半导体晶圆表面处理技术及其设备开发扩建项目报告表

建设项目环境影响报告表(污染影响类)建设单位(盖章):设备开发扩建项目无锡华瑛微电子技米有限公司2024年4月中华人民共和国生态环境部制一、建设项目基本情况 二、建设项目工程分析 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 四、主要环境影响和保护措施 五、环境保护措施监督检查清单 六、结论 建设项目污染物排放量汇总表 84 附件 建设项目名称半导体晶圆表面处理技术及其设备开发扩建项目项目代码建设单位联系人章洁建设地点无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼(120度22分19.204秒，31度29分37.663秒)国民经济行业类别研究和试验发展建设项目行业类别四十五、研究和试验发展98、专业实验室、研发(试验)建设性质□新建(迁建)口改建□技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目口不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目口重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)新吴区行政审批局项目审批(核准/备案)文号(选填)锡新行审投备〔2023〕1015号总投资(万环保投资(万元)环保投资占施工工期3个月是否开工建设口是：用地(用海)面积(m²)专项评价设置情况无规划情况规划文件名称：《无锡(太湖)国际科技园控审批机关：无锡市自然资源和规划局的城乡规划制定公示-批后公示。)规划环境情况审查机关：无锡市环境保护局审查机关：无锡高新区(新吴区)安全生产监督管理和环境保护局的审核意见》规划及规划环境影响评价符合性分析本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼，根据《无锡(太湖)国际科技园控制性详细规划科创区一孵化区、科创区—研发区管理单元动态更新》中的“无锡(太湖)国际科技园控制性详细规划科创区—研发区管理单元土地利用规划图”,本项目所在区域规划用途为“科研设计用地”。本项目行业类别为[M7320]工程和技术研究和试验发展，故本项规划范围：无锡(太湖)国际科技园东至京杭运湖和环湖大道、北至高浪路，规划总用地面积为23.14km²。产业定位：其产业定位为以IT设计、软件开发设计、创意产业等自主创新的高科技产业，以及服务于高科技产业的现代服务基础设施：太科园属于太湖新城污水处理厂服务范围，太科满足接管要求接管排入太湖新城污水处理厂集中处相符性分析：本项目位于无锡(太湖)国际科技园范围内，本项目行业类别为[M7320]工程和技术研究和试验发展，属于自主创新的高科技产业，符合无锡(太湖)国际科技园的产业定位。本项目所在地污水管网已铺设，本项目新增废水污染物接管太湖新城污水处理厂集中处理。本项目与无锡(太湖)国际科技园规划环评批复(锡环管[2009]67号)的相符性详见表1-1。要点是否持续改善园总体环境科技园规划建设必须坚持环境效益、经济效益和社会效益相统一的原则，高起点规划、高标准建设、高水平管理；按循环经济理念和清洁生产原则指导科技园的开发建设，建成一个轻的现代化生态科技园，建立园区ISO14000环境管理体系并通过认证。本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，属于轻污染、技术含量项目符合产品提升项目档次科技园应严格执行《外商投资产业指导目录(2017年修订)》、《江苏省[2007]63号)、《省政府关于印发推知》(苏政发[2007]92号)、《加强施建设的意见》(苏政办发[2007]115(2007年修订版)等法规文件，严格入区项目准入门槛，加强建设项目的环境管理将园区建成集科技研发、创新创意、商务金融、文化休闲、教育园区。科技园产业定位为发展IT设计、软件开发设计、创意产业等自主格按照报告书中产业定位引进项目，不得引进非产业定位方向和"江苏省太湖水污染防治条例”所禁止的化学以及其他排放重金属及含磷、氮等污染物的企业和项目；禁止生产工艺及设备落后、环境风险较大的项目入区。所有入区项目应严格执行环境影响评价和“三同时”制度，未通过环本项目的建设符合国家和地方的产业政策，项目主要为设备研发，符合科技园产业定位。本项目不属于“江苏省太湖水污染防治条例”所禁止的化学制浆、制革、酿造染料、印染、电属及含磷、氮等污染物的企业和项目，不属于生产工艺及设备落后项目，本项目经采取相应风险防范措风险可接受。本项目将严格执行建设项目同时”制度。符合规划园布局、推进区内产业结构调整科技园内现有分散居民制定集中安置计划，分期实施。提升改造科技园内原有产业对不符合产业定位的传统工业企业，按计划逐步进行搬迁。本项目主要从事设备研发工作，符合项目所在地"科研设计用地”的规划用途；亦符合园区产业定位。符合步完技园基础设施建设科技园须配备完善的环境基础设施，流”要求，加快建设区内截污管网和雨水排放系统。入园单位废水须预处(GB8978-1996)表4中的三级标准和(CJ3082-1999)中"有城市污水处理厂的城市下水道系统”标准后排入太湖新城污水处理厂集中处理。结合太湖新城污水处理厂尾水回用系统建设计划，规划实施园区中水管网，逐步减少污水排放量。园区由无锡协联热电有限公司提供热能，热力管网按园区规划加快实施建设，确保入园项目的热力供应。入园企业因生产工艺需要自行设置加热设备的，必须使用电、天然气等清洁能源。企业生产过理达标排放，并应采取有效措施严格合国家相关标准的要求。科技园不设产业固废综合利用和安全处置规划，建立统一的固废(特别是危险废物)收纳入无锡市危废处置系统。本项目排水实施"雨污分流、清污分流”,与经化粪池预处理后的生活污水一起接管厂处理，尾水排入京杭运河。本项目使用电清洁能源。本项目内部按照规范要求设置一般固废暂存区、危废仓库。符合落实本项目建设后将依照符合的防范和应急系，成立园区环境管理。科技园应根处理厂接纳区内废水量的能力，控制理。太湖新城污水处理厂应视服务范围内的，水量情况进行恰当规模的扩建，并提前报批环评文件，经环保部门批准同意后实施。系，本项目新增的废水量在太湖新城污水处理厂处理余量范围内、可满足本项目废水接管处理的需求。经对照可知，本项目的建设符合《关于无锡(太湖)国际科技园环境影响报告书的批复》(锡环管[2009]67本项目与《关于无锡(太湖)国际科技园规划环境影响跟踪评价报告书的要点是否对园区建设环境管理要求和意见园区位处太湖一级保护区位于新吴区的上风向，环境较为敏感，园区后续引进项目应严格限制废气污染物、废水污染物排放量大的项目，禁止引进排放含氮磷废水的项目，重视节水及中水回用。园区后一步优化园区用地布局及产业结喷淋处理后排放量极小，对外环境影响很小；研发废水主要为纯水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起接管至太湖新城污水处理厂处理，符合按计划推进不符合用地规划及产已建项目的环保“三同时”验收。本项目符合用地规划及“三同时”验收。