洁净车间气密性检测方法

洁净车间（室）竣工完成之后，需要对洁净车间（室）进行多种检测及测试项目，目的是查看和了解洁净车间（室）的各项指标是否合格；但有时候我们检测的项目更多的是温湿度、尘埃粒子、地面导电电阻、墙面抗电电阻、照度、送回风量、风压、压强等等，唯独很少做洁净车间（室）的气密性检测。

洁净车间（室）的气密性检测也是很重要的，最简单直观的一点就是洁净车间（室）的气密性可以防止负压洁净室内污染物的外泄，如果这一项未检测甚至相关检测人员连气密性检测方法都不懂的话，那这个洁净车间（室）的验收就得越加另请高明了。针对这个洁净车间（室）气密性检测，在合景净化这里是有检测方法的，下面就给大家分享洁净车间气密性检测方法。

一、基本原理

1、维持无尘车间（室）内为正压或负压均能达到检测要求，但必要条件准许时，负压洁净车间（室）宜用正压检测，正压洁净车间（室）宜用负压检测。

2、可按下面两种方式方法开展气密性检测:

2.1-压力衰减法

使洁净车间（室）内达到某一压力(正压或负压)，然后关掉供压或抽负压系统，仔细观察压力随时间慢慢哀减的情况，然后记录下压力衰减到开始压力的二分之一时用到的时间，便是测量洁净车间（室）内正压或负压的半衰期。

2.2-恒压法

使洁净车间（室）内达到某一正压，与此同时向洁净车间（室）内补气，使室压达到要求的稳定值而不降低时的补气量便是漏泄量。使洁净车间（室）内达到某一负压，使室压维持要求的稳定值而不降低时的抽气量便是漏泄量。

二、压力衰减法

1、检测系统如下图所示。

2、可按下面方法步骤开展检测

2.1-将被测洁净车间（室）的温度维持在设计范畴内并要求稳定，随后记录压力衰减检测全过程中室温的变化，值得注意的是：温度计或温度传感器的最小示值不可以超过0.1℃。

2.2-关掉被测洁净车间（室）围护结构上的门和传递窗等，关掉回风管(或排风管)上的气密闸阀，不能在风口上再加别的密封举措，并维持各类孔眼缝隙的密封状况。

2.3-打开送风，使洁净车间（室）内压力升高至已商议确定的测试压力(压力计量程起码为测试压力的1.5倍，最小示值不可以超过10Pa)，压力比较稳定后，完毕送风，关掉送风阀门。

2.4-或反过来关掉送风管上的闸阀，假如送风管上没有阀或阀拧不紧，应在送风口上使用塑料薄膜加盲板的方法封死风口，打开排风，使洁净车间（室）内压力降低至已商议确定的测试压力，压力比较稳定后，终止排风，关掉排风气密闸阀。

2.5-从终止送(排)风起，记录压力随时间衰减的数据信息，每1分钟记录1次压差和温度，连续记录至洁净车间（室）内压力降低至原始压力的一半时终止。

2.6-检测完毕后慢慢地开启风阀，使房间压力复原到正常的状态。

2.7-假如要求进行重复检测，20分钟后再开展。

2.8-当无需风机时也能用空气压缩机或真空泵。

3、检测报告应包含下列内容:

3.1-检测必要条件，包含室温等。

3.2-检测方法包括检测用到的仪器设备规格型号及精度；被测洁净车间（室）压力、温度的动态变化；检测连续的时间。

3.3-检测结果包含被测洁净车间（室）压力降低至原始压力的二分之一时的时间内压力衰减率；被测洁净车间（室）围护结构严密密封性的评价。

三、恒压法

1、检测系统如下图所示。

2、可按下面方法步骤进行检测:

2.1-将被测洁净车间（室）的温控在设计范畴内并长期保持稳定，记录检测全过程中室温的变化，要求注意的是：温度计或温度传感器的最小示值不可以超过0.1℃)。

2.2-关掉被测洁净车间（室）围护结构上的门和传递窗等，关掉回风管(或排风管)上的闸阀，假如风管上没有阀或阀拧不紧，则必须在回风口(或排风口)上使用塑料薄膜加盲板的方法封死风口。

2.3-打开送风，使洁净车间（室）内压力升高至500Pa，终止送风，关掉送风闸阀。利用围护结构上的管洞和导管，由送风机或空气压缩机向室内补气，借助调节安装在导管上的调节阀门调节补气流量，以维持洁净车间（室）内的压力足够稳定不至于下降，间隔1分钟记录一次补气管路上浮子流量计的读值，此数即是漏气量，检测连续的时间宜不能超过五分钟，需取平均值。

2.4-反过来关掉送风阀，打开排风，当洁净车间（室）内压力降低至500Pa时关掉排风，打开真空泵维持室内压力，记录真空泵抽气量，此数即是漏泄量。

2.5-检测完毕后慢慢地开启风阀，使房间内压力复原到常规状态。

2.6-假如要求进行反复检测，需隔20分钟后再进行。

2.7-当无需风机时也能用空气压缩机或真空泵。

3、检测报告应包括下面这些内容:

3.1-检测必要条件，包括室温等。

3.2-检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度；室温的动态变化；漏泄量的动态变化。

3.3-检测结果包括被测洁净车间（