语·为政》)(8)盖文章,经国之大业,__________________。(曹丕《典论·论文》)五、现代文阅读(一)(15分)阅读下面的作品,完成12~14题。表妹林斤澜矮凳桥街背后是溪滩,那滩上铺满了大的碎石,开阔到叫人觉着是不毛之地。幸好有一条溪,时宽时窄,自由自在穿过石头滩,带来水草野树,带来生命的欢喜。滩上走过来两个女人,一前一后,前边的挎着个竹篮子,简直有摇篮般大,里面是衣服,很有点分量,一路拱着腰身,支撑着篮底。后边的女人空着两手,几次伸手前来帮忙,前边的不让。前边的女人看来四十往里,后边的四十以外。前边的女人不走现成的小路,从石头滩上斜插过去,走到一个石头圈起来的水潭边,把竹篮里的东西一下子控在水里,全身轻松了,透出来一口长气,望着后边的。后边的走不惯石头滩,盯着脚下,挑着下脚的地方。前边的说:“这里比屋里清静,出来走走,说说话……再呢,我要把这些东西洗出来,也就不客气了。”说着就蹲下来,抓过一团按在早铺平好了的石板上,拿起棒槌捶打起来,真是擦把汗的工夫也节约了。看起来后边的是客人,转着身于看这个新鲜的地方,有一句没一句地应着:“水倒是清的,碧清的……树也阴凉……石头要是走惯了,也好走……”“不好走,一到下雨天你走走看,只怕担断了脚筋。哪有你们城里的马路好走。”“下雨天也洗衣服?”“一下天呢,二十天呢。就是三十天不洗也不行。嗐,现在一天是一天的事情,真是日日清,月月结。”客人随即称赞:“你真能干,三表妹,没想到你有这么大本事,天天洗这么多。”主人微微笑着,手里捶捶打打,嘴里喜喜欢欢的:事情多着呢。只有晚上吃顿热的,别的两顿都是马马虎虎。本来还要带子,现在托给人家。不过洗完衣服,还要踏缝纫机。”客人其实是个做活的能手,又做饭又带孩子又洗衣服这样的日子都过过。现在做客人看着人家做活,两只手就不知道放在哪里好。把左手搭在树杈上,右手背在背后,都要用点力才在那里闲得住。不觉感慨起来:“也难为你,也亏得是你,想想你在家里的时候,比我还自在呢。”主人放下棒槌,两手一刻不停地揉搓起来:“做做也就习惯了。不过,真的,做惯了空起两只手来,反倒没有地方好放。乡下地方,又没有什么好玩的,不比城里。”客人心里有些矛盾,就学点见过世面的派头,给人家看,也压压自己的烦恼:“说的是,”右手更加用力贴在后腰上,“空着两只手不也没地方放嘛。城里好玩是好玩,谁还成天地玩呢。城里住长久了,一下乡,空气真就好,这个新鲜空气,千金难买。”单夸空气,好比一个姑娘没有什么好夸的,单夸她的头发。主人插嘴问道:“你那里工资好好吧?”提起工资,客人是有优越感的,却偏偏埋怨道:“饿不死吃不饱就是了,连奖金带零碎也有七八十块。”“那是做多做少照样拿呀!”“还吃着大锅饭。”“不做不做也拿六七十吧?”“铁饭碗!”客人差不多叫出来,她得意。主人不住手地揉搓,也微微笑着。客人倒打起“抱不平”来:“你好脾气,要是我,气也气死了,做多做少什么也不拿。”“大表姐,我们也搞承包了。我们家庭妇女洗衣店,给旅店洗床单,给工厂洗工作服都洗不过来。”“那一个月能拿多少呢?”客人问得急点。主人不忙正面回答,笑道:“还要苦干个把月,洗衣机买是买来了,还没有安装。等安装好了,有时间多踏点缝纫机,还可以翻一番呢!”“翻一番是多少?”客人急得不知道转弯。主人停止揉搓,去抓棒槌,这功夫,伸了伸两个手指头。客人的脑筋飞快转动:这两个手指头当然不会是二十,那么是二百……听着都吓得心跳,那顶哪一级干部了?