符合对上争取，尽快启动益多环保热电提标改造工作，确保各项污染物均本项目不涉及/整治、废水事故池设置、风险防范符合经对照可知，本项目的建设符合《关于无锡(太湖)国际科技园规划环境影响跟踪评价报告书的审核意见》(锡环管新[2017]3号)要其他符合性分析内容《产业结构调整指导目录(2024年本)》本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文件中的鼓励类、限制类、淘汰类，为允许类，符合该文件的要求年版)本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文类，符合该文件的要求(2018年本)》(中华人民共和国工业和信息化部公告2018年第66号)本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文出的产业”和“引导不再承接的产业”《无锡市产业结构调整指导目录(试行)》(2008年1月)本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文件中的鼓励类、禁止类及淘汰类，为允许类，符合该文件的要求《无锡市制造业转型发展指导目录》(2012年本)本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文件中的鼓励类、限制类及淘汰类，为允许类，符合该文件的要求目录(2015年本)》(锡政办发[2015]182号)本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文件中的禁止投资的内资项目，符合该文件的要求《限制用地项目目录(2012目录(2012年本)》本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，项目类型不在《限制用地项目目录(2012年本)》、《禁止用地项目目录(2012年本)》中，符合目录要求本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，项目类型不(2013年本)》、《江苏省禁止符合目录要求内容1《无锡市水环境保护条例》(2021年5月27日江苏省第十三届人民代常务委员会第二十三次会议批准)第十四条实行化学需氧量、物排放总量控制制度。第十八条依照法律规定实行排污许可管理的企业事业单位污许可管理要求排放水污染物。第二十条直接或者间接向水体排放污染物的企业事业单位和其他生产经营者，应当按照规定在厂界内和厂界外分别设置便于检查、采样的规范化排污口，并设置符合要求的采样口、标识人不得利用雨水排放口等雨水设施排放污水。污水应当实行集中处理。按照规定需要对产生的污水进行预处理的，排污单位应当进行预处理，达到规定标准后方可排入污水管本项目实行水污染物排放总量控制制要求排放水污染物。本项目研发废水主要为纯水制备水质较清、不含氮处理后的生活污水一起接管至太湖新本项目将设置符合识牌。2《江苏省水污染防治条例》 年11月27日江苏省第十三届第二十三条禁止工业企业、宾馆、餐饮、洗涤等企业事业单位以及个人使用各类含磷洗涤用人民政府应当根据国土空间规划和本行政区域的资源环境承载能力与水环境质量改善目标等要求，合理规划工业布局，引导现本项目不涉及含磷项目位于无锡市新吴区震泽路18号无豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼。本人民代常务委员会第有工业企业入驻工业集聚区，减新建排放重点水污染物的工业项目原则上进入符合相关规划的开发区、工业园区等工业集聚逐步减少在工业集聚区以外并将有关工作情况纳入环境保护目标责任制范围。理设施排放工业废水的，应当按照国家和省有关规定进行预处理，符合国家、省有关标准和污水集中处理设施的接纳要求。污水集中处理设施尾水，可以采取实行工业废水与生活污水分质处理，对不符合城镇污水集中限期退出城镇污水管网。的工业企业应当逐步实行雨污分流、清污分流。化工、电镀等企业应当将初期雨水收集处理，不实施雨污分流、清污分流的工业企业应当按照有关规定标识雨水管、清下水管、污水管的走向，在雨水、污水排放口或者接第三十条禁止在长江干支工园区和化工项目，具体范围按项目研发废水主要为纯水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水后一起水处理厂处理。本项目属于M7320工排放，不属于化工行业，不涉及电镀工艺，厂区实行雨污分流，并将按照有关规定标识雨水管、污水管的走向，口或者接管口设置标识牌，因此，本项目符合《江苏省要求。3流域管理条例》(中华人民共和国国务院水污染物，不得超过经核定的水污染物排放总量，并应当按照规定设置便于检查、采样的规范化排污口，悬挂标志牌；不得私设暗管或者采取其他规避监管的方本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼，令第604号，2011年日起施要求的造纸、制革、酒精、淀粉、水污染物的生产项目，现有的生当依法关闭。合国家规定的清洁生产要求，现有的企业尚未达到清洁生产要求的，应当按照清洁生产规划要求进行技术改造，两省一市人民政第二十九条新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河口1万米上溯至5万米河道岸线内及其岸线两侧各1000米范(一)新建、扩建化工、医药生产项目；(二)新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口；第三十条太湖岸线内和岸线周边5000米范围内，淀山湖岸线内和岸线周边2000米范围内，太浦河、新孟河、望虞河岸线内和岸线两侧各1000米范围内，其他主要入太湖河道自河口上溯至1万米河道岸线内及其岸线两侧各1000米范围内，禁止下列行(一)设置剧毒物质、危险化学品的贮存、输送设施和废物回收场、垃圾场；(二)设置水上餐饮经营设(三)新建、扩建高尔夫球(四)新建、扩建畜禽养殖(五)新建、扩建向水体排根据《省政府办公厅关于公布江苏省太湖流域三级保护区范围的通知》(苏政办发[2012]221号)的规定，本项目属于太湖流域一级保护区内。本项目距离距离望虞河7km,太湖2.2km,距离淀山河>10km。本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于《太湖流域管理条例》中禁止行为，水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起接管至厂处理。项目固废或外卖，或委外处置，或由环卫部门定期清运。故本项目符合《太湖流域放污染物的建设项目；(六)本条例第二十九条规4省太湖水污染防治条例》(江苏省第十二届人民代常务委员会第三十四次会议于201824日通第四十三条太湖流域一、(一)新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除(二)销售、使用含磷洗涤(三)向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃(四)在水体清洗装贮过油类或者有毒有害污染物的车辆、船舶和容器等；(五)使用农药等有毒物毒杀水生生物；(六)向水体直接排放人畜粪便、倾倒垃圾；(七)围湖造地；(八)违法开山采石，或者进行破坏林木、植被、水生生物的活动；(九)法律、法规禁止的其定的禁止行为以外，太湖流域一(一)新建、扩建向水体排放污染物的建设项目；(二)在国家和省规定的养利用虾窝、地笼网、机械吸螺、底拖网进行捕捞作业；(三)新建、扩建畜禽养殖域一级保护区，本项目属于M7320工主要为纯水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起水处理厂处理。项目固废或外卖，或故符合《江苏省太(四)新建、扩建高尔夫球场、水上游乐等开发项目；(五)设置水上餐饮经营设(六)法律、法规禁止的其除城镇污水集中处理设施依法设置的排污口外，一级保护区内已经设置的排污口应当限期关(一)新建、扩建化工、医药生产项目；(二)新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口；(三)扩大水产养殖规模；(四)法律、法规禁止的其5省大气污染防治条例》(江苏省人民代表大会公告第22015年燃料；禁止新建、扩建燃用高污染燃料的设施；各类在用的高污染燃料燃用设施，应当在所在地人民政府规定的期限内停止使用，或者改用天然气、页岩气、止新建除热电联产以外的燃煤锅炉；其他地区禁止新建每小时十建列入名录的高污染工业项目。的，排污单位应当安装收集净化装置或者采取其他措施，达到国相关要求。