[整理]AE(AdvancedEnergy)直流电源

1、AEAdvancedEnergy直流电源Pinnacle系列产品业界公认的Pinnacle直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和限制功能,从而大大减少了工艺变化,提升了产量.这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围.优势：最低的运行和安装本钱业界最快的弧反响时间可配置的弧反响参数最大的工艺效率精确的工艺限制特点：最低的存储能量每千瓦输出不到1mJ无需调节输出变压器 4:1的阻抗范围靶材处理时间一一最大限度地缩短新靶材的处理时间 0.1%的输出重复性 Joule模式一一最优化的能量传送.规格：输入电压：200/208、400或480VAC10%、34

2、线、50/60kHz功率因素：负荷90%输出电压：低Z、标准Z或高Z输出极性：浮动默认值,具有正和负功能输出波纹电压：与输入线频有关,输出波纹电压分量v5%RMS输出功率重复精度：0.1%,从设计功率到10%到100%.负荷调整：土1%,输出阻抗范围的V-1限值内4：1的负荷变化温度系数：20c至40c的环境温度范围内调整输出参数变化v0.005%/C模拟接口选项：37针绝缘,0至10VDC模拟.0/24VDC数字37针,0至10VDC模拟,0/15VDC数字37针,0至5VDC模拟,0/15VDC数字串行通信选项：RS-232,RS-422,RS-485可选波特率高达57.6KAEBus协议

3、ASCn协议MDX和仿真Profibus可选波特1.5或12MBAEBus协议具有DeviceNet?选项输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环输入功率接头：五个终端,DIN压缩接头尺寸：133X483X639mm高X宽X长重量：29.5kgPinnacle?6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KWPinnaclePlus+系歹UAdvancedEnergyAE的PinnaclePlus+电源为单体直流脉冲电源,为您的反响工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约本钱以及具有绝佳的灵活性.结合标准直流电技术

4、和经过工艺证实的脉冲直流电技术,PinnaclePlus+电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异.优势：更高的沉积率与产品率薄膜均匀性和品质一流成弧造成的基材损坏减少本钱更低系统整合容易极佳的工艺灵活性和宽容度重复性能在过度曲线上运行稳定吞吐量更高便于监控无与伦比的系统灵活性特点：一个紧凑型封装频率调节范围为5-350kHz占空比高达45%电压范围宽一一单输出宽阻抗范围大功率运行基材温度低单输出5kW和10kW型号用于双阴极生产的双输出双路5kW型号绝佳的弧限制反响性溅射闭环限制规格：输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出电压范围：325

5、-650VDC,可选325-800VDC输出宽Z输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：#6AWG输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头最大电流：15.4ADC;15.4ADC/输出；30.8ADC频率：5到350KHz,可变反向电压：工作电压的10%点火功能：最大1500VDC,正常1350VDC调节模式：功率、电压或电流交流线电压：200/208、400或480VAC电流：5KW:200/208VAC:标称值17A/400VAC:标称值8.5A/480VAC:标称值7.5A/5KW双输出/10KW单输出200/208VAC:标称值35A/40

6、0VAC:标称值17A/480VAC:标称值15A/ 尺寸：133X483X639mm高X宽X长 重量：5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kgPinnaclePlus+5KW、5/5KW、10KWPinnacle3000系列AdvancedEnergy的Pinnacle3000直流电源提供最高的效率和功率因素,从而带来业界最低的运行和安装本钱.Pinnacle工艺一致性和限制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提升.优势： 经过证实的Pinnacle性能和可靠性 最大的工艺效率一一最低的运行和安装本钱通用性一一在溅射工艺和偏压应用上均表现出色 快速、可

7、配置的弧反响一一弧损伤少 精确的工艺限制 多种显示/限制选择 符合平安/辐射标准特点： 业界最高的效率和功率因素 紧凑在一个2-U、1/2支架封装中,功率达3000W 单输出抽头,疲惫范围广泛Profibus和RS-232串行通信 靶材处理时间一一最大限度地缩短新靶材的处理时间,仅400VAC输入 存储能量低一一每千瓦输出不到6mJ 在大于15%的功率下,输出重复性为0.1% Joule模式一一最优化的能量传送对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制储存设定自动保存有CE标志规格：输入电压：400VAC10%,3,4线,50/60HZ 输入电流：5Al 过流保护：10ADC 输出功率：3KW

