超净车间各岗位操作标准

1、超净车间各岗位操作标准编制人/日期:审核人/日期:批准人/日期:目的明确超净车间操作人员的作业标准，确保清洗扩散工艺的稳定进行。范围本标准适用于超净车间的所有工作人员，适用于清洗、扩散工艺过程。相关文件无定义无职责为了使超净车间各工序操作能够按照标准化进行，明确规定了超净车间各岗的工艺操作权限。普通员工无权对任何工艺参数进行修改与调整。操作员在工艺工程师授权的情况下才能对设备的工艺参数进行调整，在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，并填写司炉点检表。当发现工艺参数发生变化或机台报警时应及时通知班组长，由班组长通知工艺值班工程

2、师,或者主操作直接通知工艺值班工程师。出现任何异常，请详细记录于异常记录单，并及时通知班组长，根据异常情况通知工艺或设备工程师。司炉人员不可更改进出舟速度，一律采用正常工艺中的舟速。班组长班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。当工艺工程师不在现场，且扩散后硅片的方块电阻出现异常时，生产班组长可以对扩散炉管源流量进行调节，并在工艺更改记录单上详细记录更改内容(如不记录,将视为误操作）。其他非工艺人员不可以对工艺进行更改。当对源流量进行微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行处理。533班组长应该积极的配合工艺工程师完成各项实验。534协助工艺工

3、程师对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺工程师，并由工艺工程师进行确认处理。53,5实验单由班组长负黄，监督本纽惊I,如实、认真填吗匚5.3.6任何部门借用机台，均需工艺、设备和生产部门确认后方可借用。交回后需由各相关部门确认后方可恢复生产。5.4工艺工程师5.4.1保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产时，应该及时采取相应的解决措施。工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行；当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与生产主管及工艺部主管讨论确认方案的可行性，然后有条理的进行实验工艺工程师的实验在没有成熟时

4、不得进行批量生产在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数;巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理;可以根据工艺需要对手工清洗处的溶液浓度暂时进行相应的微调，加大或减小清洗液的浓度;可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整;可以根据需要对扩散炉的工艺参数进行相应调整；并在工艺更改记录单上详细记录更改内容和更改效果。保证超净间各个工艺在规定的工艺参数（工艺卡）下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查，完成sped关工作；对超净车间常见工艺异常（方阻异常、烧焦、滴源等）进行记录并查找原因进行处理；对本车间内制绒面绒面异常或有污染等与制绒相关异常情况反馈给制

5、绒工艺工程师；接受刻蚀工艺工程师反馈的工艺异常并帮助查找原因;详细填写工艺更改记录单，重大异常及时上报部门主管，收集相关数据，并做分析,给出报告;配合其他段工艺工程师完成各项实验和质量控制。环境无职业安全无管理内容扩散标准作业规范扩散炉工艺作业步骤操作界面的打开:扩散炉通电后触摸屏显示器同时将被打开，在触摸屏显示器上双击扩散炉监控程序”的图标，屏幕上将出现一对话框，在对话框内输入用户名和密码后将进入“扩散炉监控程序”的主界面温度设置：温度设定值可在触摸屏上直接修改或设定：点击温度控制器图形上的SV设定栏，出现输入数据对话框，输入想要设定的温度，最后点击“确定”按钮，该SV温度值将得到修改或设定

6、。流量设置：在手动操作主界面的右上侧，有一个“流量控制”区域。在该区域可小N2、大N2、干02及清洗小N2流量可在触摸屏上直接修改或设定：点击流量控制器图形上的设定栏，出现输入数据对话框，输入想要设定的流量，最后点击“确定”按钮，该流量值将得到修改或设定，同时在检测值栏可以观察到气路流量的大小。舟动作设置：在主屏幕的中间，有一个“手动”。在推舟速度处设置适合的舟速值,点“向前”、“向后”、“向上”、“向下”或“Stop”按钮，舟就会向炉内前进、后退、向上、向下或停止移动。在手动操作屏的舟移动只需设置舟速并选择相应按钮即可实现舟的自动作。工艺编辑：工艺编辑只需要依照界面上的显示依次序编辑，设置各