厂长?……回过头来说道:“还是你们不封顶好,多劳多得嘛。”“不过也不保底呀,不要打算懒懒散散混日子。”客人两步扑过来,蹲下来抓过一堆衣服,主人不让,客人已经揉搓起来了,一边说:“懒懒散散,两只手一懒,骨头都要散……乡下地方比城里好,空气第一新鲜,水也碧清……三表妹,等你大侄女中学一毕业,叫她顶替我上班,我就退下来……我到乡下来享几年福,你看怎么样?”(选自《十月》1984年第6期,有删改)12.下列对小说相关内容和艺术特色的赏析,不正确的一项是?A.小说开头的景物描写,以自由流动的溪水所带来的“水草野树”以级“生命的欢喜”,暗示着农村的新气象。B.小说中“一路拱着腰身”等动作描写,以及“真是日日清,月月结”等语言描写,为下文表妹承包洗衣服这件事做了铺垫。C.表姐两次提到乡下空气“新鲜”,第一次是出于客套,第二次提到时,表姐对农村的好已有了更多体会。D.表妹说的“不要打算懒懒散散混日子”,既表达了自己对生活的态度,也流露出对自己得不到休息的些许不满。13.请简要分析表姐这一人物形象。(6分)14.小说刻画了两个人物,作者以“表妹”为题,表达了哪些思想感情?(6分)六、现代文阅读(二)(12分)阅读下面的作品,完成15~17题。书家和善书者沈尹默“古之善书者,往往不知笔法。”前人是这样说过。就写字的初期来说,这句话,是可以理解的,正同音韵一样,四声清浊,是不能为晋宋以前的文人所熟悉的,他们作文,只求口吻调利而已。笔法不是某一个人凭空创造出来的,而是由写字的人们逐渐地在写字的点画过程中,发现了它,因而很好地去认真利用它,彼此传授,成为一定必守的规律。由此可知,书家和非书家的区别,在初期是不会有的。写字发展到相当兴盛之后(尤其到唐代),爱好写字的人们,一天比一天多了起来,就产生出一批好奇立异、相信自己、不大愿意守法的人,各人使用各人的手法,各人创立各人所愿意的规则。凡是人为的规则,它本身与实际必然不能十分相切合,因而它是空洞的、缺少生命力的,因而也就不会具有普遍的、永久的活动性,因而也就不可能使人人都满意地沿用着它而发生效力。在这里,自然而然地便有书家和非书家的分别了。有天分、有休养的人们,往往依他自己的手法,也可能写出一笔可看的字,但是详细监察一下它的点画,有时与笔法偶然暗合,有时则不然,尤其是不能各种皆工。既是这样,我们自然无法以书家看待他们,至多只能称之为善书者。讲到书家,那就得精通八法,无论是端楷,或者是行草,他的点画使转,处处皆须合法,不能四号苟且从事,你只要看一看二王、欧、虞、褚、颜诸家遗留下来的成绩,就可以明白的。如果拿书和画来相比着看,书家的书,就好比精通六法的画师的画;善书者的书,就好比文人的写意画,也有它的风致可爱处,但不能学,只能参观,以博其趣。其实这也是写字发展过程中,不可避免的现象。六朝及唐人写经,风格虽不甚高,但是点画不失法度,它自成为一种经生体,比之后代善书者的字体,要严谨得多。宋代的苏东坡,大家都承认他是个书家,但他因天分过高,放任不羁,执笔单钩,已为当时所非议。他自己曾经说过:“我书意造本无法。”黄山谷也尝说他“往往有意到笔不到处”。就这一点来看,他又是一个道地的不拘拘于法度的善书的典型人物,因而成为后来学书人不须要讲究笔法的借口。我们要知道,没有过人的天分,就想从东坡的意造入手,那是毫无成就可期的。我尝看见东坡画的枯树竹石横幅,十分外行,但极有天趣,米元章在后边题了一首诗,颇有相互发挥之妙。