雷妮绍激光干涉仪的使用

1、设备部：杜康第一步：激光干涉仪的安装1)三脚架的固定；2)激光头的安装与固定；3)补偿器XC（包括环境空气温度传感器和工作台表面温度传感器）的安装与固定；4)激光头和补偿器通过数据线与计算机的连接；5)激光头电源线的连接； （现场演示）6)按下激光头电源按钮，预热56分钟，直到指示灯变为红色表示预热完成；7)找到“开始Renishaw LaserXL线性测长”，单击打开雷尼绍测量软件。机床预热：机床各轴在匀速状态下运转10分钟左右。第二步：激光光路对正（见附图）1)掌握干涉镜和反射镜的安装方法（根据测量轴的不同，安装方法有所不同，注意观察箭头所指方向，激光从箭头尾部射入）；2)将机床各轴原点复

2、归；3)微调方式下，调整干涉镜和反射镜的位置，使两者靠近，目测能够尽量上下左右对齐；4)移动三脚架使激光头的光源穿过干涉镜，此时能够看到2个光点；5)微调方式下，调整机床侧使2个光点重合；6)转动激光头，观察激光头上方的LED灯点亮情况（5个全亮最好）7)微调方式下，将测量轴远离干涉镜，直到LED灯只剩一个时停止移动，此时调整激光头的各个微调旋钮等，直到将光路再次调整到5个LED灯全亮；8)微调方式下，将测量轴再次远离干涉镜，重复第7）步，直到测量终点处，此时，反向摇回来，观察LED灯，保证到起点处均保持5个LED灯全亮，若不能满足，则继续调整至全亮。第三步：机床程序编制及参数设定1)编制测量

3、运行程序（根据测量轴和测量行程修改相应程序）；2)坐标系中，G54中将对应轴清0；3)模式打到“程序运行”，倍率打至0%；第四步：软件设置1) 采集来自环境空气温度值、物体表面温度值；2) 物体膨胀效应补偿：不带光栅尺的为11.7/带光栅尺的为8.0；3)点击软件最左边第一个工具，进入设置对话框；4)采集数据设定第一项： 设置第一定位点， 最终定位点 ， 间距值，完成后进入 下一项；5)采集数据设定第二项：定位方式选择“线性定位方式”，测量次数一般设为2，选择方向为“双向”，其他不变，点击进入下一项6)采集数据设定第三项，填写“机器名称”、“轴”等信息；7)采集数据设定第四项：越程量大小改为：

4、0.0000mm 其他保持不变， 点击完成设定。 第五步：执行测量程序1)打开倍率旋钮开关，将程序中第一步的1mm余量走完后，再次关闭倍率旋钮；2)软件清0（注意正负号），打开倍率旋钮，即可自动执行程序采集测量数据，绘制测量曲线；3)等待程序执行完毕后，按“回车”键结束，机床侧按“RESET”键结束程序执行。第六步：分析测量数据1) 点击“分析数据”，进入数据分析窗口；2) 点击“分析数据”选择一个标准，点击进行曲线分析机床的各项指标；3) 若检测下来机床的精度需要提高，则可按照当前检测结果进行补偿，点击“误差补偿图表”；4) 弹出误差补偿表格窗口：图表类型选择“均值补偿”、补偿分辨率设为1、

5、正负符号转换选择“补偿值”、参考点位置为0.0000mm、补偿起点和补偿终点依情况而定、补偿间隔为20.0000mm,点击“绘制误差补偿图表”。5) 按照均值补偿值对机床进行补偿，若发现补偿值中有数据大于8，则需修改第4）步的补偿分辨率进行调整，同时，机床参数3623也要做相同修改，重新生成补偿值再补入机床。补偿时，注意-20mm对应位置，按照均值补偿表从下往上依次补入，补完即可。（参考参数3620）重新测量之后，观察测量曲线变化情况，与未补偿前的测量数据进行对比分析，观察补偿后的机床精度是否有所改善。第七步：输入补偿值之后，再次测量注意及时保存需要的测量数据！附录：激光干涉仪加工中心测量程序（X轴）O0400 G0 G90 X1. ； （主程序）G4 X1. ；X0；G4 X4. ；M98 P0401 L14 ；X-1. ；G4 X1. ；X1. ；G4 X4 ；M98 P0402 L1