7、步骤时间、温度、气体流量等工艺参数。设置推舟的状态时，先设置推舟速度，按工艺步骤要求点击“放舟”、“取舟”、“停止”，编辑设置舟速，进出炉时需设置为净化风机开，其他时候为关。工艺运行:点击手动操作屏“工艺运行”按钮，进入工艺运行选择所要运行的工艺。第一步结束后，检查炉门是否关严；第四步通源时，检查源瓶是否鼓泡；并定时检查温度及各项气体流量是否正常。断点启动：在手动操作屏中点击“工艺重置”按钮即进入断点信息屏，在该屏中可察看发生断点时的各种工艺参数，点击启动断点运行将直接进入自动运行屏，工艺运行屏继续运行原来停止时的工艺。报警窗口：报警窗口是显示报警信息的，当出现报警时，在报警状态一览表中会显示

8、所有报警信息，当报警信息不断闪动时，表示处于该报警状态中当报警状态一览表中没有信息时，表示系统未出现该报警状态。工艺曲线及数据历史纪录点击手动操作屏的“历史记录”按钮，进入打开历史纪录屏后，可自行选择所需要的资料，包括手工运行和自动运行工艺两种。事件记录:在事件记录窗口下显示登陆、注销、操作、报警和错误的相关信息时常要查看相关记录。用户设置：点击手动操作屏中的“用户设置”按钮将显示用户管理窗体，在此窗体中，我们可以修改自己的资料。系统设置：点击手动操作屏中“系统设置”按钮将显示更换用户窗体，在此窗体中，可以分别对气路、温控仪通讯、推舟、压力传感器、设备保养及源瓶和系统的进行设置。退出程序：点击

9、手动操作屏中“退出系统”按钮将显示程序退出确认屏，点击确定按钮及结束控制程序的本次运行。方阻测量测试片的抽取方法1F2F4F5F6F如图所示，每组需取6片测试片，前舟的舟前、舟中、和舟后各取一片测试片，后舟的舟中和舟尾各取一片；且1F、4F取前舟的第三槽F面一片,2F、5F分别取各舟的中间位置F面一片;3F、6F分别取各舟的倒数第三个槽F面。测试片取好后，冷却2分钟后直接去量测8.222方阻的量测用镊子夹取测试片，按顺序测量，并记录于方阻记录表中。注意事项操作员准确记录每一炉产品的方阻和与之相对应的机台号。如果产品出现异常，并及时通知生产班长和工艺工程师。8.2.3扩散炉注意事项8.2.3.1

10、扩散炉使用注意事项由于本程序需要多种支撑软件才可正确执行，因此严禁删除计算机内已经安装的各种软件程序退出后将关闭所有的阀门及流量，推舟停止运行，温控仪的各个参数将保持。若设备超过7天不需运行工艺时，需要降温并关闭主机电源以延长计算机和板卡的使用寿命。每班交接班前需先擦拭、清理干净机台外面的操作台面、舟叉等器械。PM周期：炉管的洗管周期为六个月，按具体洗管计划进行清洗。七星扩散炉工控机每周重启一次。扩散工艺过程注意事项严格控制出炉时间，上下两个不能同进同出，尽量避免交叉污染。温馨推荐您可前往百度文库小程序享受更优阅读体验不去了立即体验在废气室与无尘室的通风口处禁止停放小车和硅片。任何金属物品不应

11、接触石英器皿、器件。禁止用舟叉对工控机界面进行操作。各炉管有自己固定的石英舟，不得混用。工作人员在搬运石英凳时，任何物品（除石英器件）不得接触石英凳上表面。超净间所用的石英用品应按时清洗（石英舟、凳每周清洗一次，每周一完成清洗），且应保证清洗质量，工艺工程师应对清洗后的石英用品进行检查，确认清洗效果。禁止潮湿的硅片装舟进炉扩散。高纯清洗处一定要保证硅片清洗干净（硅片表面无大片水滴黏附），不干净的硅片不得进炉扩散，需重新清洗或先做氧化处理后（氧化时间尽量在10分钟以内）再进炉扩散。出炉时清理石英门及炉外接源小盒上的残余磷源，2次每班。出现任何异常，请详细填写异常记录单，以方便工艺工程师查找原因。