8、 输出电压：370-1000VDC满功率输出 尺寸：87X216X517mm高X宽X长 重量：9.1kgPinnacle3000WPinnacleDiamond系歹U在工艺和偏压应用中,PinnacleDiamond直流电源都能提供最高的效率和功率因素,从而带来业界最低的运行和安装本钱.Pinnacle绝佳的工艺一致性和限制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大大减少了变化、提升了产量.优势：经过证实的Pinnacle性能和可靠性 最大的工艺效率一一最低的运行和安装本钱 通用性一一在工艺和偏压应用上均表现出色 快速、可配置的弧反响一一弧损伤少 众多显示/限制选项 精确的工艺限制 符合平安/辐

9、射标准特点： 业界最高的效率和功率因素 紧凑一一在一个3-U、1/2支架封装中,功率高达15kW 单输出抽头,匹配范围广泛Profibus和RS-232串行通信靶材处理时间一一最大限度地缩短新靶材的处理时间水冷式,仅400VAC输入存储能量低一一每千瓦输出不到6mJ在大于15%的功率下,输出重复性为土0.1%Joule模式一一最优化的能量传送对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制储存设定自动保存有CE标志规格：输入电压：400VAC10%,3,4线,50/60HZ输入电流：5Al过流保护：30ADC输出功率：8KW、10KW和15KW输出电压：400-800VDC满功率输出500-1000

10、VDC可选尺寸：8KW/10KW:499.7X132.3X215.9mm长X宽X高15KW:575.9X132.3X215.9mm长X宽X高重量：8KW/10KW:38KG15KW:20KGPinnacleDiamond8KW、10KW、15KWMDX系列500WMDX系列500W在真空环境中经久耐用,能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧.在根本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流.其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境.优势：超载内置保护可靠性和耐用性快速反响时间兼容性认证特点：多级弧抑制及灭弧用户I/O接入功率、电流或电压调节功能规格：输入电

11、压：90-132VAC50-60HZ,1180-265VAC50-60HZ,1输入电流：10A120VAC500W6.3A230VAC500W输出电压/电流：0-600V0-1A,500W0-1200V0-0.5A,2000W输出功率：0-500W尺寸：单86.63X215.9X406.4mm高X宽X长双86.63X482.6X406.4mm高X宽X长重量：单5.57KG双11.14KGMDX500W1kW和1.5kWMDX系列1kW和1.5kW电源在真空环境中经久耐用,其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案.它们最常用作直流磁控溅射电源；在该领域,二者精密的调节性能、-流的灭弧功能和较

12、低的存储输出能量使之成为业界领先产品.它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源.优势：针对标准Z和低Z应用的两种配置高频开关电路从线路到负载的效率超过90%Arc-Out?抑制电路常用作直流磁控溅射电源特点：尺寸小输出纹波很低可调节抑弧时间规格：输出功率：MDX1KW:1000W,MDX1.5KW:1500W输出电压：1000V,1300V;500V,750V点火电压：1500V;900V,1200V输入电压/电流：MDX1KW:115VAC,50/60HZ10%,16Amax;208/220VAC50/60HZ10%,8.9AMDX1.5KW:208/220VAC50/60HZ1

13、0%,13.4A尺寸：175.3X266.7X400mm重量：8.6KGMDX1KW、1.5KWEWave双极脉冲直流电系列AdvancedEnergy的EWave双极脉冲直流电源改善了外表均匀性,减少了DDPF工艺流程dual-damasceneprocessflow,DDPF应用的镀铜阶段之附加消耗,包括在生产环境和铜工艺开发中的晶圆电镀.EWave电源提供多达三个通道,每个都有一个独立驱动的双极电源,能够生成、存储和运行多达15个由电流限制或由电压限制的波形.优势：绝佳的填隙一流的外表均匀性降低了附加消耗强有力的监控减少了无尘室空间要求广泛的配置选择特点：通用波形形成 多达三个独立限制的

14、通道 双极脉冲直流电输出,0-5kHz 高电流水平四终端限制和晶圆的电压测量主机接口紧凑型封装规格：输入电压：180-230VAC3频率：47-63HZ输出功率：2400W最大,2000W尺寸：127X432X660mm高X宽X长重量：30KGEWave?2400WAEAdvancedEnergy低频/中频电源PDX中频电源系列PDX系列小功率1250和1400W及大功率5000和8000W中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源.这些高度可靠的电源提升了工艺灵活性,提供广泛的运行频率范围以优化工艺限制,保证较高的工艺重复性,并提升了吞吐量.PDX1250规格：输出功率：