禁止直接排放有毒有本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不使用煤炭，不属于高污染工业项目名录，处理后达标排放，符合《江苏省大气污染防治条例》中有毒有害大气污染物的物料，应当采取密闭措施或者其他防护措第三十九条产生挥发性有机物废气的生产经营活动，应当在密闭空间或者设备中进行，并设置废气收集和处理系统等污染防治设施，保持其正常使用；造船等无法在密闭空间进行的生产经营活动，应当采取有效措施，石油、化工以及其他生产和使用有机溶剂的企业，应当建立泄漏检测与修复制度，对管道、设备进行日常维护、维修，及时省生态环境行政主管部门应当向社会公布重点控制的挥发性6府关于印发无防治工作方案的通知》(锡)15号)选址要求，禁止在居民区、学校、医疗和养老机构等周边新建有色金属冶炼、焦化等行业企业；大力推进新型城镇化与城乡发展一体化、优化城乡空间布局，加快城区老工业区搬迁改造，结合产业结构调整、化解过剩产能等，有序搬迁或依法关闭对土壤造成严重污染的现有企业。结合区域功能定位和土壤污染防治需要，科学布局生活垃圾处理、污泥处理处置、危险废物处置、废旧资源再生利用等设施和场所，加快推进废弃物集中处置，支持具备条件的企业开展工业生产过程协同处理城市及产业废弃物。合理工程和技术研究和试验发展，不属于有色金属冶炼、焦于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国栋1楼，项目周围50米范围内无居民区、学校、医疗和养老机构。项目固废或外卖，或委外处置，或由环卫部7审批阶(一)生产工艺、装备、原料、环境四替代：用国际国内先进工艺、装备、低挥发水性溶剂本项目使用国内先段开展管控行动”的工作意见》(锡环办〕142等环境友好型原材料、先进高效的污染治理设施替代传统工艺、普通装备、高挥发性原料、落后的污染治理设施，从场址选取、厂区布局、厂房设计、设备选型等方面充分考虑环境保护的需求，从源头控制无组织排放、初期雨水收集、环境风险防范等问题。生产工艺选用的各种涂料、厂房建筑用涂料、工业设备防护涂料等，除有特殊要求外，必须选用符合《低挥发性有机化合物化、化工、钢铁、有色、建材界制、碳达峰碳中和目标、生态环境准入清单、规划环评及行业建设环境准入条件。(二)生产过程中水回用、提高项目中水回用率，新建、改建项目的中水回用水平必须高于行业平均水平，达到国内先进水平以上。根据《江苏省太湖水污染防治条例》规定，非战略性新兴产业，不得新增含磷、氮的生产废水。用水量较大的印染、电子等行业必须大幅提高中水回用率。冷却水强排水、反渗透(RO)尾水等“清净下水”必须按照生产废水接管，不得接入雨水口排放。强化生产过程中的物料回收利用，鼓励有条件的挥发性有机术实现物料回用，强化固体废物源头减量和综合利用，配套的回收利用设施必须达到主生产装置同样的设计水平和环保要求，提升回收效率，需外送利用处置固和涂料，产生废气工程和技术研究和试验发展，厂区布局合理，不属于"两高”项目。本项目研发废水主要为纯水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起水处理厂处理。产或委外处置，或由环卫部门定期清本项目废气治污设规范电子工业》,满足要求。因此，本项目符合阶段开展"源头管控行动”的工作意见》(锡环办〔2021)(三)治污设施提高标准、提高效率：项目审批阶段必须征审核项目污染防治措施是否已达未达最严标准、最新要求的一律不得审批。要按照所属行业的《排污许可证申请与核发技术规范》要求，选择采用可行性技术，提高治污设施的标准和要求，对于未采用污染防治可行技术的项目不予受理；鼓励采用具备应用案例或中试数据等条件的新型污染防治技术。8府关于印发大苏段核心监控区国土空间管办法的(苏政发两岸各2千米的范围。滨河生态空间，是指核心监控区内，原则大运河江苏段主河道两岸各1千米的范围。本项目距离京杭大运河河岸约控区中建成区。本项目利用已建建筑进行，不新增用地，项目所在地规划为科研设计用地。本项目属于M7320工验发展，符合无锡(太湖)国际科技园的产业定位，符合国家和地方的产业政策，并与规划及规划环境影响评第十条严格准入管理。核心监控区内，实行国土空间准入正 (负)面清单管理制度，控制开发规模和强度，严禁不符合主体制镇)内，严禁实施不符合产业政策、规划和管制要求的建设项城市建成区老城改造应加强建筑高度管控，开展建筑高度影响分析，按照高层禁建区管理，落实限高、限密度的具体要求，限制各类用地调整为大型的工商业、商务办公、住宅商品房、仓9府关于第十六条严格准入管理。实行国土空间准入正(负)面清单大运河核心监控区国土空间管控细通知》(锡政规区内，严禁实施不符合产业政策、(一)老城传统风貌区指世界文历史文化街区、历史风貌区的保护范围，具体包括京杭大运河—江南运河无锡城区段世界文化遗产区，清名桥沿河历史文化街区、惠山古镇历史文化街区及小娄巷蓉湖浜、西水关等历史风貌区的保护范围等。老城传统风貌区改造应加强建筑高度管控，开展建筑高度影响分析，新建建筑按照高层禁建区管理，落实限高、限密度的具体要求。老城传统风貌区内限制各类用地调整为大型的商业、商务办公、住宅商品房、仓储物流设施等项目用地。确需调整的，应征求文物保护、生态环境、住房城乡建设等相关主管(二)大运河遗产保护区，包含世界文化遗产中国大运河遗产区、缓冲区以及全国重点文物保护单位大运河保护范围等，应按照《中华人民共和国文物保护法》《大运河遗产保护管理办法》等相关法律法规及相关规划进行管江苏省城镇污厂纳管工业废水分质处理评指南(1)可生化优先原则：以下制造业工业企业，生产废水可生厂提高处理效能，与城镇污水处理厂约定纳管标准限值、签订书内容、完成备案手续后可优先接(1)本项目研发废水主要为纯水制备水量小，对污水处理厂的冲击小，项目所在地已办理排水许可证。(2)本项目研发废水达到《污水综合(试(依据行业标准修改单和排污许可证技术规范，排放浓度可协商);②淀粉、酵母、柠檬酸工业(依据行业标准修改单征求意见稿，排放浓度可协商);③肉类加工工业(依据行业标准，BOD5浓度可放宽至600mg/L,(2)纳管浓度达标原则：工业企业排放的常规和特征污染物浓度均需达到相应的纳管标准和协议要求，其中部分行业污染物按照行业排放标准要求须达到直接排放限值，方可接入城镇污水(3)总量达标双控原则：接不得高于环评报告及批复、排污厂排放的某一项特征污染物的总量不得高于所有纳管工业企业按照相应标准直接排放限值核算的该项特征污染物排放总量之和。(4)工业废水限量纳管原则：工业废水总量超过1万吨/日的省级以上工业园区，或者工业废水纳管量占比超过40%的城应配套专业的工业废水处理厂。(5)污水处理厂稳定运行原则：纳管的工业企业废水不得影响城镇污水处理厂的稳定运行和达标排放，污水处理厂出现受纳管工业废水冲击负荷影响导致排水超标或者进水可生化污染物浓出管控力度。(6)环境质量达标原则：区域内国省考断面、水源地等敏感(GB8978-1996)表4中三级标准以及《污水排入城镇下水道水质标准》(3)本项目新增废水污染物在太湖新城污水处理厂内平(4)本项目研发废水排放量小且水质清洁，无需配套专厂，可直接接管市政管网。(5)本项目研发废水主要为纯水制备水量小且水质简单，不会对污水厂产生冲击负荷。(6)本项目研发废水不涉及氟化物、物。(7)与本项目无关。水域不得出现氟化物、挥发酚等特征污染物检出超标情况，否则出管控力度。(7)污水处理厂出水负责原则：城镇污水处理厂及其运营单位，对城镇污水集中处理设施的出水水质负责，应积极参与纳管企业水质水量对污水处理设施正常运行影响的评估工作，认为其生产废水含有污染物不能被污水处理设施有效处理或者可能影响污水处理设施出水稳定达标的，应及时报城镇排水主管部门和生根据《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红[2018]74号),《江苏省国家级生态保护红线规划》将全省陆域共划定8大类407块生态保护红线区域，总面积8474.27平方公里，占全省陆域国土面积的8.21%,划分为自然保护区、森林公园的生态保育区和核心景观区、风景名胜区的一级保护区(核心景区)、地质公园的地质遗迹保护区、湿地公园的湿地保育区和恢复重建区、饮用水水源地保护区、水产种质资源保护区的核心区和重要湖泊湿地的核心保护区域等8种类型。