pv800s作业指导书资料

修改记录版本修改内容摘要编制人审核人批准人日期A新发布BB/1B/2发布部门份数发布部门份数□总经理部[]□财务部[]□人事行政部[]□设备部[]□市场营销部[]□品控部[]□技术工艺部[]□生产部[]文件宣贯签字：1.目的1.1制定作业标准程序及作业依据，规范作业标准化。1.2叙述线切工序之作业流程。2.适用范围2.1生产部之切片工序作业适用。3.职责3.1IE部门负责程序书的编制。3.2生产部负责执行程序书的作业规定与要求。3.3质量部负责过程检验与监督。4.0作业内容4.1使用设备、工具及物料4.1.1设备&工具：50N专用法码，内六角板手一套，单面刀片，绕线专用皮带，绕线专用胶带，封箱胶布(修跳线用),活动板手,一字、十字螺丝刀,装卸线匝专用扳手,装卸硅棒和线匝专用升降车,剪刀，（电烙铁，焊线，焊锡膏），插板，无尘纸，铲刀，工件小推车，装过滤网小推车，铜丝刷，过滤网，塑料杯（２．５升），充电电筒,喷壶，丙酮，300～600㎜钢尺，125*200㎜直角尺。4.1.2PV800S4.1.3劳保用品（手套，工作服,劳保鞋，耳塞、袖套、护目镜等）4.1.4.2辅料4.2.1.切割液，碳化硅，切割线.4.3作业流程与要求4.未切透未切透检查机器准备工作并起动布织线网并起动装棒对刀并起动设置切割零点并起动热机检查线网并起动检查工艺参数自动切割并起动表单填写切割结束检查继续切割并起动卸片检查砂帘4.3.2作业流程4.3.2.1开机检查1)开通水.电.气(冷冻水.纯水.压缩空气),空调.排风电机.等公用系统,一般此系统为设备管理部负责。2)检查主辊，导轮是否清洁，有无大的颗粒，沟槽是否磨损异常。所有导轮（滑轮）磨损程度转动是否灵活，需确认导轮的漕沟，如属不良品则改用未使用的漕沟，或者请予以更换新的导轮,导轮(滑轮)中心正常情况是否呈V形,底部严重向两侧偏移或同时向两侧偏移为不合格品,需更换.3)将主电源开关设置为ON4)电源键开关打开5)准备运行按键6)紧急停止按键7)检查压缩空气的压力范围是否是0.4Map。0.4Map0.4Map8)排气油压3.5兆帕3.5Map3.5Map9)冷热交换器冷却水的温度是否在9-12度。10)主轴冷却水流量是否达到要求。4.3.3准备工作4.3.3.1清洁：清理废片盒破碎硅片及其它杂物。（第一次开机不用清洗）;将绕线室清理干净,将导轮(滑轮)按要求安装在相应位置上;导轮槽沟中是否有硬颗粒(干砂浆),如果有必需清理干净.以防钢丝在运动时带入切割室引起跳线。4.3.3.2确认导轮槽距后,在主画面中点击自动运行准备画面中，进入自动运行准备画后点击设定主轴直径，确认主轴直径无误。4.3.4线匝安装4.3.4.1绕线前,使用手动升降器安装左线轴（放线）在组装线轴时，将安装的台面使用清洁的碎布(无尘纸)将表面擦拭干净。事先需确认线轴筒卷绕的钢丝方向是否正确(上图箭头标记)，确认线轴筒的正反两侧是否正确之后，将线筒装上。线匝安装在主轴上必需将卡口对正,然后插入定位销,固定螺丝在完全拧紧后，弹簧线轴筒的固定螺栓弹簧线轴筒的固定螺栓4.3.4.2线匝安装注意事项:线匝安装过程中,线匝必需轻拿轻放,严禁受到外力碰撞(易使线匝变形)，工字线筒的内壁是否有毛刺或其它粘附在内壁上的异物；如果有不平的毛刺或异物则用油石或1500#砂纸磨平。4.3.4.3依次从R1至R6的顺序绕过导轮进入切割室内。R4R5R6R4R5R6R3R3R2R2R1R14.3.5布织线网4.3.5.1将放线盘外包装打开,将钢丝从右线轴通过导向辊（滑轮），主轴2后用强力吸铁石予以临时固定4.3.5.2使用胶带布由主辊边上离开约五厘米将一与二的主辊绕上两圈捆住（在卷绕胶带布时，请将粘接的一面朝外卷绕）。4.3.5.3屏蔽接地报警，主轴接地，左侧接地，右侧接地后；用10cm的胶条卷成圆筒状（粘胶表朝外），，再与上面第（4）依次从L1至L9的顺序绕过导轮进入切割室内的线头，卷绕在主辊的胶带布相粘接，接着另外使用其他胶带粘贴固定。