这为文人大开了一个方便之门,也因此把守法度的好习惯破坏无遗。自元以来,书画都江河日下,到了明清两代,可看的书画就越来越少了。一个人一味地从心所欲做事,本来是一事无成的。但是若能做到从心所欲不逾矩(自然不是意造的矩)的程度,那却是最高的进境。写字的人,也需要做到这样。(有删改)15.根据原文内容,下列说法不正确的一项是(3分)A.善书而不知笔法,这一现象出现在写字初期,当时笔法还未被充分发现和利用。B.唐代爱好写字的人渐多,有一批人好奇立异,自创规则,经生体就是这么产生的。C.二王、欧、虞、褚、颜诸家都是严格遵守笔法的典型,他们都属于书家的行列。D.元明清三代,书画创作每况愈下,优秀作品越来越少,与守法度的习惯被破坏有关。16.下列关于原文内容的理解和分析,不正确的一项是(3分)A.在写字过程中,那些与实际不能完全切合的人为的规则,不具有普遍的永久的活动性,因而不能称之为笔法。B.书与画相似,书家之书正如画师之画,谨严而不失法度,而善书者之书正如文人的写意,别有风致。C.苏东坡天分高,修养深,意造的书画自有天然之趣,但率先破法,放任不羁,成为后世不守法度的借口。D.一味从心所欲做事是不可取的,但写字的人如能做到“从心所欲不逾矩”,却能达到最高的境界。17.书家和善书者的区别体现在哪些方面?请简要概括。(6分)七、现代文阅读(三)(12分)阅读下面的作品,完成18~20题。天津的开合桥茅以升开合桥就是可开可合的桥,合时桥上走车,开时桥下行船,一开一合,水陆两便,是一种很经济的桥梁结构。但在我国,这种桥造得很少,直到现在,几乎全国的开合桥都集中在天津,这不能不算是天津的一种“特产”。南运河上有金华桥,于牙河上有西河桥,海河上有全钢桥、全汤桥、解放桥。这些都是开合桥。为什么天津有这样多的开合桥呢?对陆上交通说,过河有桥,当然是再好没有了。但是河上要行船,有了桥,不但航道受限制,而且船有一定高度,如果桥的高度不变,水涨船高,就可能过不了桥。要保证船能过桥,就要在桥下预留一个最小限度的空间高度,虽在大水时期,仍然能让最高的船通行无阻。这个最小限度的空间高度,名为“净空”,要等于河上航行的船的可能最大高度。根据河流在洪水时期的水位,加上净空,就定出桥面高出两岸的高度。如果河水涨落差距特别大,如同天津的河流一样,那么,这桥面的高度就很惊人了。桥面一高,就要在桥面和地面之间造一座有坡度的“引桥”,引桥不仅增加了桥梁的造价,而且对两旁的房屋建筑非常不利。这在城市规划上成了不易解决的问题。这便是水陆文通之同的一个矛盾。为了陆上交通,就要有正桥过河,而正桥就妨碍了水上交通;为了水上交通,就要有两岸的引桥,而引桥又妨碍了陆上交通,因为上引桥的车辆有的是要绕道而行的,而引桥两旁的房屋也是不易相互往来的。在都市里,除非长度有限,影响不大的以外,引桥总是一种障碍物,应当设法消除。开合桥就是消除引桥的一种桥梁结构。天津开河桥多,就是这个原因。开合桥的种类很多,一种是“平旋桥”,把两孔桥联在一起,在两孔之间的桥墩上,安装机器,使这两孔桥围绕这桥墩在水面上旋转九十度,与桥的原来位置垂直,让出两孔航道,上下无阻地好过船。一种“升降桥”,在一孔桥的两边桥墩上,各立塔架,安装机器,使这一孔桥能在塔架间升降,就像电梯一样,桥孔升高时,下面就可以过船了。