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1 / 3 参加上海 SEMI 展会报告 展会名称: 2017 国际半导体设备、材料、制造和服务展览暨研讨会 参展时间:2017-03-14 至 2017-03-16 参展地点:上海浦东新区新国际博览中心 参展目的:了解半导体制造设备行业的基本情况,尤其是电子气体和化学品输送系统厂 商及上游材料厂商的基本情况 参展报告: 1 对半导体制造设备行业的基本了解 通过对参加这次展会厂商的总体范围的了解,对半导体制造产业链的总体情况有了基 本的认识,半导体制造涉及以下几个相关的细分行业。 1.1 晶圆加工设备 在半导体制造中专为晶圆加工的工序提供设备及相关服务的供应商,包括光刻设备、 测量与检测设备、沉积设备、刻蚀设备、化学机械抛光(CMP)、清洗设备、热处理设备、 离子注入设备等。 1.2 厂房设备 包括工厂自动化、工厂设施、电子气体和化学品输送系统、大宗气体输送系统等。 1.3 晶圆加工材料 在半导体制造中提供原材料和相关服务的供应商,包括多晶硅、硅晶片、光掩膜、 电子气体及化学、光阻材料和附属材料、CMP 料浆、低 K 材料等。 1.4 测试封装设备 在半导体测试和封装过程中提供设备及其他相关服务的供应商。主要涉及晶圆制程 的后道工序,就是将制成的薄片“成品”加工为独立完整的集成电路。包括切割工具及 材料、自动测试设备、探针卡、封装材料、引线键合、倒装片封装、烧焊测试、晶圆封 装材料等。 1.5 测试封装材料 在半导体测试和封装过程中提供材料和相关服务的供应商,包括悍线、层压基板、 引线框架、塑封料、贴片胶、上料板等。 1.6 子系统、零部件和间接耗材 2 / 3 为设备和系统制造提供子系统、零部件、间接材料及相关服务的厂商,包括质量流 量控制、分流系统、石英、石墨和炭化硅等。 参展感受:从展会上展位的分布情况来看,最直观的感受就是国外的设备厂商占据了展 会的大部分展位,并且高端的工艺设备全部由国外厂商展出,从此可以看出国内设备制 造厂商的技术水平和国外厂商还有不小的差距,真心希望国内的设备制造厂商早日强大 起来,改变这种局面。 2 对电子气体和化学品输送系统行业的基本了解 电子气体和化学品输送系统涉及上游的电子气体产品提供商,半导体行业用阀门管件 提供商,常规阀门管件提供商,气体供应设备提供商,气体输送系统设计、施工单位以 及下游的后处理设备厂商。 2.1 电子气体 电子气体在半导体器件的生产过程中起着非常重要的作用,几乎每一步、每一个生 产环节都离不开电子气体,并且电子气体的质量在很大程度上决定了半导体器件性能的 好坏。 电子气体的纯度是一个非常重要的指标,其纯度每提高一个数量级,都会极大地推动 半导体器件质的飞跃。同时,电子气体纯度也是区分气体厂商技术水平和生产能力的一 个重要考量指标。 目前主要的气体产品公司多为欧美公司在中国的分公司,主要有法国液化空气公司, 美国普莱克斯,德国林德公司,美国空气产品公司等。国内的品牌有苏州金宏气体,广 东华特气体等。 2.2 半导体阀门管件 半导体阀门管件是气体输送系统和设备中重要的原材料,阀门管件的性能和质量水 平也直接影响着气体输送系统的送气能力和运行稳定性,也会影响半导体产品的质量和 性能。严重的情况下,一个阀门出现质量问题可能造成严重的生产事故。 半导体阀门管件的重要性也体现在其成本上,目前阀门管件等原材料的成本占据了 气体输送系统和设备的大部分成本,但是,目前绝大部分供应要依赖进口品牌,并且是 供不应求(货期较长) ,这造成了目前系统和设备厂商的运营成本居高不下。 此领域知名的厂商有 APTECH,TESCOM,PARKER,SWAGELOK,KITZ,Valex 等,但都为进 3 / 3 口品牌,价格贵,交货期长(目前一般要 2 个月以上) 。国产品牌目前主要的问题是半导 体阀门管件产品种类少,并且产品并不成熟。通过和杰瑞,赛洛克等厂商的交流,了解 到目前这些国内厂家公司规模多在一百人左右,新产品的研发能力和研发投入都十分有 限,很难在短期内保质保量的供应市场上需求的半导体阀门管件。这也预示着电子气体 输送系统和设备厂商在很长一段时间内还是要依赖进口品牌提供相应的材料,这种现状 就要求系统和设备厂商有更好的成本和交货周期的管控能力,甚至在承接项目时做好提 高其成本预算和延长交货期的准备。 2.3 电子气体和化学品输送系统和设备 从展会上了解到的基本的情况是,在这个细分的行业的主要的厂商有以下几类: 1) 电子工程设计和施工单位,如 xx 设计院,中电 xx 公司,这类公司可以提供电子厂房 及厂务系统的多种设备,其技术能力和竞争力都很强。 2) 专门的气体和化学品输送系统和设备厂商,如上海至纯科技,上海正帆科技,这两家 公司是目前国内知名度较高,实力较强的公司。这类公司也是竞争力很强的公司。 3) 上游产品厂商,这类厂商包括气体产品厂商,阀门管件厂商,这类公司有一定的原材 料资源并且有原材料成本优势,而且能了解到行业需求,所以越来越多的公司开始介 入到这个行业。但是这类公司的主业并不是提供输送系统和设备,所以其专业设计和 施工能力都有限,不是主要的竞争对手,其竞争力不强。 2.4 后处理设备 这类设备主要是尾气处理设备,电子废气多为有毒有害气体,需要经过严格的处理工 序才能都排放。这类设备也是厂务设备种非常重要的设备。但是这次参展对这类设备的 关注不多,没有搜集到足够的有价值信息,还需要接下来通过其他渠道搜集相关的
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