本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼，根据《江苏省国家级生态红线区域保护规划》(苏政发〔2018〕74号)和《省政府关于印发江苏省生态空间管控区域规划的通知》(苏政发〔2020〕1号),本项目选址不在无锡市生态红线区域和生态空间管控区域范围内，距离本项目最近的生态红线区域为贡湖锡东饮用水水源保护区，位于本项目南侧2200m。距离本项目最近的生态空间管控区域为太湖(无锡市区)重要保护区，位于本项目南侧2200m。因此，本项目的建设不会导致无锡市无锡市区内生态合生态红线保护的要求。根据《2022年度无锡市生态环境状况公报》,达标区。根据监测数据，无锡市已制定大气环境质量限期达标规划，按照规划实施结果，近期、远期大气环境质量状况均可以得到有效的改善。与本项目有关氟化物、氮氧化物达到《环境空气质量标准》(GB3095-20京杭运河地表水监测断面各监测因子均满足《地表水环境质量标(GB3838-2002)中IV类标准要求。破项目所在地环境质量底线。因此项目的建设符合本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼自来水，当地自来水厂能够满足本项目的新鲜水使用要求，当地电网能够满足本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼湖)国际科技园规划环境影响跟踪报告书的审核意见》(锡环管新[2017]3号)中无锡(太湖)国际科技园产业发展负面清单一览表，具体情况见下表：类别内容产业政策(2021年修订版)、《无锡市制造业转型发展指导目录(2012本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于该文件中的鼓励类、限制类、淘汰类，为允许类，符合该文件的要求符合苏省太湖水污染防治条例》等文纸、制革、酒精、淀粉、冶金、本项目为M7320工程和技术研究和试验发展，不属于造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、符合保护相关文件的生产项目；禁止设置剧毒物质、危险化学品的贮存、输送设水上餐饮经营设施；新建高尔夫设项目；新建化工、医药生产项目；新建污水集中处理设施排污口以外的排污口；禁止设置装卸垃圾、粪便、油类和有毒有害物质的码头。电镀等排放水污染的生产项目；不设置剧毒物质、输送设施和废物回收场、垃圾场，本项目使用的化且贮存在防爆柜中，对环餐饮经营设施；不属于高尔夫球场、水上游乐等开发项目；不属于新建畜禽赤殖场；不涉及向水体排放污染物；不属于化工、医药生产项目；不设置污水集中处理设施排污口以外的排污口；不涉及设置装卸垃圾、粪便、油类和准入条件不得引进排放重金属等污染物本项目不涉及重金属等污符合不得引进排气量大、排放有毒废排放，不排放有毒废气、恶臭气体。符合本项目不属于生产工艺及设备落后、环境风险较大的项目符合本项目符合国家及地方产业政策，不属于所在园区禁止入园不属于环境准入负面清单中的项目类别，符合环根据《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》(苏政发[2020]49号)在太湖流域一、二、三级保护区，禁止新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的城镇污水集中处理等环境基础设施项目和《江苏省太湖水污染防治条例》第四在太湖流域一级保护区，禁止新建、扩建向水体排放污染物2020年底前，太湖流域所有省级以上开发区开展园区循环化改本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展。本项目位于太湖流域一级保护区内，本项目研发废水主要为纯水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起接管理，符合《江苏省太湖水污染防治条例》(江苏省第十二届人民代表大会常务委员会第三十四次会议于2018年1月24日通过)。本项目产生的危废废物均委托资质单位处置，不外排。本项目用水量主要为生活量较少，不会影响居民生活用水。综上，本项目的建设符合《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》(1)禁止建设不符合全国和省级港口布局规划以及港口总体规划的码头项目，禁止建设不符合《长江干线过江通道布局规划》的过长江通道项目。(2)禁止在自然保护区核心区、缓冲区的岸线和河段范围内投资建设旅游和生产经营项目。禁止在风景名胜区核心景区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资源保护无关的项目。(3)禁止在饮用水水源一级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的项目，以及网箱养殖、畜禽养殖、旅游等可能污染饮用水水体的投资建设项目。禁止在饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建排放污染物的投资建设项(4)禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。禁止在国家湿地公园的岸线和河段范围内挖沙、采矿，以及任何不符合主体功能定位的投资建设项(5)禁止违法利用、占用长江流域河湖岸线。禁止在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、航道整治、国家重要基础设施以外的项目。禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的(6)禁止未经许可在长江干支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。(7)禁止在“一江一口两湖七河”和332个水生生物保护区开展生产性捕捞。(8)禁止在长江干支流、重要湖泊岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在长江干流岸线三公里范围内和重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保(9)禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。(10)禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项(12)法律法规及相关政策文件有更加严格规定的从其规定。本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，不属于钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼，距离长江49km;项目研发废水主要为纯水制备浓水、调试废水，水质较清、不含氮磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起接管至太湖新城污水处理厂处理，属于间接排放；本项目不冲区的岸线和河段范围，不在饮用水水源一级保护区、二级保护区的岸线和河段范围，不在水产种质资源保护区的岸线和河段范围，不在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区内，也不在生态保护红线和永久基本农田范围内；不属于法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目和国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。