一种是“吊旋桥”,把一孔桥分为两叶,每叶以桥墩支座为中心,用机器转动,使其临空一头,逐渐吊起,高离水面,这样两叶同时展开,就可让出中间通道,以便行船。一是“推移桥”把一孔桥用机器沿着水平面拖动,好像拉抽屉是一样,以使让出河道行船。开合桥桥面不必高出地面,不用引桥,但开时不能走车,合时不能通船,水陆交通不可同时进行。特别是,桥在开合的过程中,既非全开,又非全合,于是在这一段时间里,水陆都不能通行,这在运输繁忙的都市,如何能容许呢?因此,在桥梁史上,开合桥虽曾风行一时,但在近数十年来,就日益减少了。那么,开合桥怎样才能更好地服务呢?应当说,有几种改进的可能:一是将桥身减轻,改用新材料,使它容易开动;二是强化桥上的机器,提高效率,大大缩减开桥合桥的时间;三是利用电子仪器,使桥的开合自动化,以期达到每次开桥时间不超过3分钟,如同十字道口的错车时间一样。这些都不是幻想,也许在不久的将来就会实现。(有删改)18.下列对文中“引桥”的理解,不正确的一项(3分)A.引桥是建造在河的两岸有一定坡度的桥,其作用是引导车辆驶上正桥。B.在设计引桥时,需要综合考虑空间高度、桥梁造价、城市规划等因素。C.引桥方便了水上交通,但会妨碍陆上交通,因为上引桥的车辆必须绕道。D.在都市里,长度过长、影响太大的引桥是一种障碍物,应该设法消除。19.下列对原文内容的概括和分析,不正确的一项是(3分)A.开合桥成为天津的“特产”,与天津河流水位涨落差距特别大密切相关。B.建桥时,正桥桥面高出两岸的高度等于河流平时的水位加上桥的净空。C.除平旋桥之外,升降桥、吊旋桥、推移桥这三种都属于一孔桥。D.改进开合桥的关键是尽可能缩减桥的开合时间,提高通行效率。20.请结合全文,概括开合桥的优缺点。(6分)八、作文(70分)21.根据以下材料,选取角度,自拟题目,写一篇不少于800字的文章;除诗歌外,文体自选。物各有性,水至淡,盐得味。水加水还是水,盐加盐还是盐。酸甜苦辣咸,五味调和,共存相生,百味纷呈。物如此,事犹是,人亦然。语文Ⅱ(附加题)一、阅读材料,完成22~24题。(10分)题自书杜拾遗诗后徐渭余读书卧龙山之巅,每于风雨晦暝时,辄呼杜甫。嗟乎,唐以诗赋取士,如李杜者不得举进士;元以曲取士,而迄今啧啧于人口如王实甫者,终不得进士之举。然青莲以清平调三绝宠遇明皇实甫见知于花拖而荣耀当世彼拾遗者一见而辄阻仅博得早朝诗几首而已余俱悲歌慷慨苦不胜述。为录其诗三首,见吾两人之遇,异世同轨。谁谓古今人不相及哉!22.用斜线“/”给上面文言文中的划线部分断句。(限5处)(5分)23.王实甫的杂剧代表作为《▲》,期中男女主人公是▲、▲。(3分)24.根据材料,概括文中古今人“相及”的内涵。(2分)二、名著阅读题。(15分)25.下列有关名著的说明,不正确的两项是(5分)(选择两项且全答对得5分,选择两项只答对一项得2分,其余情况得0分)A.《三国演义》中,张飞在长板桥上睁圆环眼厉声大喝,吓退曹兵,然后迅速拆断桥梁,以阻追兵,可见张飞十分勇猛,有很有智谋。B.《家》中,许倩如倡导女子剪发,带头剪掉自己的辫子,还以梅的遭遇来激发琴拒绝包办婚姻,鼓励琴做一个跟着时代走的新女性。C.《狂人日记》中,狂人说将来的社会“容不得吃人的人”,最后喊出“救救孩子”,作者借此表达了对社会变革的强烈渴望。D.《欧也妮·葛朗台》中

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