12、新石英管需饱和24小时方可运行工艺，清洗过的石英管饱和16个小时方可运行工艺；新石英舟需饱和1小时方可使用。恒温槽温度应保持在20土0.7C,若超出该范围通知设备工程师和工艺工程师及时处理。若由于是恒温槽内水脏引起报警，需及时换水。8.2.4石英管清洗炉管清洗操作规范石英管清洗酸液配比：HF酸2瓶（每瓶4L）,HCL酸2瓶（每瓶4L），加水至石英管放入酸槽后的半径高度。清洗步骤：水洗10min+酸洗15min+水洗10min；清洗完毕后用氮气枪将石英器件吹干，对于石英管可以先用无尘布将外壁表面的水擦干，然后再用氮气枪将内壁吹干。清洗注意事项：石英管清洗时要保证滚轴的转动，当管内有碎屑时需要用水

13、枪将碎屑冲出；保温桶清洗前要用塞子将上面的小孔塞住，以避免水将保温棉浸湿，清洗时要保证清洗充分。清洗不净的处理：当炉管的石英器件受到污染时，按照正常的清洗流程可能清洗不净；因此对于受污染的石英器件，可以通过加大酸的浓度和加长清洗时间来加强清洗效果。对于无法清洗干净的石英器件，需要报废并更换新的石英件。洗管后注意事项确认炉管安装是否正确，包括氮化硅桨的水平、高度和角度是否正确，进气口的位置是否在正中央。确认保温桶、匀流板的摆放位置，以及恒温区的位置是否正确重新拉恒温区后，记录拉恒温区前后repair值。做16小时饱和后，第一组硅片须测完电阻正常后，方可将机台交付生产。8.2.5石英舟（包括石英凳

14、）清洗流程石英舟（包括石英凳）清洗操作规范石英舟（包括石英凳）清洗酸液配比：HCL3瓶（每瓶4L）HF1瓶（每瓶4L），加水至淹没石英舟即可。清洗步骤：水洗5min+酸洗5min+水洗5min；清洗完毕后用氮气枪将石英舟（包括石英凳）吹干，再放入烘干箱内烘干即可。清洗注意事项：清洗过程中不可以用手直接接触石英舟。清洗不净的处理：当石英舟（包括石英凳）受到污染时，按照正常的清洗流程可能清洗不净；因此对于受污染的石英舟（包括石英凳），可以通过加大酸的浓度和加长清洗时间来加强清洗效果。对于无法清洗干净的石英舟（包括石英凳），需要报废并更换新石英舟。石英舟（包括石英凳）清洗周期每周一清洗。8.2.5.

15、3石英器件报废标准（九）（一）（五）（十）（九）（八）（七）（六）（四）（三）（二）（十一）（十三）（十二）（一）腐蚀较大（二）腐蚀较大（三）发红报废（四）发红报废（五）损坏报废（六）损坏报废（八）严重发红报废（九）严重发红报废（七）损坏报废（十二）发红报废（十三）轻微发红（）直接报废（十）直接报废Hb作业悅明注惡出项石英修若有朋汗.於卜镇in簷SW：*尾气舍撮如、石拡管破毀導都需扳炭*若为绘式禺坏堰视轻电稈度报废.M,HE当关口膺位潘度最大处大丁1眯时则再请战废.亠.柑英特也时间他乩被污染后出现戏红”视富红程度申请报麼口m,（四）-1只要匀魔板、隔热丹扳机沿直接报废.2丹匀渝板、隔热板、fi

