SilvacoTCAD交互式工具的界面及基本操作

SilvacoTCAD交互式工具的界面及基本操作SilvacoTCAD框架，交互式工具的界面及基本操作Page

3主要内容第一部分SilvacoTCAD框架第二部分DeckBuild界面及主要操作第三部分Tonyplot界面及主要操作Page

41SilvacoTCAD框架第一部分SilvacoTCAD框架第二部分DeckBuild界面及主要操作第三部分Tonyplot界面及主要操作1.1SilvacoTCAD框架ProcessSimulation3D-VICTORYPROCESS，VICTORYCE2D-ATHENA，SSuprem4，MCImplant/Deposit/Etch，Elite，Optolith；1D-ATHENA1D，SSuprem3；DeviceSimulation3D-VICTORYDEVICE，Device3D，Giga3D，Luminous3D，Quantum3D，TFT3D，Magnetic3D，Thermal3D，MixedMode3D2D-ATLAS，S-pisces，Blaze，MCDevice，Giga，MixedMode，Quantum，Ferro，Magnetic，TFT，LED，Luminous，Laser，VCSEL，OrganicDisplay，OrganicSolar，Noise，Mercury；InteractiveToolsDeckBuild，Maskviews，DevEdit，Tonyplot，Tonyplot3D；VirtualWaferFabPage

51.2SilvacoTCAD的主要交互工具集成环境DeckBuild仿真控制进行仿真语法输入和编辑；仿真的实时输出；各仿真器通过DeckBuild调用；显示工具Tonyplot显示器件结构显示特性曲线导出数据Page

61.3SilvacoTCAD启动方式快捷方式文件夹路径X:\sedatools\shortcuts或启动>所有程序>S.EDATools>DeckBuildPage

7Page

82DeckBuild界面及主要操作第一部分第二部分SilvacoTCAD框架第三部分Tonyplot界面及主要操作DeckBuild界面及主要操作2.1DeckBuild界面Page

9仿真输入实时输出菜单栏控制条2.2.1DeckBuild菜单栏——File打开/保存输入文件，保存实时输出信息Page

10输入程序的编辑，设置DeckBuild特性(保存历史文件、工作路径，默认仿真器、实时输出…)2.2.2DeckBuild菜单栏——EditPage

11快速提取（材料厚度、结深、方块电阻…），显示当前结构，工艺优化2.2.3DeckBuild菜单栏——CommandPage

122.2.4DeckBuild菜单栏——Execution进度控制（运行、结束、暂停、设置“断点”、运行到“断点”暂停、初始化、退出、强制结束）Page

13导入示例2.2.5DeckBuild菜单栏——HelpPage

142.3DeckBuild进度控制 Run（Ctrl+R）：从上致下执行到“断点”（即“Stopatline”的“line”）时结束； Stop（Shift+F5）：执行完当前行就停止； Next（F10）：运行完下一行就停止； Continue（F5）：在之前停止运行的行开始往下运行； Initialize：从仿真历史初始化； Kill（Ctrl+K）：强制立即结束； Line（Ctrl+L）：重置当前行为选择的行； Stopatline（Ctrl+B）：设置断点。Page

15仿真控制2.4DeckBuild输入仿真程序输入Page

16goathenalinexloc=0spac=0.1linexloc=1spac=0.1lineyloc=0spac=0.02lineyloc=10spac=0.2initc.phos=2e13oreit=111two.dtonyplot2.5DeckBuild实时输出程序运行时实时显示运行进度和结果Page

17Page

183Tonyplot界面及主要操作第一部分第二部分DeckBuild界面及主要操作第三部分Tonyplot界面及主要操作SilvacoTCAD框架3Tonyplot界面显示结构和仿真曲线Page

193.1.1Tonyplot－Plot菜单Display：显示方式设置Page

203.1.2Tonyplot－Plot>DisplayPage

21Mesh：显示结构中的网格分布Edges：显示结构的边界Regions：显示材料区域Contours：显示器件结构内部的物理量Vectors：显示器件内部的矢量信息Light：显示光线在器件内部的特性Junction：显示器件结构中结的边界Electrodes：显示电极的名称3D：显示三维信息Lines：按照颜色来显示MeshElectrodesEdgesRegionsJunctionConrours3.2.1Tonyplot－Tools>Cutline在二维结构中划“线”（直线或折线）以显示一维信息Page

223.2.1Tonyplot－Tools>CutlinePage

233.2.2Tonyplot－Tools>Ruler测量两点的距离、连线和水平线的夹角angle以及斜率Page

243.2.3Tonyplot－Tools>Integrate对一维曲线进行积分Cutline得到一维分布或器件仿真得到的特性曲线Pa