传感器原理力平衡设计论文

1、传感器原理力平衡设计论文摘要：本文介绍了一种力平衡加速度传感器的原理设计方法。差容式力平衡加速度传感器在传统的机械传感器的基础上，采用差动电容结构，利用反馈原理把被测的加速度转换为电容器的电容量变化，将加速度的变化转变为电压值。使传感器的灵敏度、非线性、测量范围等性能得到很大的提高，使其在地震、建筑、交通、航空等各领域得到广泛应用。 关键词：加速度差容式力平衡传感器 加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的测试仪器。它是工业、国防等许多领域中进行冲击、振动测量常用的测试仪器。 1、加速度传感器原理概述 加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的测试仪器

2、。差容式力平衡加速度传感器则把被测的加速度转换为电容器的电容量变化。实现这种功能的方法有变间隙，变面积，变介电常量三种，差容式力平衡加速度传感器利用变间隙，且用差动式的结构，它优点是结构简单，动态响应好，能实现无接触式测量，灵敏度好，分辨率强，能测量0.01um甚至更微小的位移，但是由于本身的电容量一般很小，仅几pF至几百pF，其容抗可高达几M至几百M，所以对绝缘电阻的要求较高，并且寄生电容（引线电容及仪器中各元器件与极板间电容等）不可忽视。近年来由于广泛应用集成电路，使电子线路紧靠传感器的极板，使寄生电容，非线性等缺点不断得到克服。 差容式力平衡加速度传感器的机械部分紧靠电路板，把加速度的变

3、化转变为电容中间极的位移变化，后续电路通过对位移的检测，输出一个对应的电压值，由此即可以求得加速度值。为保证传感器的正常工作.，加在电容两个极板的偏置电压必须由过零比较器的输出方波电压来提供。 2、变间隙电容的基本工作原理 如式21所示是以空气为介质，两个平行金属板组成的平行板电容器，当不考虑边缘电场影响时，它的电容量可用下式表示： 由式（21）可知，平板电容器的电容量是、A、的函数，如果将上极板固定，下极板与被测运动物体相连，当被测运动物体作上、下位移（即变化）或左右位移（即A变化）时，将引起电容量的变化，通过测量电路将这种电容变化转换为电压、电流、频率等电信号输出根据输出信号的大小，即可测

4、定物体位移的大小，若把这种变化应用到电容式差容式力平衡传感器中，当有加速度信号时，就会引起电容变化C，然后转换成电压信号输出，根据此电压信号即可计算出加速度的大小。 由式（22）可知，极板间电容C与极板间距离是成反比的双曲线关系。由于这种传感器特性的非线性，所以工作时，一般动极片不能在整个间隙，范围内变化，而是限制在一个较小的范围内，以使与C的关系近似于线性。 它说明单位输入位移能引起输出电容相对变化的大小，所以要提高灵敏度S应减少起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制，而且增加装配加工的困难。 由式（25）可以看出，非线性将随相对位移增加面增加。因此，为了保证一定的线性，应限制极板的相对位移量

5、，若增大起始间隙，又影响传感器的灵敏度，因此在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性，大都采用差动式结构，在差动式电容传感器中，其中一个电容器C1的电容随位移增加时，另一个电容器C2的电容则减少，它们的特性方程分别为： 可见，电容式传感器做成差动式之后，非线性大大降低了，灵敏度提高一倍，与此同时，差动电容传感器还能减小静电引力测量带来的影响，并有效地改善由于温度等环境影响所造成的误差。 3、电容式差容式力平衡传感器器的工作原理与结构 3.1工作原理 如图1所示，差容式力平衡加速度传感器原理框图 电路中除了所必须的电容，电阻外，主要由正负电压调节器，四运放放大器LT1058，双运放op270放大

6、器组成。 3.2差容式力平衡传感器机械结构原理 由于差动式电容，在变间隙应用中的灵敏度和线性度得到很大改善，所以得到广泛应用。如图2所示为一种差容式力平衡电容差容式力平衡传感器原理简图。主要由上、下磁钢，电磁铁，磁感应线圈，弹簧片，作电容中间极的质量块，覆铜的上下极板等部分组成。传感器上、下磁钢通过螺钉及弹簧相连，作为传感器的固定部分，上，下极板分别固定在上、下磁钢上。极板之间有一个用弹簧片支撑的质量块，并在此质量块上、下两侧面沉积有金属（铜）电极，形成电容的活动极板。这样，上顶板与质量块的上侧面形成电容C1，下底板与质量块下侧面形成电容C2，弹簧片一端与磁钢相连，另一端与电容中间极相连，以控