因此本项目不在长江经济带发展负面清单中。风险防控和资源利用效率等方面明确准入、限制和禁止的要求，建立无锡市市域生态环境管控要求和194个环境管控单元的生态环境准入清单。”空间布局约束生态环境分区管控方案》(苏政发〔2020〕49号)附件3江苏省省域三提升”专项行动实施方案》(锡保护修复攻坚战行动计划工作方行动计划实施方案》(锡政发〔2018〕45号)《无锡市土壤污染(3)禁止引进列入《无锡市产业(1)本项目的建设符合《江苏省"三线一单"生态环境分区管控方案》(苏政发[2020]49号)的要求。减六治三提升”专项行动实施方案》(锡委发〔2017)4攻坚战行动计划工作方案》政发〔2018〕45号)《无锡市土壤污染防治工作方案》 文件要求。结构调整指导目录》(锡政办发(2008〕6号)淘汰类的产业。(4)根据《关于印发无锡市长江经济带生态环境保护重点任务实施方案的通知》(锡环发〔2018)228号),沿江地区不再新布局石长江干流自然保护区、风景名胜保护区核心区及缓冲区内禁止新加大长江沿岸现有危险化学品码江危险化学品码头运行管理。(5)根据《无锡市政府办公室关于印发无锡市化工行业建设项目准入暂行管理办法的通知》(锡政办发〔2017〕200号),新建(含禁止新改扩建染料以及其他排放艺改造提升项目应实行等量或减涉及重点监管危险化学品和涉及(3)本项目不属于《无锡市政办发〔2008〕6号〕淘汰类的产业。(4)本项目属于M7320工泽路18号无锡(国家)软件园栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼，距离长江49km。本项目不在自然保护区核心区、缓冲区的岸线和一级保护区、二级保护区的岸线和河段范围，不在水产种质资源保护区的岸线和河护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区内，也不在生态保护红线和永久基本农田范围内。(5)本项目不属于化工项(6)本项目不属于化工、冶炼项目，本项目距离太湖名录的恶臭污染物等严重影响人身健康和环境质量的化工项目。(6)依据《无锡市加快化工钢铁煤电行业转型升级三年行动计划〔2018〕101号),严格限制在长流岸线1公里范围内布局新建化工市危化品码头仓储企业数量只减沿运河等区域相对落后冶炼产能20公里以内的600m³及以下高炉、50吨及以下转(电)炉必须在2020的500m³及以下高炉、45吨及以下转(电)炉必须在2020年底前按国家产业结构指导目录明确的鼓下达目标。污染物排放管控(1)坚持生态环境质量只能更好、号),2020年无锡市化学需氧量、(1)本项目用水来自区域自来水管网，用电由市政电网不会达到资源利用上线，污经查阅，本项目不在生态红线区域范围内，距离本项目最近的生态红线区域为贡湖于本项目南侧2200m,距离本项目最近的生态空间管控区域为太湖(无锡市区)重万吨/年。2200m。因此，本项目的建态红线区域服务功能下降。(2)本项目排放化学需氧量总氮0.0360t/a、总磷0.0045t/a,在太湖新城污水处理厂内平衡，不排放二氧喷淋处理后排放量较小，本报告不做定量分析。环境风险防控生态环境分区管控方案》(苏政发〔2020〕49号)附件3江苏省省域(2)强化饮用水水源环境风险管控，建成应急水源工程。(3)落实《市政府办公室关于印发无锡市突发环境事件应急预案的通知》(锡政办函〔2020〕45(4)完善废弃危险化学品等危险废物(以下简称“危险废物”)、业等分级管控和隐患排查治理的(1)本项目建成后将执行发〔2020〕49号)附件3江苏省省域生态环境管控要求中“环境风险防控”的相关要求。(2)项目建成后将落实《市政府办公室关于印发无锡市突发环境事件应急预案的通知》(锡政办函〔2020〕45(3)本项目不属于重点环保设施项目，不属于涉及大宗危化品使用企业、贮存和运库、集中式污水处理厂、危废处理企业。项目产生的危险废物临时贮存在危废仓库将建立覆盖危险废物产生、收集、贮存、转移、运输、利用、处置等全过程的监督体系。资源利用效率要求(1)依据《关于印发《无锡市节(规划简本)》的通知》(锡水资〔2017〕59号),2020年无锡市用水总量不得超过40.54亿立方本项目用水总量为1239t/a,年降低18%,万元GDP用水量较2015年降低23%,农田灌溉水有效利用系数达到0.67。(2)依据《无锡市土地利用总体规划(2006-2020)调整方案》(苏国土资函〔2017〕648号〕,2020年无锡市耕地保有量不得低于11.08万公顷，基本农田保护面积不低于9.04万公顷。本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼区(新吴区)”。根据《无锡市“三线一单”生态环境分区管控实施方案》(锡环委办〔2020〕40号),本项目所在区域为重点管控单元，分析其相符性情况，具体情况如下表：内容空间布局约束(1)各类开发建设活动应符合无锡市国土空间总体规划、控(2)禁止引进列入《无锡市产办发〔2008〕6号)禁止淘汰类(1)本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展，符合用地规划以及园区规划。(2)经查，本项目不属于《无锡市产业结构调整指导目录》(锡政办发〔2008〕6号)禁止淘汰类的产业。符合污染放管控(1)严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。(2)强化餐饮油烟治理，加强噪声污染防治，严格施工扬尘监管，加强土壤和地下水污染防治与修复。(1)本项目研发废水主磷，与经化粪池预处理后的生活污水一起接管至本项目调试废气经碱液喷淋后无组织排放。本项目实施污染物总量控制在太湖新城污水处理厂内平衡。(2)本项目属于M7320符合工程和技术研究和试验发展，不属于餐饮业，噪声对环境影响较小，施工防控合理布局工业、商业、居住、科教等功能区块，严格控制噪声、恶臭、油烟等污染排放较本项目属于M7320工程不属于噪声、恶臭、油烟等污染排放较大的建设符合资源效率要求耗水服务业用水。本项目用水量较小，不属于高耗水服务业。符合综上所述，建设项目符合环境准入负面清单，并能够满足生态保护红线、环境质量底线以及资源利用上限的要求。建设内容无锡华瑛微电子技术有限公司成立于2008年11月，注册资本1584.625万元，主要从事半导体晶圆表面处理设备的研发，设计研发规模为年研发晶圆表面处理设备7台。公司自成立以来共申报过二期环评项目，企业现有项目环评及验收情况见表2-9。超纯水机、真空泵、纯水设备、冷水机、空压机、储气罐、液氮杜瓦罐、制氮机、本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼，东侧为菱湖大道，隔路为新安街道综合行政执法局；南侧为佛奥天佑城；西侧为无锡国家软件园五期项目；北侧为中国移动(江苏无锡)数据中心。500米范围内存在环境敏感目标佛奥天佑城(距离飞鱼座C91m、距离海豚座C216m)、佛奥天佑城二期(距离飞鱼座C152m、距离海豚座C270m),新安街道综合行政执法局(距离飞鱼座C122m、距离海豚座根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017)及国家标准1号修改单(国统字[2019]66号),本项目属于M7320工程和技术研究和试验发展。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版),确定本项目环评类别为环境影响报告表。项目类别环评类别目环境影响评价分四十五、研究和实验室、生物安其他(不废气、废/本项目为半导体晶圆表面处理设备研发项目，产生废气、类管理名录》(2021发展室；转基因实水、危险废物的除废水、危险废物，属于其他，故环评类别为“报告表”设计能力扩建后主体工程二期车间不变鲸鱼座A栋1楼研发车间10栋1楼研发车间20栋1楼辅助工程办公室0栋7、9楼储运工程仓库5飞鱼座C1新增座C1新增36平方米公用工程供水设施依托排水设施排入市政污水管网，接入太湖新行集中处理供电设施12万度/a18.5万度/a依托当地电网空压机03台+3台新增坏保工程废气二级活性炭+15m高FQ01排气筒不变//新增1套碱液喷废水化粪池1个1个不变依托固废危废仓库不变依托一般工业固废不变依托生活垃圾垃圾桶垃圾桶若干不变依托噪声噪声设备采取墙体隔声、减振隔振降噪措施不变/公用供水现有厂区供水管道已接入市政给水管网，依托可行。