光栅尺工作原理

1、1 光栅尺工作原理  光栅位移传感器的工作原理，是由一对光栅副中的主光栅（即标尺光栅）和副光栅（即指示光栅）进行相对位移时，在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间（或明暗相间）的规则条纹图形，称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白（或明暗）相同的条纹转换成正弦波变化的电信号，再经过放大器放大，整形电路整形后，得到两路相差为90o的正弦波或方波，送入光栅数显表计数显示。二、工作原理常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。图4-9是其工作原理图。当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度来放置两光栅尺时，必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照射下，交叉点

2、近旁的小区域内由于黑色线纹重叠，因而遮光面积最小，挡光效应最弱，光的累积作用使得这个区域出现亮带。相反，距交叉点较远的区域，因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少，不透明区域面积逐渐变大，即遮光面积逐渐变大，使得挡光效应变强，只有较少的光线能通过这个区域透过光栅，使这个区域出现暗带。这些与光栅线纹几乎垂直，相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。莫尔条纹具有以下性质：(1) 当用平行光束照射光栅时，透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。(2) 若用w表示莫尔条纹的宽度，d表示光栅的栅距，表示两光栅尺线纹的夹角，则它们之间的几何关系为w=dsin当 角很小时，上式可近似写w=d 若取d=0.

3、01mm,=0.01rad，则由上式可得w=1mm。这说明，无需复杂的光学系统和电子系统，利用光的干涉现象，就能把光栅的栅距转换成放大100倍的莫尔条纹的宽度。这种放大作用是光栅的一个重要特点。(3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的，所以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应，能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。(4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅尺相对移动一个栅距d，莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度w，其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直，且当两光栅尺相对移动的方向改变时，莫尔条纹移动的方向也随之改变。根据上述莫尔条纹的特性，假如我们在莫尔条纹移

4、动的方向上开4个观察窗口a，b，c，d，且使这4个窗口两两相距14莫尔条纹宽度，即w4。由上述讨论可知，当两光栅尺相对移动时，莫尔条纹随之移动，从4个观察窗口a，b，c，d可以得到4个在相位上依次超前或滞后(取决于两光栅尺相对移动的方向)14周期(即2)的近似于余弦函数的光强度变化过程，用 表示，见图4-9(c)。若采用光敏元件来检测，光敏元件把透过观察窗口的光强度变化 转换成相应的电压信号，设为 。根据这4个电压信号，可以检测出光栅尺的相对移动。1 位移大小的检测由于莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动是相对应的，故通过检测 这4个电压信号的变化情况，便可相应地检测出两光栅尺之间的相对移动

5、。 每变化一个周期，即莫尔条纹每变化一个周期，表明两光栅尺相对移动了一个栅距的距离；若两光栅尺之间的相对移动不到一个栅距，因 是余弦函数，故根据 之值也可以计算出其相对移动的距离。2 位移方向的检测在图4-9(a)中，若标尺光栅固定不动，指示光栅沿正方向移动，这时，莫尔条纹相应地沿向下的方向移动，透过观察窗口a和b，光敏元件检测到的光强度变化过程 和及输出的相应的电压信号和如图4-10(a)所示，在这种情况下，滞后的相位为2；反之，若标尺光栅固定不动，指示光栅沿负方向移动，这时，莫尔条纹则相应地沿向上的方向移动，透过观察窗口a和b，光敏元件检测到的光强度变化过程和 及输出的相应的电压信号和如图

6、4-10(b)所示，在这种情况下，超前的相位为2。因此，根据和两信号相互间的超前和滞后关系，便可确定出两光栅尺之间的相对移动方向。二、工作原理常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。图4-9是其工作原理图。当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度来放置两光栅尺时，必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照射下，交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠，因而遮光面积最小，挡光效应最弱，光的累积作用使得这个区域出现亮带。相反，距交叉点较远的区域，因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少，不透明区域面积逐渐变大，即遮光面积逐渐变大，使得挡光效应变强，只有较少的光线

7、能通过这个区域透过光栅，使这个区域出现暗带。这些与光栅线纹几乎垂直，相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。莫尔条纹具有以下性质：(1) 当用平行光束照射光栅时，透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。(2) 若用w表示莫尔条纹的宽度，d表示光栅的栅距，表示两光栅尺线纹的夹角，则它们之间的几何关系为w=dsin当 角很小时，上式可近似写w=d 若取d=0.01mm,=0.01rad，则由上式可得w=1mm。这说明，无需复杂的光学系统和电子系统，利用光的干涉现象，就能把光栅的栅距转换成放大100倍的莫尔条纹的宽度。这种放大作用是光栅的一个重要特点。(3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的，所

