标准解读
《GB/T 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法》是一项国家标准，专门针对蓝宝石单晶材料的晶向进行测量的技术规范。该标准定义了通过X射线衍射技术来确定蓝宝石单晶样品中特定晶面方向的方法，适用于各种形态（如棒状、片状等）的蓝宝石单晶产品。
在实际应用过程中，首先需要准备待测样品，并确保其表面清洁无污染，以便于获得准确的测量结果。接着，采用X射线衍射仪作为主要测试工具，根据仪器说明书设置好相应的参数，包括但不限于电压、电流以及扫描范围等。对于不同类型的蓝宝石单晶，可能还需要调整特定的角度或位置以优化信号接收。
标准详细描述了从样品制备到数据收集再到分析处理的整个流程。它强调了实验条件的重要性，比如温度控制、环境稳定性等因素对最终结果的影响。此外，还提供了一些辅助手段和技术建议，帮助提高测量精度和重复性。
本文件不仅适用于科研机构和高等院校从事相关研究工作的人员参考使用，也为企业在生产过程中监控产品质量提供了科学依据。通过遵循此标准所规定的程序执行测试，可以有效地保证蓝宝石单晶材料的质量及其性能的一致性。
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....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2017-09-07 颁布
- 2018-06-01 实施
文档简介
ICS77040
H21.
中华人民共和国国家标准
GB/T34210—2017
蓝宝石单晶晶向测定方法
Testmethodfordeterminingtheorientationofsapphiresinglecrystal
2017-09-07发布2018-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
蓝宝石单晶晶向测定方法
GB/T34210—2017
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号
2(100029)
北京市西城区三里河北街号
16(100045)
网址
:
服务热线
:400-168-0010
年月第一版
20179
*
书号
:155066·1-55963
版权专有侵权必究
GB/T34210—2017
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准
(SAC/TC203)
化技术委员会材料分会共同提出并归口
(SAC/TC203/SC2)。
本标准起草单位中科院上海光学精密机械研究所丹东新东方晶体仪器有限公司深圳市中安测
:、、
标准技术有限公司东莞市华源光电科技有限公司
、。
本标准主要起草人杭寅甄伟尹继刚赵松彬洪佳琪张连翰张毅刘卫卫
:、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T34210—2017
蓝宝石单晶晶向测定方法
1范围
本标准规定了采用射线定向仪测定蓝宝石单晶晶向的方法
X。
本标准适用于测定表面取向大致平行于低指数晶面的蓝宝石单晶材料
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
半导体单晶晶向测定方法
GB/T1555
半导体材料术语
GB/T14264
射线晶体定向仪
JB/T5482X
3术语和定义
和界定的术语和定义适用于本文件
GB/T1555、GB/T14264JB/T5482。
4方法原理
晶体晶向是基于射线衍射原理来测定的单晶是由三维周期性结构排列的原子组成可以看作
X。,
是原子排列空间垂直距离为d的一系列平行晶面所形成当一束平行的单色射线射入该晶面上且
,X,
射线照在相邻晶面之间的光程差为其波长的整数倍即n倍时就会产生衍射反射利用计数器探
X,()。
测衍射线根据其出现的位置即可确定单晶的晶向如图所示
,,1。
图1X射线照射到单晶晶面上几何反射条件
当入射光束与反射晶面之间夹角θ射线波长λ晶面间距d及衍射级数n同时满足下面布拉格
、X、
定律式时射线衍射光束强度将达到最大值
(1),X:
nλ=dθ
2sin
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