供电设施化粪池本项目扩建后建设单位全部生活污水产生量1200t/a,年工作250天，化粪池设计最大处理能力为8t/d危废仓库企业现有危废仓库，有足够的面积容纳本项目一般固废仓库企业现有一般固废仓库，有足够的面积容纳本项目一般工业序号1晶圆表面处理设备7台/年47台/年数量(台/套)/电感耦合等离子体质谱仪/26新增/离子色谱/110///13新增//110///真空泵/13新增/纯水设备/13新增///24新增//空压机/03新增///03新增//液氮杜瓦罐/04新增///02新增//液氩杜瓦罐/02新增序号固箱装塑料材料固箱装成套电子零件固箱装60套180套+120套20套晶圆固盒装1000片4000片+3000片1000片氮气气罐装氩气气罐装液瓶装0盐酸液瓶装0氢氟酸(49%)液瓶装硝酸(70%)液瓶装双氧水(35%)液瓶装氨水液瓶装0异丙醇液瓶装0丙酮液瓶装0乙醇液瓶装0乙酸液瓶装0碳酸钠固瓶装0性状及物化性质酸别名：氟化氢溶液，无色透明有刺激性臭味的液体。浓度为40-55%的水溶液，分子量20.01,沸点120℃,熔点-83.1℃,与水混溶。相对密度1.26,性质稳定。不燃(大鼠吸入)硝酸无色透明液体，有酸味，熔点-42℃,沸点83℃,分子量63.01,浓度为60-71%的水溶液，相对密度1.50.蒸气密度2-3,与水混溶。性质稳定。不燃LC₅0:130mg/m³(大鼠吸入，4h);67mg/ppm(小鼠吸入，4h)水别名：过氧化氢，浓度20-60%,无色透沸点150.2℃,密度1.07-1.24,溶于水、乙醇、乙醚，不溶于苯、石油醚。不燃LDs₀:浓度为90%,376mg/kg(大鼠经液氮无色，无臭，无腐蚀性，不可燃，温度极低的液体，汽化时大量吸热接触造成冻伤，在常压下，氮的沸点为-196.56℃,熔点：-210℃,汽化潜热：5.56kJ/mol,临界压力：3.40MPa不燃，不易爆无毒本项目涉及使用氢氟酸、硝酸，产生氟化物、氮氧化根据厂方提供的资料，类比本厂原有生产项目实际用排水情况，得出扩建项目标准》(GB50015-2019)表3.2.11中用水定额：工业企业建筑，车间工人的生活用人每天上一班，年工作天数250天。则生活用水量为1125t的80%计算，生活废水产生量为900t/a。生活废水经化粪池预处理后，进入污水管纯水制备率为30%,则可知纯水制备用自来水量为114t/a,产生的浓水为79.8t/a。的纯水测试设备的管线是否畅通和漏气，损耗按1%计，调试废水产生量为19.8t/a,调试废水未受到化学试剂的污染，进入污水管网，接管太湖新城污水调试2用水：调试2在研发车间2进行，根据企业介绍，调试2需的纯水配置清洗液，损耗按1%计，进入酸性清洗废液的水量为14.058t/a,做危废委 制备 自来水处理厂1125生活用水900化粪池900生活污水900现有项目浓水3.9185t/a,由于现有项目浓水作为清根据要求需排入污水管网，故现有项目浓水计入本项目新增。纯水制备过程不添加任何化学试剂，纯水制备浓水与生活污水一起接管污水处理厂 制备自来水处理厂扩建前全厂实际员工总数为30人，本项目新增员工90人，扩建后全厂员工为120人，不设食堂、浴室等生活设施，员工就餐由外送快餐解工作制度：扩建后工作制度不变，年生产天数为250天，实行一班制，每班8本项目研发车间1位于飞鱼座C栋1楼，研发车间2豚座C栋7、9楼为办公室。飞鱼座C1从左向右分别为门厅、装配调试区、准备间、配电间、更衣室、仓库、设备间。海豚座C1从左向右分别为门厅、更衣室、装配调试区、准备间、纯水间、空压机房、检验区、仓库。一般固废仓库、危废仓库依托综上，本项目总平面布局能够做到功能分区明确、人流物流分配合理，从环境艺流程和产排污环本项目新增纯水机、离子色谱、电感耦合等离子体质谱仪、膜厚仪等设备，扩1、晶圆表面处理设备研发扩建项目工艺流节机械加工(委外)组装纯水、氮气、氢氟酸、硝酸、双氧水调试废气G1调试2研发结束研发结束成套电子零件纯水、氮气酸性清洗废液S1噪声N调试废水W1噪声N调试1G废气S固废机械加工(委外):外协单位根据公司提供设备，等待下一步调试。调试：调试1属于预调试，是往设备管线内通入纯水、氮气否畅通和漏气，调试1在研发车间1进行。调试2是往设备通入纯水、氮气、氢氟酸、硝酸、双氧水测试产品的性能，调试2在研发车间2进行，通过检测晶圆表面薄膜厚度来监测工艺质量，通过检测收集的清洗液中金属离子杂质、阴阳离子等含量来检测晶圆清洗程度。调试1产生调试废水W1和噪声N;调试2产生调试废气自来水自来水滤芯过滤S2活性炭过滤S3钠型树脂过滤S4纯水箱图例：S:固废滤芯过滤：自来水在水泵的作用下，进入装填有石英砂滤料的滤芯，利用不同的石英砂的截污能力，可有效去除水中粒度大于20μm的杂质。在使用过程中由于截留的颗粒物杂质累积会堵塞滤芯，为保证过滤效果，滤芯需定期更换。此工水中的硬度成分Ca²+、Mg²+与树脂中的Na+相交换，从而吸附水中的Ca²+、Mg²+,使水得到软化。如以RNa代表钠型树脂，其交换过程如下：该工序需定期更换树脂，此工序产生废树脂S足够的压力使水通过RO膜而分离出来。水进入RO膜S5、浓水W2。(2)原料使用产生废化学试剂瓶S6;碱液喷淋产生喷淋废液S7;员工生活产(3)空压机、废气处理设施风机运行产生噪声废气调试2调试废气氟化物、氮氧化物淋后无组织排放调试1调试废水处理厂纯水制备纯水制备浓水员工生活生活污水氨氮、总氮、总磷经过化粪池处理后处理厂固废调试2酸性清洗废液氢氟酸、硝酸、纯水制备废滤芯滤芯纯水制备废活性炭活性炭纯水制备废树脂树脂纯水制备包装喷淋废液员工生活生活垃圾纸张、果皮噪声N设备运行机械噪声噪声墙体隔声、距离衰减与项目有关的原有环境污染问题无锡华瑛微电子技术有限公司成立于2008年11月，注册地点位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼无锡(国家)软件园鲸鱼座A幢1楼。过二期项目，现有项目相关环评批复及建设情况见下审批部门验收时间验收部门半导体晶圆术及其设备开发项目(一期项目)无锡市环境保护局自主验收正常运行半导体晶圆术及其设备开发项目(二期项目)无锡市新吴区安全生产监督管理和环境保护局自主验收正常运行根据《固定污染源排污许可分类管理名录(2019版)》,企业现有工程已于2023年12月办理排污许可(登记管理),登记编号为：913202146829854836001W,有效期为2023-12-04至2028-12-03。2.1研发工艺(1)晶圆表面处理设备研发(一期项目)工艺流程：机械加工委外加工成套电子零件组装调试设计改进机械加工：外协单位根据公司提供的设计图纸，按要求加工材料，组装调试：员工将加工好的零部件与外购的成套电子零件用螺丝等组装成晶圆主要分成三个步骤。首先，根据试验配方在实验室中用硫酸、盐酸、氢氟酸、丙酮、超纯水等配制出晶圆清洗液。其次，清洗设备中加入清洗剂，过实验设备检测晶圆表面薄膜厚度来监测工艺质量、检测收集的清洗液中金属离子杂质、阴阳离子等含量来检测晶圆清洗程度。本工序产生清洗废液(为了储存的安全性，废液中投加NaOH调节至中性后密闭储存在专门收集桶中，定期(2)晶圆表面处理设备研发(二期项目)工艺流程配制设计改进成品机械加工委外加工机械加工；外协单位根据公司提供的设计图纸，按要求加工材料组装调试：员工将加工好的零部件与外购的成套电子零件用螺丝等组装成晶圆表面处理设备，并调试产品。此过程主要为手工操作，仅有低噪声产生。过程在千级超净实验室内通风橱内进行。首先，根据试验配方在实验室中用盐酸、硫酸、氢氟酸、硝酸、氨水、异丙醇、丙酮、乙醇、乙酸和液。