文档简介
ICS31200
L55.
中华人民共和国国家标准
GB/T26111—2010
微机电系统MEMS技术术语
()
Micro-electromechanicalsystemtechnology—Terms
2011-01-10发布2011-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T26111—2010
目次
前言…………………………
Ⅲ
范围………………………
11
规范性引用文件…………………………
21
术语和定义………………
31
综合性术语…………………………
3.11
科学与工程术语……………………
3.22
与材料相关的术语…………………
3.33
与设计相关的术语…………………
3.44
与加工工艺相关的术语……………
3.57
封装与组装术语……………………
3.610
测量技术术语………………………
3.713
与器件相关的术语…………………
3.815
参考文献……………………
22
索引…………………………
23
汉语拼音索引………………
23
英文对应词索引……………
27
Ⅰ
GB/T26111—2010
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC336)。
本标准主要起草单位中机生产力促进中心中国电子科技集团第研究所清华大学上海交通
:、13、、
大学中北大学
、。
本标准主要起草人丁红宇刘伟张苹崔波杨拥军叶雄英陈迪石云波
:、、、、、、、。
Ⅲ
GB/T26111—2010
微机电系统MEMS技术术语
()
1范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料设计加工封装测量以及器件等方面的通用术语和
、、、、
定义
。
本标准适用于微机电系统领域的研究开发评测和应用
、、。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅所注日期的版本适用于本
。,
文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
电工术语半导体器件和集成电路
GB/T2900.66—2004(IEC60050-521:2002,IDT)
3术语和定义
31综合性术语
.
311
..
微机电系统micro-electromechanicalsystemsMEMS
,
微系统microsystem
微机械micromachine
关键部件特征尺寸在亚微米至亚毫米之间能独立完成机电光等功能的系统
(),。
注1微机电系统一般包括微型机构微传感器微执行器信号处理和控制通讯接口电路以及能源等部分
:、、、、。
注2微机电系统通常需要多学科领域技术的综合应用例如机电光生物等多种领域
:,、、、。
注3主要在美国使用微系统主要在欧洲使用微机械主要在日本使用
:MEMS,,。
312
..
微机电系统技术micro-electromechanicalsystemtechnologies
技术
MEMS
实现微机电系统的技术
。
313
..
微科学与工程micro-scienceandengineering
针对于微机电系统的微观科学与工程
。
注随着微机电系统构件尺寸的减小许多物理特性发生了变化主要有两类情况这些变化有时可以由宏观世
:,。:1)
温馨提示
- 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
- 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
- 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题。
最新文档
- 湖北省孝感市应城市2024-2025学年八年级上学期期中数学试题(无答案)
- 【语文课件】地动仪课件
- 【语文课件】我最爱吃的水果
- 《广告我懂个P前传》课件
- 《Hela细胞传代培养》课件
- G业务网络技术培训课件
- 羊皮纸市场发展现状调查及供需格局分析预测报告
- 制图角板市场需求与消费特点分析
- 渡船产业规划专项研究报告
- 医疗器械和仪器市场发展现状调查及供需格局分析预测报告
- 《少年的荣耀》阅读推荐课件参考
- 答案版湖北省黄冈七年级上学期语文期末试卷
- 急性中毒氧疗方式
- 钠与水的反应
- 新乡化纤股份有限公司年产六千吨再生氨纶纤维项目环境影响报告
- 向世界讲述中国智慧树知到答案章节测试2023年
- 教科版五年级科学上册(风的作用) 教学课件
- 全国初中语文优质课一等奖《诫子书》课堂实录及评析
- JJG 148-2006标准维氏硬度块
- GB/T 699-2015优质碳素结构钢
- 新历史主义文艺思潮
评论
0/150
提交评论