15、18-1250W频率：325-450KHZ反向功率：250Wmax输入电压：180-253VAC,50/60HZ,1 输入电流：15ARMSmax 最大输出电压：300V 最大输出电流：6A 冷却方式：强制风冷 尺寸：89X483X483mm高X宽X长 重量：V14KGPDX1400规格：输出功率：25-1400W 频率：235-305KHZ 反向功率：280Wmax输入电压：180-230VAC,50/60HZ,3 输入电流：15ARMSmax 最大输出电压：300V 最大输出电流：6A 冷却方式：强制风冷 尺寸：89X483X483mm高X宽X长重量：V14KGPDX5000规格：输出功率

16、：100-5000W频率：330-460kHz反向功率：1500W输入电压：180-230VAC,50/60HZ,3输入电流：18A最大输出电压：735V最大输出电流：14.9A运行环境：5-30C冷却方式：水冷2gpm0-30C尺寸：178X483X508高X宽X长重量：41KGPDX8000规格：输出功率：100-8000W频率：340-440kHz反向功率：1500W输入电压：180-230VAC,50/60HZ,3输入电流：29A 最大输出电压：735V 最大输出电流：14.9A 运行环境：5-30C 冷却方式：水冷2gpm0-30C 尺寸：178X483X508高X宽X长 重量：41

17、KGPEII低频系列PEII低频系列电源提供40kHz脉冲输出,具有增强的弧限制以及与高达60kW的输出功率,该系列电源具有极宽的匹配阻抗,无输出变压器等外部组合硬件,特别适用于反响溅射.优点 恒功率、电压或电流输出 最高的灵活性与模块性 强大的电弧限制 自动制程保护装置 极宽的祖抗匹配范围 高功率密度PEII5000 输入电压：180-230VAC,3接地 输出频率：40kHz0.01% 输出功率：5000W 输出电压：547VRMSnominalintap4;953VRMSmaxintap7 输出电流：9ARMSnominalintap4;16ARMSmaxintap1 冷却方式：水冷,5

18、-30C,2gpm 尺寸：177X482.6X495.3mm高X宽X长 重量：40.8KGPEII10K 输入电压：180-230VAC,3接地 输出频率：40kHz0.01% 输出功率：5000W 输出电压：547VRMSnominalintap4;953VRMSmaxintap7 输出电流：18ARMSnominalintap4;32ARMSmaxintap1 冷却方式：水冷,5-30C,2gpm 尺寸：177X482.6X495.3mm高X宽X长 重量：40.8KGLFGS射频发生器系列LFGS发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器.此类可变频率发生器采用了一种半桥、D

19、类型放大器理念,拥有一种空冷式紧凑型的设计,可安装在19英寸机架上面.典型的应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及外表处理.优点：可到达目前市场上可获得的最低反射功率功能：空冷式设计多功能前面板脉冲模式：0到10kHz更完善的操作功能表2个模拟用户端口RS-232接口、以太网接口及PROFIBUS接口LFGS1250A频率：40-80kHz0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5A/,2300VA冷却方式：强制风冷130m/h3尺寸：483X500X88宽X长X高重量：19.5KGLFGS1250B频率：80-150kHz

20、土0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5A/,2300VA冷却方式：强制风冷130m/h3尺寸：483X500X88宽X长X高重量：19.5KGLFGS1250C频率：150-300kHz土0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5A/,2300VA冷却方式：强制风冷130m/h3尺寸：483X500X88宽X长X高重量：19.5KGLFGS1250D频率：300-500kHz土0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流

21、：7.5A/,2300VA 冷却方式：强制风冷130m/h3 尺寸：483X500X88宽X长X高 重量：19.5KGLFGS1250A、1250B、1250C、1250DCrystal高功率电源系列AdvancedEnergyAE的Crystal电源非常适用于大面积玻璃镀膜应用,如建筑玻璃、汽车玻璃、减反射镀膜和高反射镜等.更低的故障率,回报您更高的产量.这些电源的可用功率为180kW,120KW,60KW.为双靶磁控溅射应用提供了更宽祖抗匹配的低频率正弦工艺电源.AE的Crystal电源是唯一特别为等离子环境而设计拓扑结构的交流电大功率电源.优势： 更灵活 产量更高 减少当机时间 吞吐量提