本项目有机清洗液不使用纯水，酸性清洗液需使用清水稀释。配置完成后，合格的清洗液进入下一步工艺，不合格酸性清洗液(S1)、有机清洗液(S2)作为危险废物处理，此过程有废化学试剂瓶S3、以及废气G1产生，主要为有机废气等。中加入清洗液，清洗晶圆。最后，通过检测晶圆表面薄膜厚度来监测工艺质量，通过检测收集的清洗液中金属离子杂质、阴阳离子等含量来检测晶圆清洗程度。本工序产生酸性清洗废液(S4)、有机清洗废液(S5),为了储存的安全性，在酸性清洗废液中投加Na₂CO3调节至中性后密闭储存在专门收集桶中，定期委托有资质单位处置。此过程测试机器在超净实验室内工作，清洗晶圆过程有废气G2产生，主要设计改进：本项目根据测试结果来改进设备，改进清洗液配方来进一步2.2废气总量核算 配置、测试VOCs二级活性炭吸附装置、15米高排气筒FQ01企业于2023年4月委托无锡中证检测技术(集团)有限公司对企业废气排放口进行监测，现有工程有组织废气监测数据见下表。项目平均值)以上可见，现有工程FQ01排放的VOCs达到天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)表1标准。2.3废水总量核算企业于2023年4月委托无锡中证检测技术(集团)有限公司对污水排放口进行监测，在正常生产状态下，现有工程废水排放情况见下检测项目污水总排口总氮总磷8由上表可见，现有工程生活污水化学需氧量、悬浮物排放浓度满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级标准限值要求，氨氮、总氮、总磷满足《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中的A级标准限值。2.4噪声企业于2023年4月委托无锡中证检测技术(集团)有限公司对厂界噪声进行监测，在正常生产状态下，厂界噪声监测结果见下表。监测值dB(A)8昼间昼间昼间昼间监测结果表明，现有项目厂界噪声排放可达到《工准》(GB12348-2008)中2类标准。2.5固废产生情况类别1液危险废物2液3液4废活性炭5废滤芯纯水制备一般固废6生活垃圾员工生活1贮存设施应根据危险废物的形态、物理化学性质、包装形式和污染物防雨、防漏、防渗、防腐以及其他危险废物。现有项目危废仓库位于室内，危废分类分区存放且设盛漏托盘，危废仓库具备防风、防晒、防雨、防漏、防渗、防腐措施。符合2贮存设施应根据危险废物的类别、防治等要求设置必要的贮存分区，现有项目已按照危险废物学性质和污染防治等要求设置必要的贮存分区。危险废物采用合适的包装，危废仓库地面采取防渗措符合志，并布置灭火器、沙包等消防物资。3漏堵截设施，堵截设施最小容积不应低于对应贮存区域最大液态废物容器容积或液态废物总储量1/10(二者取较大者);用于贮存可能产生渗滤液的危险废物的贮存库或收集设施容积应满足渗滤液的收集要求。危废仓库设立独立区域，液体危废废物采用包装桶盘上，防泄漏托盘收集容业危废仓库内液态、固态危废根据危废种类和特性符合4贮存易产生粉尘、VOCs、酸雾、有毒有害大气污染物和刺激性气味气体的危险废物贮存库，应设置气体收集装置和气体净化设施。气污染物和刺激性气味气体，无需设置气体收集装置和气体净化设施。符合5贮存设施或场所、容器和包装物应按HJ1276要求设置危险废物贮存设施或场所标志、危险废物贮存分区标志和危险废物标签等危险废物识别标志。危险废物贮存设施已按照要求设置危险废物贮存设施标志、危险废物贮存分区标志和危险废物标签等危险废物识别标志。符合6在常温常压下易爆、易燃及排出有毒气体的危险废物应进行预处理，使之稳定后贮存，否则应按易爆、易燃危险品贮存。现有项目不涉及易爆、易燃及排出有毒气体的危险废物。符合7贮存设施所有者或运营者应按照国家有关规定编制突发环境事件应急预案，定期开展必要的培训和环境应急演练，并做好培训、企业已按照国家有关规定编制突发环境事件应急预案，定期开展必要的符合8贮存设施所有者或运营者应配备满足其突发环境事件应急要求的应急人员、装备和物资，并应设危废仓库配备有满足突发急人员、装备和物资，并符合2.6土壤及地下水现有项目潜在的土壤、地下水污染源主要是仓库、危废仓库因防渗、防流失措施失效导致的污染物通过垂直入渗、地表漫流的途径进入土壤和地下水。现有工程已采取以下土壤、地下水污染防治措①仓库、实验室、危废仓库地面已采取防渗、防腐、防设立日常排查制度。②液态物料、危废采取合适的包装容器，并置于防现有工程土壤、地下水污染防治措施能够满足相关防渗的要求，正常情况下工程运行不会对土壤及地下水环境造成污染影响。现有项目存在的环境风险主要是硫酸、盐酸、氢氟酸、硝酸、氨水、异丙酮、丙酮、乙醇以及危险废物等贮存时可能发生的泄漏，以及火灾、爆炸等引发的伴生/次生污染物排放。①总图布置严格按照《建筑设计防火规范》(GB5用规范》(GB55037-2022)的要求进行设计；②液态物料、危废采取合适的包装容器，并置于防渗漏托盘上；③仓库、实验室、危废仓库地面已采取防渗、防腐、防流设立日常排查制度；④原料的存放设置明显标志，由专人管理，出入库进行核查登记，并定期检查；⑤厂区雨水排放口已设置雨水切断装置；⑥企业已根据实际情况编制突发环境事件应急预案，并开展应急培训和应急演练，发生事故市能流畅响应，有效处置突发环境事件。3、排污量汇总根据以上监测数据，核算企业现有工程污染物的实际废气有组织总氮总磷清下水固废*一般工业固体废物危险废物生活垃圾上表可见，企业现有工程实际排污总量符合许可排放量要求。近三年，企业未发生厂群矛盾，未引起居民环保投诉，罚情况。5.1主要环境问题1)现有项目纯水制备实际产生废滤芯、废RO膜、废活性炭、废树脂，废RO2)现有项目的纯水制备浓水作为清下水经雨水排放口排放。根据《关于在环评审批阶段开展“源头管控行动”的工作意见》(锡环办[2021]142号),冷却水强排水、反渗透(RO)尾水等“清净下水”必须按照生产废水接管，不得接入雨水口排放。5.2以新带老措施1)现有项目废RO膜、废活性炭、废树脂产生量全部计入本项目新增。2)现有项目纯水制备浓水全部以新带老，本次扩建项目纯水制备浓水将以全厂的量进行核算申请，并接管污水管网。以新带老削减量：废水量3.9185t/a。三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状①基本污染物六区”优良天数比率介于77.8%—81.1%之间。全市环境空气中细颗粒物(PM₂.5)、可吸入颗粒物(PM10)、二氧化氮(NO₂)年均浓度分别为28微克/立方米、49微克/立方米和26微克/立方米，同比分别下降3.4%、9.3%和23.5%;一氧化碳(CO)年均浓度为1.1毫克/立方米，同比持平；臭氧九十百分位浓度(O₃)和二氧化硫(SO₂)年均浓度为179微克/立方米和8微克/立方米，同比上升2.3%和14.3%。按照《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准进行年度评价，所辖“二市六区”臭氧浓度均未达标，其余指标均已达标。因此判定2022年无锡市环境空气质量为不达标区。根据《中华人民共和国大气污染防治法》的要求，未达标城市需要编制限期达标规划，明确限期达标，制定有效的大气污染防治措施。无锡市已按要求开展限期达标规划。根据无锡市大气环境质量限期达标规划(2018-2025年),无锡市达标规划的规划范围为：整个无锡市全市范围(4650平方公里)。无锡市区面积1643.88平方公里，另有太湖水域397.8平方公里。下辖共5个区2个市(梁溪区、滨湖区、惠山区、锡山区、新吴区、江阴市、宜兴市)、7个镇、41个街道。远期目标：力争到2025年，无锡市PM2.5浓度达到35ug/m³左右，O₃浓度达到拐点，除O₃以外的主要大气污染物浓度达到国家二级标准要求，空气质量优良天数比率达到80%。