8、以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应，能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。(4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅尺相对移动一个栅距d，莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度w，其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直，且当两光栅尺相对移动的方向改变时，莫尔条纹移动的方向也随之改变。根据上述莫尔条纹的特性，假如我们在莫尔条纹移动的方向上开4个观察窗口a，b，c，d，且使这4个窗口两两相距14莫尔条纹宽度，即w4。由上述讨论可知，当两光栅尺相对移动时，莫尔条纹随之移动，从4个观察窗口a，b，c，d可以得到4个在相位上依次超前或滞后(取决于两光栅尺相对移动的方向)14周期(即

9、2)的近似于余弦函数的光强度变化过程，用 表示，见图4-9(c)。若采用光敏元件来检测，光敏元件把透过观察窗口的光强度变化 转换成相应的电压信号，设为 。根据这4个电压信号，可以检测出光栅尺的相对移动。1 位移大小的检测由于莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动是相对应的，故通过检测 这4个电压信号的变化情况，便可相应地检测出两光栅尺之间的相对移动。 每变化一个周期，即莫尔条纹每变化一个周期，表明两光栅尺相对移动了一个栅距的距离；若两光栅尺之间的相对移动不到一个栅距，因 是余弦函数，故根据 之值也可以计算出其相对移动的距离。2 位移方向的检测在图4-9(a)中，若标尺光栅固定不动，指示光栅沿正

10、方向移动，这时，莫尔条纹相应地沿向下的方向移动，透过观察窗口a和b，光敏元件检测到的光强度变化过程 和及输出的相应的电压信号和如图4-10(a)所示，在这种情况下，滞后的相位为2；反之，若标尺光栅固定不动，指示光栅沿负方向移动，这时，莫尔条纹则相应地沿向上的方向移动，透过观察窗口a和b，光敏元件检测到的光强度变化过程和 及输出的相应的电压信号和如图4-10(b)所示，在这种情况下，超前的相位为2。因此，根据和两信号相互间的超前和滞后关系，便可确定出两光栅尺之间的相对移动方向。 工作原理：直线光栅尺和旋转编码器均依据相对运动的原理来产生光信号，这些信号经过光电器件的转换处理后，用来检测

11、机械装置的位移。fagor公司反馈产品采用两种不同的材料来产生反馈信号：1.刻线玻璃尺（直线光栅尺 有效测量长度3米以下使用）刻线玻璃盘片（旋转编码器）2.刻线钢带尺（直线光栅尺 有效测量长度3米以上使用）测量过程：fagor公司反馈产品提供的输出信号是由光源通过刻在直线尺或盘片的栅格线后，再经光电转换装置的处理产生的。读数装置由光源、刻线玻璃与栅格窗、以及光电二极管接收装置组成。fagor公司反馈产品采用红外发光二极管（ired）作为光源，这种光源具有安全、寿命长的特点。1.刻线玻璃反馈系统红外线光束被光电二极管接收前，先通过有刻线轨迹的板与栅格窗，有刻线轨迹的板与栅格窗，有刻线轨迹的板与栅

12、格窗间的相对运动回产生正弦波形式的光波，这种光波经光电二极管接收后，会转换成最初始的电流正弦波信号，这些电信号的周期与栅距是一样的。2.刻线钢带反馈系统工作原理是让光以反射方式通过网状栅格，读数系统由一个led组成作为刻线钢带的光源（衍射光）。网状成像装置和信号光检测元件采用fagor工作最新专利技术设计，该装置能使成像在相同平面，从而大大提高了信号的精度和可靠性。3.旋转和角度编码器fagor公司旋转和角度编码器，采用衍射光通过刻线玻璃光栅盘片，再经过光电转换产生电信号。栅距有每转多少线决定增量式直线光栅尺lif417相关参数热膨胀系数：精度等级：参考点：1个在测量长度的中点位置处增量信号：ttl栅距：8插补：5倍信号周期：0.8扫描频率：250khz边缘间距a：0.175最高运动速度：60m/s位置检测：零件和限位信号；ttl输出信号（无线路驱