16、KK时间使用变虹时.脱据址虹样盧附请找废轻徽侵虹的可以雒续肌.严童发红的申墙捌恙M（丸）四保隘林偌有所掠乐査魏肌咖图H十）oE石奥凳仃所iSM时.鼻或按股2石英舟用长时阖使用變规tl*脱据燮色程度申请报废.経徴发列的可以用.产重发賀的串谛报.陵.如悄什二十二）.826扩散炉复机流程石英管清洗复机流程注：新石英管饱和时间为24小时。停机停电复机流程停机停电复机时，饱和时间根据停机时间长短来定，具体时间如下表:停机JfifeM饱和时间左停机时间Of小时&-12小吋12-2P?时24-48时18-72时72小时及以上饱和时闾0小时2小时3小时6小时10小时16小时匚莒人员綃拇升iS馆和I：艺（大用=

17、15000.rosoo.UI:=BOD?叽训蔓丈于H破.nrm诃：lu5?r*注扈卿二纽也険总许疋常亠并惺存:2湖偏片小t1flb黴机白険住何调借与设备L直常乍产停机不停电复机时，复机饱和时间如下表:停机不停电复机憧和时闻表停机时KI1天以内17天3-15天15刖上筑和时间。小时2小时4小财观匸艺瞬面定8.3超净车间质量监控及异常处理程序8.3.2扩散工艺完成后硅片的方块电阻异常规格定义SPECCLe胡V02E57Q=4创恥；汕3门58X单组RsW62Q253QW单片60冷屮片Rs.64050Q勒点Rs7on予2X单点RsW68QHR片的目标方阻为60Q,SPEC要求：60QW单组Rs66Q,

18、58Q单片Rs68Q,53单点Rs73Q。异常定义：OOS点或多于一点阻值超出SPEC范围。OOC单组、单片或单点超出CL范围，但单点在SPEC范围内。评审报告流程出现方块电阻OOS寸，质检人员应及时通知班组长或当班工艺工程师进行处理和调节，将电阻异常超出下限3Q/或超出上限1Q/的超标时附实验单下传，追踪效率，将超出该范围的超标片转为处理片，集中处理。出现方块电阻OOC寸，质检人员应及时通知当班组长和工艺工程师，及时进行调整，无需转处理片。方阻异常片处理流程（非偏轻片）：方阻异常片处理流程（偏轻片）：高出上限11Q/补扩散规则当清洗干净后，每50片抽测3片测试电阻，单晶V02工艺：当方阻在5

19、8-70Q之间时，第四步为10分钟，第五步为10分钟，在71-80欧姆之间第四步为20分钟，第五步同上，在81-100欧姆之间时，第四步为30分钟，第五步同上。当电阻大于100欧姆时，重新扩散，扩散完后，进行电阻测试，电阻异常时通知工艺工程师8.3.3扩散后的硅片上出现残余磷源或烧焦8.331异常表现，见下图（图2）8.332异常定义首先判断烧焦片的严重程度，如果烧焦程度严重，无论是正面还是背面一律不得下传面积较小的烧焦片，观察烧焦部位的颜色，如果颜色为浅黑色，则可以下传，颜色为深黑色则不得下传。当烧焦片颜色较深的部分距硅片边缘不到1mm寸，则可以直接下传，若大于1mm寸则不得直接下传。轻微烧

20、焦片：当烧焦片颜色较深的部分距边缘大于1mmJ、于3mm或烧焦片麻点数量不超过10个的烧焦片可暂存车间，集中整组附实验单下传。评审报告流程如果出现烧焦10片以下/组寸，操作人员应详细记录异常记录单，如果出现烧焦10片以上/组或滴源片寸，操作人员应详细记录异常记录单，并及寸通知当班工艺工程师。出现烧焦片，由卸舟员工分为严重烧焦和轻微烧焦片，暂存车间；严重烧焦片需转处理片，集中处理；轻微烧焦片可暂存车间，集中附实验单下传。滴源和烧焦片处理流程烧焦或滴源片（轻微烧焦片严重烧焦或滴源片集中返制绒进行小绒面制绒集中整组附实验单下传.追踪效率制絨后返超净按正常工艺进行清洗、扩散8.335滴源或烧焦片制绒后返回超净车间，若扩