总体战略：以不断降低PM₂.5浓度，明显减少重污染天数，明显改善环境空气质量，明显增强人民的蓝天幸福感为核心目标，推进能源结构调整，推进热电整合，优化产业结构和布局；提高各行业清洁化生产水平，全面执行大气污染物特别排放限值，完成重点企业颗粒物无组织排放深度治理，从化工、电子(半导体)、涂装等工业行业挖掘VOCs减排潜力，完成重点行替代目标；以港口码头和堆场为重点提高扬尘污染控制水平；促进PM2.5和臭氧协同控制，推进区域联防联控，提升大气污染精细化防控能分阶段战略：到2025年，实施清洁能源利用，优化能源点推进热电整合。完成重点行业低VOCs含量原辅料替代目标。升级工艺技术，优化工艺流程，提高各行业清洁化生产水平。大幅提升新比例。推进PM2.5和臭氧的协同控制，推进区域联防联根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》:“常规污染物引用与建设项目距离近的有效数据，包括近3年的规划环境影响评价的监测数据，国家、地方环境空气质量监测网数据或生态环境主管部门公开发布的质量数据等。排放国家、地方环境空气质量标准中有标准限值要求的特征污染物时，引用建设项目周边5千米范围内近3年的现有监测数据，无相关数据的选择当季主导风向下风向1个点位补充不少于3天的监测数据。”特征污染物氮氧化物、氟化物环境质量现状采用无锡市恒信安全技术服务有限公司对本项目出具的监测报告(恒信(环)字第HXHJ202312012号),补充监测点位基本情况及环境质量现状监测结果详见下表。监测点绿色家园化物项目浓度范围最大占0氟化物/0由上表可知，氮氧化物达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)表2中标准，氟化物达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)附录A中标准。因此，项目所在区域上述污染物的环境质量现状达本项目的纳污河流为京杭运河。根据2022年3月发布的由江苏省环境科学研究院编制的《江苏省地表水(环境)功能区划(2021-2030年)》,京杭运河2030年水域功能目标类别为IV类。根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》:“引用与建设项目距离近的有效数据，包括近3年的规本项目地表水环境质量现状数据引用《无锡瑞派恒泰宠物医院有限公司宠物诊疗服务项目》无锡市新环化工环境监测站的检测报告(检测报告编号：(2021)环检(ZH)字第(210080211)号)对京杭运河的监测数据，监测点位为高浪大桥和新虹大桥，监测时间为2021年8月2日-8月4日，监测数据距今尚在3年有效期内。京杭运河的水环境监测数据具体见表3-3。监测点检测项目浪大桥水质标准0000虹大桥水质标准0000由表3-1可见，监测时段内京杭运河2个监测断面各监测因子监测值均达到《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中IV类水质标准限值。本项目厂界外周边50米范围内无声环境保护目标，因此无需进行声环境现状监测。项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼无锡(国家)软件园，用地范围内不含生态环境保护目标，无需进行生态现状调项目不属于新建或改建、扩建广播电台、差转台、电视塔台、卫星地球上行站、雷达等电磁辐射类项目，无需对电磁辐射现状开展监测与评价。(1)地下水环境本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼无锡(国家)软件园，氢氟酸、硝酸、双氧水均用瓶装，并存放在仓库，仓库、危废仓库均做好防腐防渗和防泄漏措施，且企业建立车间和仓库巡查制度，发现泄漏可及时处理。因此，正常工况下不存在地下水环境污染途径。(2)土壤环境本项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼无锡(国家)软件园，氢氟酸、硝酸、双氧水均用瓶装，并存放在仓库，仓库、危废仓库均做好防腐防渗和防泄漏措施，且企业建立车间和仓库巡查制度，发现泄漏可及时处理。因此，在正常工况下，土壤和地下水环境不存在地面漫流和垂直入渗的污染途径。本项目不涉及二噁英、苯系物等易沉降、持久性污染物，废气排放量少，对环境影响小，故本项目不考虑大气沉降污染土壤环境的途径。综上，根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类环境保护目标项目厂界外500米范围内的大气环境保护目标名称及相对位置关系见下表：保护能区佛奥天佑城居民约1000人南《环境空气质 )二类区东南佛奥天佑城二期0居民约1000人南东南新安街道综合行政执法局单位约200人东北厂界外50米范围内无声环境保护目标。厂界外500米范围无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊项目位于无锡市新吴区震泽路18号无锡(国家)软件园海豚座C栋1楼、海豚座C栋7楼、海豚座C栋9楼、飞鱼座C栋1楼无锡(国家)软件园，无生态环境污染物排放控制标准本项目无组织排放的氟化物、氮氧化物执行江苏省地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表3标准，详见表3-5。氟化物无组织排放监控限值(mg/m³)本项目产生的生活污水经化粪池处理后和纯水制备浓水、调试废水接管太湖新城污水处理厂集中处理。污水接管标准及污水处理厂尾水排放标准限值具体见表3-6。(GB/T31962-2015)表1中A级标准总氮总磷8(GB18918-2002)表1中一级标准A标准和《太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行(DB32/1072-2018)表1标准总氮总磷注：括号外数值为水温>12℃时的控制指标，括号内数值为水温≤12℃时的控制指标。根据《无锡市区声环境功能区划分调整方案》(锡政办发[2设项目区域环境噪声执行《工业企业厂界噪声排放标准》(GB12348-2008)2类危险固废的暂存场所执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)、省生态环境厅关于印发《江苏省危险废物贮存规范化管理专项整治行动方案》(苏环办〔2019〕149号)和《江苏省固体废物全过程环境监管工作意见》(苏环办〔2024〕16号)、《危险废物识别标志设置技术规范》(HJ1276-2022);一般固废的暂存执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)和《关于加强一般工业固体废物管理的通知》(锡环办〔总量控制本项目选址位于“双控区”和“太湖流域”,项目所在地属于太湖流域水污指标原有项目本项目“以新带排放增废气有组织非甲烷总烃000000050000总氮00总磷00清下水0000固废一般固体00000危险废物0000000000本项目大气污染物无需平衡，新增废水污染物在太湖新城污水处理厂内平衡，施工期环境保护措施本项目利用已建厂房进行研发，简单装修后进行设备的安装和调试，无土建(1)污水：为施工人员生活污水，依托现有厂房内卫生间，纳入市政污水管(2)废气：主要为运输车辆扬尘、尾气和装修过程中的粉尘，企业施工期拟采取的措施有，①禁止散装类建筑材料进场，②施工现场设置围栏，③装修产生的建筑垃圾及时清理，存放时加盖防尘网，运输时车辆加盖，装载不得过满，适(3)固废：施工人员生活垃圾依托厂区内生活垃圾桶收集，委托环卫部门每天清运；建筑垃圾堆放在指定位置，交由有资质单位外运处置。(4)噪声：严格执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)相关规定，合理安排施工时间，严禁夜间施工，合理布局施工现场，物料进场仅在白天进行，选用低噪声设备进行施工，安装过程中采取基础减振、设备隔声等综合降噪措施。运营期环境影响和保护措施本项目调试工艺使用氢氟酸(49%)40kg/a、硝酸(70%)30kg/a,挥发产生选取4%