- 现行
- 正在执行有效
- 2015-12-10 颁布
- 2016-11-01 实施
文档简介
ICS77040
H21.
中华人民共和国国家标准
GB/T32282—2015
氮化镓单晶位错密度的测量
阴极荧光显微镜法
TestmethodfordislocationdensityofGaNsinglecrystal—
Cathodoluminescencespectroscopy
2015-12-10发布2016-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T32282—2015
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准
(SAC/TC203)
化技术委员会材料分会共同提出并归口
(SAC/TC203/SC2)。
本标准起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州纳维科技有限公司
:、。
本标准主要起草人曾雄辉张燚董晓鸣牛牧童刘争晖邱永鑫王建峰徐科
:、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T32282—2015
氮化镓单晶位错密度的测量
阴极荧光显微镜法
1范围
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法
。
本标准适用于位错密度在3个28个2之间的氮化镓单晶中位错密度的测试
1×10/cm~5×10/cm。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所用的修改单适用于本文件
。,()。
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T1554
半导体材料术语
GB/T14264
微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则
GB/T27788
3术语和定义
界定的以及下列术语和定义适用于本文件
GB/T14264。
31
.
阴极荧光cathodoluminescence
材料在阴极射线电子束激发下产生发光的一种物理现象
()。
32
.
辐射复合radiativerecombination
电子从高能态到低能态的跃迁过程中电子和空穴复合时会释放一定的能量能量以光子的形式
,,
释放
。
33
.
非辐射复合nonradiativerecombination
电子从高能态到低能态的跃迁过程中电子和空穴复合时会释放一定的能量能量以除光子辐射之
,,
外的其他形式释放
。
4方法提要
通常待测发光材料样品在电子束的作用下会被激发出各种信号如二次电子信号背散射电子信
,,,、
号射线信号阴极荧光信号等采用特定的探测器对上述信号进行分别接收便可得到反映样品相
、X、。,
应特征的图像对阴极荧光信号主要采用光电倍增管来探测将光信号转换成电流最后以图像输出
。,,。
阴极荧光图像上的衬度反映了样品不同区域发光的强弱
。
位错通常是氮化镓单晶中的非辐射复合中心因此会在阴极荧光图像上表现为暗点阴极荧光显微
,,
镜的空间分辨率可达到几十纳米
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