GB/T 26111-2023微机电系统(MEMS)技术术语

ICS3108099

CCSL.59.

中华人民共和国国家标准

GB/T26111—2023

代替GB/T26111—2010

微机电系统MEMS技术术语

()

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Terms

IEC62047-12016Semiconductordevices—Micro-electromechanical

(:,

devices—Part1TermsanddefinitionsMOD

:,)

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T26111—2023

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

通用术语和定义

3.1……………………1

与科学和工程有关的术语和定义

3.2…………………2

与材料科学有关的术语和定义

3.3……………………3

与功能元件有关的术语和定义

3.4……………………3

与加工技术有关的术语和定义

3.5……………………7

与键合和装配技术有关的术语和定义

3.6……………12

与测量技术有关的术语和定义

3.7……………………14

与应用技术有关的术语和定义

3.8……………………15

附录资料性本文件与相比的主要技术变化

A()GB/T26111—2010………………18

参考文献

……………………26

索引

…………………………27

Ⅰ

GB/T26111—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替微机电系统技术术语与相比

GB/T26111—2010《(MEMS)》,GB/T26111—2010,

除结构调整和编辑性改动外存在较多技术变化这些技术变化一览表见附录

,,A。

本文件修改采用半导体器件微机电器件第部分术语和定义

IEC62047-1:2016《1:》。

本文件与相比做了下述结构调整

IEC62047-1:2016:

增加了第章规范性引用文件所有术语条目编号顺延一章例如本文件中的对应

———2“”,(,3.2.1

中的

IEC62047-1:20162.2.1);

除外中的术语条目编号与中的第章相应部分保持一致

———3.1,3.2~3.8IEC62047-1:20162;

删除了附录

———B。

本文件与中的技术差异及其原因如下

IEC62047-1:2016:

增加了关于本文件适用范围的描述以符合我国标准起草规定见第章

a),,(1);

增加了术语微机电系统及其定义见

b)“”(3.1.1)。

本文件做了下列编辑性改动

:

为与现有标准协调将标准名称改为微机电系统技术术语

a),《(MEMS)》;

删除了所有仅适用于法语版标准的注

b);

删除了中的资料性附录编辑本术语表的立场和准则和资料性附录

c)IEC62047-1:2016A“”B

和的条目交叉引用

“IEC62047-1:2005IEC62047-1:2016”;

增加了资料性附录本文件与相比的主要技术变化

d)A“GB/T26111—2010”;

用我国文件替代了参考文献中相对应的国际文件

e)IEC62047-1:2016“”。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准起草单位中机生产力促进中心有限公司西安知微传感技术有限公司苏州大学北京大

:、、、

学无锡华润上华科技有限公司中国科学院空天信息创新研究院北京航空航天大学上海交通大学

、、、、、

天津大学北京航天控制仪器研究所西安现代控制技术研究所中国科学院上海微系统与信息技术研

、、、

究所北京晨晶电子有限公司天津新智感知科技有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所中

、、、、

国科学院微电子研究所广州广电计量检测股份有限公司南京高华科技股份有限公司杭州左蓝微电

、、、

子技术有限公司广州奥松电子股份有限公司华东光电集成器件研究所江苏普诺威电子股份有限公

、、、

司明石创新烟台微纳传感技术研究院有限公司

、()。

本标准主要起草人顾枫宋秀敏李根梓孙立宁张大成夏长奉夏善红董全林张卫平胡晓东

:、、、、、、、、、、

刘会聪邢朝洋刘奎熊斌张永斌张威崔波陈得民王玮冰明志茂李晓波

、、、、、、、、、、、SHUMINZHANG、

张宾张胜兵杨飞高峰

、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2010,。

Ⅲ

GB/T26111—2023

微机电系统MEMS技术术语

()

1范围

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义

。

本文件适用于微机电系统领域的研究开发评测和应用

、、。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

31通用术语和定义

.

311

..

微机电系统micro-electromechanicalsystemsMEMS

;

基于微纳制造技术制备的功能结构器件构成的系统

、。

注微传感器微执行器微流控器件微能源等以及与信号处理控制等电路的集成

:、、、,、。

312

..

微机电器件micro-electromechanicaldevice

集成了传感器执行器换能器谐振器振荡器机械组件和或电路的微型化器件

、、、、、/。

注从设计材料加工功能元件系统控制供能粘接与组装电路评测等基础技术到诸如微科学与工程微观

:、、、、、、、、、

尺度的热力学与摩擦学等基础科学相关技术差异极大如果这些器件构成一个系统通常被称为是