22、升特点： 宽阻抗匹配低频率正弦工艺电源 大功率电源一一最大180kW功率专为等离子环境而设计Crystal180KW规格：输入电压：400-480Vrms10%,50/60HZ输入电流：325Arms180KW,400Vrms270Arms180KW,480Vrms输出功率：180KW输出频率：40kHz-60kHz,80kHzmin. 最大输出电流：600Arms 最大输出电压：1460Vrms 运行环境：5-45C 冷却方式：水冷,15-40C,14gpm 尺寸：213X152X76cm长X宽X高重量：1220KGCrystal60KW、120KW、180KWAEAdvancedEnerg

23、yRF电源Paramount射频功率输送系统这款半机架的3kW的Paramount射频RF功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能,能够在13.56MHz固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下电压驻波比VSWR超过3:1,为您带来出色的输送功率精度和限制性能.能够与最忽然变化的等离子阻抗保持实时同步,Paramount射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间.其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美,而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现到达毫秒数量级,其速度较市场上的任何其它产品都快.从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的限制.优点：凭借卓越

24、的功率输送精度,实现前所未有的薄膜均匀度与传送效能throughput的最优化以更快的制程转换来支持新一代蚀刻与沉积制程帮助实现无缝的制程转换提升产量实现投资回报最大化2gpm尺寸：13.3X21.6X44.5cm重量：v16KGParamount3000WApex射频供电系统通用Apex系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术,在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性.Apex平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为根底的薄膜工艺中表现优异.优势：更高的功率密度更好的工艺灵活性产量提升持有本钱降低简化工艺工具整合灵活的通信特点：简化的设计真空室安装、框架安装

25、、支架安装和鞋盒式shoebox选择宽带限制回路和可选的高重复率脉冲业界领先的弧治理符合监管要求Apex?1513规格：频率：13.56MHz输出功率：1500W输入电压：208V,50/60HZ,3输入电流：17A冷却方式：水冷,35C尺寸：132.59X215.14X425.96mmApex3013规格：频率：13.56MHz输出功率：3000W输入电压：208V,50/60HZ,3输入电流：17A冷却方式：水冷,35C尺寸：132.59X215.14X425.96mmApex5513规格：频率：13.56MHz输出功率：5500W输入电压：208V,50/60HZ,3输入电流：17A冷却

26、方式：水冷,35C尺寸：132.59X215.14X425.96mmApex1513、3013、5513、7KW/13、10KW/13HFV变频2MHz电源灵活的HFV电源主要用作200和300mm晶圆制程、平板显示器和DVD设备的等离子发生器,为离子化物理气相沉积IPVD、CVD和蚀刻提供了工艺一致性.这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器限制,输出功率电平为3、5和8kWo此外,其输出频率范围为1.765-2.165MHz.固件上的频率调谐参数可进行定制,以保证在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行.优势：提升了run-to-run准确性具有通用性提升了可靠性增强了工艺灵活性降低

27、了持有本钱特点：可定制的频率调谐参数输出频率范围为1.765-2.165MHz3、5和8kW的输出功率电平数字合成频率输出微处理器限制CESAR射频发生器我们针对高级等离子应用设计了一整系列的CESAR?射频发生器.针对不同频率和功率水平的该种发生器均已推出.CESAR发生器一定可以满足您最苛刻的要求.标准功能包括：多功能前面板、大的液晶显示屏、用户友好型软件、模拟和串行用户接口以及针对VarioMatch?网络的手动限制.CESAR发生器获得了CE认证,而且还在紧凑、轻量型的设计中运用了经过实践检验的E级架构.模块化设计带来了本钱上的优势,使这些巩固耐用发生器的价格非常具有吸引力.优点：利用面向最主要应用的内置脉冲能提升限制水平能提升处理灵活性利用灵活的通讯功能能进行限制和监控功能：多功能前面板脉冲模式：0到30kHz更完善的操作功能表2个模拟用户端口RS-232接口、以太网接口及PROFIBUS接口HILIGHT射频发生器13.56MHz,600W针对低功率、载行应用,HiLight系列射频发生器小巧