多晶铸锭炉技术参数123

1、附件1： JZ-460/660多晶铸锭炉技术参数一、JZ-460/660型多晶铸锭炉介绍JZ-460/660型多品铸锭炉能生产520KG/660KG-800KG优质的多晶硅锭，本设备的生 产量很大，能在60个小时的时间内生产出合格的硅锭。设备操作简单，直观的界面， 给操作人员节省很多时间来处理设备的运行情况，从而极大的提高了生产效率，节约了 成本。JZ-460/660型多品铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英坩蜗，运行过程中，通 过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而由下往上定向长品，在整个长品过程中 只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能。整个工艺过程分为

2、装料，抽真空，检漏，加热，熔化，长品，退火，冷却。装料是 在喷有氮化硅涂层的石英坩蜗内，在保证不破坏涂层的条件下，进行装料。装完料后开 始抽真空，当压力降到0.008mbar时即可检漏，如果设备检漏通过，此时我们即可开始 自动运行设备，按照配方工艺步骤运行。在晶体生长过程中，一般自坩蜗底部开始降温， 当硅熔体温度低于熔点时，在接近坩蜗底部处首先凝固，形成许多细小的核心，然后横 向生长，当核心相互接触时，再逐渐向上生长，长大，形成柱状品，柱状方向与晶体方 向平行，直至所有的硅熔体都结品为止，这样制备出来的多晶硅的晶粒大小，品界结构， 缺陷类型都很相似。对于重量为520kg的铸造多晶硅而言，硅锭尺

3、寸一般为 840*840*316mm。目前JZ-460/660炉型已被著名硅片制造厂家批量采用，稳定生产出高 质量的硅锭。二、JZ-460/660型多晶铸锭炉使用需要的环境条件（户内）a）环境温度：20 5 Cb）环境湿度： W 65% （不结露）c）地质震动要求：外界震源：当大于10HZ时，振幅小于00.003mm三、我公司JZ-460/660多晶铸锭炉技术性能参数表序号项目参数备注1电源电压380VAC2电源频率50HZ3电源相数3相4电源功率200KW真空机组电源 功率 11.5KW, 电控系统电源 10KW5坩蜗尺寸520550Kg870X870X480mm推荐660800Kg1040

4、X1040X480mm推荐6铸锭尺寸520Kg840X840X316mm660Kg1000X1000X283mm7炉内真空度抽空极限真空度1Pa以下长品等阶段工作压力600mbar允许泄漏量2Pa/5min测量范围0.0133 1.33X105 Pa8炉内温度与测量最高极限温度1575 C测量最高温度1800 CR型热电偶重复精度：0.5C红外测温仪重复精度：1C9内/外部尺 寸炉体内直径0 2100mm炉体内高度2625mm下腔室升降行程950mm隔热钢笼升降行程380mm主机（长X宽X高）3230X3200X4850mm平台（含单边梯子）（长X宽X高）5160X4730X4160mm10重

5、量主机5500kg平台3350kg11冷却水入口压力最大 0.45MPa入、出口压力差0.25MPa入口水温28C （最好 241C）流量160180L/min12备用水（紧急情况）流量160L/min停水时能立即换全备用水维持时间N10h13所需氦气压力0.3MPa以上可选项用量67m3/硅锭14所需氩气压力0.3MPa以上用量7075m3/硅锭流量控制范围0200L/min15压缩空气压力0.5 0.7MPa用量0.5 m3/炉流量100L/min16所需真空机组电源电压380V功率11.5KW频率50Hz相数3相17所需电控系 统电源电压380V功率10KW频率50Hz相数3相18所需加

6、热系统电源电压380V功率200KW频率50Hz相数3相19泄露率1Pa/h20标准熔料量520550kg（460 热场）21生产周期约60小时（适用于520kg硅碇）22管路接口泄压安全阀接管口径0150 mm氩气接管口径NW-16法兰氦气接管口径NW-16法兰压缩空气08软管接头冷却水入、出口口径Rc223真空机组抽气速率300L/S主管路进气口径0150 mm辅管路进气口径0 16 mm出气口径0 76 mm24叉车（选配）提升高度最大2000 mm载重量最大1000Kg前脚高度最大110 mm两只前脚宽度最大1300 mm25UPS （选配）3000VA,16 只，12V, 24AH四

7、、供货清单序号货物名称规格型号单位数量备注1主机JZ-460/660台京运通2电控柜台京运通3变压器电源柜台英杰电器4真空机组台力鑫5热场套西格里石墨美国UC保温毡五、变压器技术规范输入额定电压：变压器每相带3个抽头3AC380V, 3AC400V, 3AC420V额定频率：50/60HZ电压波动范围：342V418V输出额定容量：200KW额定电压：3AC25V其他加热控制方式：定周期调功方式调压方式：变压器一次侧调压变压器结构：/控制信号：420mA功率因数：0.9六、设备布置图及土建资料七、多晶铸锭炉安装条件：（一）、供土建设计所有资料厂方要求安装起吊高度：N6500mm。厂房清洁度要求

8、：密闭净化厂房（参考30-100万级根据当地风沙气候定），杜 绝可腐蚀性气体。安装地基：应放置在专用混凝土基础上，混凝土厚度N 250mm，承重能力N 10 吨/廿。室内环境条件须恒温、恒湿，室温：205，相对湿度：65%厂房应尽量远离或避开振动源、外界振源：当大于 10Hz时振幅值小于0-0.003mm。（二）、冷却用水的要求：用水量及压力流量1、冷却水入口压力最大：0.45MPa入、出口压力差：0.25MPa入口水温：28C（最好24+-1D流量：160-180L/min2、备用水（紧急情况）：流量160L/min，维持时间N10h，备注：停水时立即换至备用水。（三）、铸锭炉用各种气体、压力及用量1、氩气压力及用量压力：0.3MPa以上流量：能提供0-200L/min的流量消耗量：70-75m3左右/炉2、压缩空气压力：0.5MPa-0.7MPa流量：100L/min3、氦气（可选项）压力：0.3MPa以上用量：6-7m3 /硅锭 （四）、铸锭炉各单元用电明细1、真空机组电源电压：380V频率：50Hz功率：11.5kw相数：3相2、电控系统电源电压：380V频率：50Hz功率：10kw相数：3相3、加热系统电源电压：380V频率：50Hz功率：200kw相数：3相（五）、铸锭炉水气管路接口口径1、配气管