7、制其在一个有效的范围内振动。由相应芯片输出的方波信号，经过零比较后输出方波，此方波经电容滤除其中的直流电压，形成对称的方波，该对称的方波加到电容的一个极板上，同时经一次反向后的对称波形加到另一个极板上。 当没有加速度信号时，中间极板处于上、下极板的中间位置C1C2，C0后续电路没有输出；当有加速度信号时，中间极板（质量块）将偏离中间位置，产生微小位移，传感器的固定部分也将有微小的位移，设加速度为正时，质量块与上顶板距离减小，与下底板距离增大，于是C1C2，因此会产生一个电容的变化量C，C由放大电路部分放大，同时，将放大电路的输出电流引入到反馈网络。由于OP270的脚1和16分别与线圈两端相连，

8、当有电流流过线圈时，将产生感应磁场，就会有电磁力产生。因为上、下磁钢之间有弹簧，所以在电磁力的作用下将使磁钢回到没有加速度时的位置，即此时的电容变化完全有加速度的变化引起，同时由于线圈与活动极板通过中心轴线相连，所以在电磁力的作用下，使中间极向产生加速度时的位移的相反的方向运动，即相当于在C的放大电路中引入了负反馈，这样，使传感器的测量范围大大提高。因此，对于任何加速度值，只要检测到合成电容变化量C，便能使活动极板在两固定极板之间对应一个合适的位置，此时后续电路便输出一个与加速度成正比的电压，由此电压值就可以计算出加速度的大小。 4、力平衡传感器实际应用 哈尔滨北奥振动技术是专门从事振动信号测

9、量的专业公司，它们应用这种差容式力平衡原理开发出的力平衡加速度传感器实现的主要性能指标如下： 测量范围：2.0g，0.125g，0.055g 灵敏度：BA-02a:2.5V/g、40.0V/g BA-02b1:40.0V/g（差动输出） BA-02b2:90.0V/g（特定要求，高灵敏度） 频响范围：DC-50Hz（1dB） 绝对精度：3FS 交叉干扰：小于0.3% 线性度：优于1% 噪声：小于10V 动态范围：大于120dB 温漂：小于0.01%g/g 电源：12V-15V30.0mA 体积：43x60mm 采用这种设计原理的传感器在振动信号测量领域已经得到广泛应用，该种传感器特别适合地震、

10、建筑、军事、交通、机械、航海等领域的振动测量。5 1、最灵梦想是一个天真的词，实现梦想是个残酷的词。21.2.182.18.202109:3309:33:192月-2109:332、只有收获，才能检验耕耘的好处；只有贡献，方可衡量人生的价值。二二一二二一年二月十八日2021年2月18日星期四3、不要放弃，你要配的上自己的野心，也不要辜负了所受的苦难。09:332.18.202109:332.18.202109:3309:33:192.18.202109:332.18.20214、找一个理由，否认忧伤，笑容就会灿烂到无所不在。2.18.20212.18.202109:3309:3309:33:1

11、909:33:195、成功与不成功之间有时距离很短只要后者再向前几步。二月 21星期四, 二月 18, 20212/18/20216、只要努力抬起你的双脚，胜利将属于你。9时33分9时33分18-2月-212.18.20217、青春如此华美，却在烟火在散场。21.2.1821.2.1821.2.18。2021年2月18日星期四二二一二二一年二月十八日8、真正没有资格谈明天的人，是那个不懂得珍惜今日的人。09:3309:33:192.18.2021星期四, 二月 18, 20211、你始终不属于我，属于我的只是我自己。21.2.182.18.202109:3309:33:192月-2109:33

12、2、一份信心，一份努力，一份成功；十分信心，十分努力，十分成功。二二一二二一年二月十八日2021年2月18日星期四3、你是唯一的，你是十分独特的，你就是你生命中的第一名。09:332.18.202109:332.18.202109:3309:33:192.18.202109:332.18.20214、要跟成功者有同样的结果，就必须采取同样的行动。2.18.20212.18.202109:3309:3309:33:1909:33:195、我们的生命，就是以不断出发的姿势得到重生。二月 21星期四, 二月 18, 20212/18/20216、只要站起来的次数比倒下去的次数多，那就是成功。9时33

13、分9时33分18-2月-212.18.20217、自知之明是最难得的知识。21.2.1821.2.1821.2.18。2021年2月18日星期四二二一二二一年二月十八日8、勇气通往天堂，怯懦通往地狱。09:3309:33:192.18.2021星期四, 二月 18, 20211、最灵繁的人也看不见自己的背脊。21.2.182.18.202109:3309:33:192月-2109:332、最困难的事情就是认识自己。二二一二二一年二月十八日2021年2月18日星期四3、有勇气承担命运这才是英雄好汉。09:332.18.202109:332.18.202109:3309:33:192.18.202109:332.18.20214、与肝胆人共事，无字句处读书。2.18.20212.18.202109:3309:3309:33:1909:33:195、阅读使人充实，会谈