标准解读

《GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片》作为一项技术标准，规定了硅-蓝宝石外延片的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存要求。然而，您提供的对比对象不完整，无法直接进行详细的变更对比分析。为了提供有用的信息，我将概述一般情况下技术标准更新时可能涉及的几个常见变更方向，尽管这并不特指与《GB/T 14015-1992》相比的具体另一个标准：

  1. 技术指标提升：新标准可能会对硅-蓝宝石外延片的物理、化学性能提出更严格的要求，如提高材料纯度、降低缺陷密度、改进晶格匹配度等，以适应技术进步和应用需求的增加。

  2. 生产工艺规范：随着生产技术和工艺的进步，新标准可能会引入新的制备方法或优化现有工艺流程，以提高生产效率和产品质量，同时减少环境污染。

  3. 测试与检验方法：更新的标准可能会采用更先进、精确的测试手段和仪器设备来评估外延片的质量，包括但不限于表面形貌、晶体结构、电学特性等方面的检测方法。

  4. 环保与安全要求：考虑到环境保护和生产安全的重要性日益增强，新标准可能会增设或加强对外延片生产过程中环保材料使用、废弃物处理及安全生产的操作规范。

  5. 分类与标识系统：为便于管理和应用，新标准可能会调整产品的分类体系，并对产品标识、包装、运输和储存要求进行细化或标准化，以提高供应链的效率和透明度。

  6. 国际标准接轨：随着全球化贸易的发展，新标准可能会参考或等同采用国际标准，以促进国内外市场的互认与交流，增强产品的国际竞争力。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 1992-12-28 颁布
  • 1993-08-01 实施
©正版授权
GB/T 14015-1992硅-蓝宝石外延片_第1页
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文档简介

UDC621.382.032.9L.90中华人民共和国国家标准GB/T14015-92硅一蓝宝石外延片Silicononsapphireepitaxialwafers1992-12-28发布1993-08-01实施国家技术监督局发布

(京)新登字023号中华人民共和国国家标准一蓝宝石外延片GB/T14015-92中国标准出版社出版发行北京西城区复兴门外三里河北街16号邮政编码：100045电话：63787337、637874471993年8月第一版2004年12月电子版制作书号：155066·1-9656版权专有侵权必究举报电话：（010）68533533

中华人民共和国国家标准GB/T14015-92硅一蓝宝石外延片Silicononsapphireepitaxialwafers主题内容与适用范围本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单品硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单品硅外延片。2引用标准GB6624硅单品地光表面质量目测检验方法（B2828逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查)GB/T13843蓝宝石单品抛光衬底片SJ2446非本征半导体单晶蛋尔迁移率的测试方法硅外延层厚度，层错密度，硅片上的缺陷和治污观察标准和规程术语。。见附录A。3技术要求3.1衬底蓝宝石抛光衬底片的技术要求应符合GB'T138433.2掺杂剂及导电类型3.2.1掺杂剂为铝、硼或磷。3.2.2导电类型为P型或N型。3.3外延层厚度3.3.1外延层厚度为0.4～5um.3.3.2径向厚度不均勾性：<±6%。3.4电阻率电阻率为0.05~2000cm。3.5迁移率数值：>40cm²/V·s。3.66载流子浓度范围：10*～10"at/cm。3.7表面缺陷的最大允许值应符合表1的要业。最大允许值层错蜜度25个/r

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