4.3.5.4屏蔽接地报警，主轴接地；左侧接地；右侧接地后进出线中的导轮（滑轮）漕沟位置与主辊右端漕沟位置需对准，并调整导轮（滑轮）的位置。4.3.5.5屏蔽接地报警，主轴接地；左侧接地；右侧接地后放线盘安装后,用同样方法将收线盘安装好,在主画面中点击自动运行准备画面中，进入“自动运行准备”画后点击设定安装钢丝,通过测量左右卷筒直径，并输入相关直径及储线量数据，设定左右横动杆的原点及前进端和后退端的反转位置。4.3.5.6屏蔽接地报警，主轴接地；左侧接地；右侧接地后在安装钢线画面中，设定手动左侧卷曲张力为15N,按下左侧连动接通键，确认导向辊（张力）手臂有否保持在垂直的位置左侧张力显示范区15N，摁住「>」键钮，钢线速度设定到10M/MIN,进行旋转，钢丝则向着正方向缓慢进行绕线，此时使用刀片等，将钢丝以主辊2右端的漕沟起依次换序卡入进去。（注意使用钢尺测量两主导轮（主辊）的第一根钢线离导轮的边沿的距离一致）。4.3.5.7屏蔽接地报警，主轴接地；左侧接地；右侧接地后通过让线网在导轮带动下运动,分别将第一根线固定在两个导轮同一槽内,通过正反方向变化,不停的将第二.三…根线固定在两个导轮同一槽内,当线网宽度达到15-20㎜时,用专用胶带粘住线网,并将线头剪断,并清理好多余线网,松开皮带,在手动状态下,让线网按要求一直绕到所需尺寸（要求布线过程中无跳线，无重线）。4.3.5.8确定线网宽度后，用丙酮润湿胶带并撕掉,将粘在线网上残留胶水清理干净,防止胶水带入线网,并将线头经过导轮。4.3.5.9确认钢线经过主辊的最后一个线槽，再以R8至R1的顺序到收线轮。并把线头固定在收线盘上，在收线盘绕几圈把线头压住。L4L4L5L3L5L3L1L1L6L6L2L24.3.5.10线网绕好后,开启接地报警，开启右侧张力。按下右侧连动接通键，确认导向辊（张力）手臂有否保持在垂直的位置右侧张力。4.3.5.11在手动状态下收线,观察左右线匝的前后移动位置是否正确,如有偏差,可根据偏差数据在横动杆位置画面安装钢丝画面下，设置左右横动杆前后限位，来达到微调目的。4.3.5.12屏蔽起动条件的异常项目，（但主轴接地，左右侧接地，气压过低，冷却单元，不能屏蔽）选择正确的程序号和图表号4.3.5.13起动自动运转：自动运转的起动中，按钮灯点亮。4.3.5.14自运收线6KM4.3.6准备砂浆4.3.6.1将配好的砂浆打入砂浆缸,打入量在400升4.3.6.2进入手动运行画面，进入泵单独操作画面，设置温度调节目标温度和目标流量，确认冷却器的电源为开状态，检查浆料密度，粘度是否达到工艺要求，将预滤网放在砂浆喷管歧管下面，为过滤砂浆作准备，按温度调节键，喷出浆料，并让浆料循环30分钟后，再点击温度调节键，停止循环，取出预滤网，清理预滤网上的污垢，检查砂帘分布是否均习，并调节砂浆喷嘴，若有异常即时清理砂浆喷嘴。4.3.7装棒对刀4.3.7.1粘棒房选取硅棒时，需检查工件夹具螺丝的锁紧状态，托板上的硅块与玻璃平行，并处于中间位置；确定硅块粘胶面附看近无不干净的胶迹（若有问题，需立即用酒精使用无尘纸清理干静）；4.3.7.2清洁工件夹紧部位，通过工件小车将装有硅棒的晶托插入到工件导轨里，并按进线口一头硅棒横切面对齐，按中央，内侧，外侧顺序用扭矩扳手，将所有螺丝拧紧，并确认，确认工件长度，硅棒安装好后,确认硅棒长度是否在线网的宽度之内。4.3.7.3零位设置1）进入自动运行准备菜单的进刀主轴设定画面。2)按住「▼」键钮（低速），下降进刀装置。3)进刀装置在工件下端钢丝排列位置停下。4)点击「复位」键钮，设置原点。5)按住「▲」键钮（低速），将进刀装置开始加工位置上升到离开一毫米的位置。6)编写切割日志。4.3.7.4检查各项切割条件1）各项警报参数是否设置是否正确。2）选用的程序号和图表号是否正确，本次所切割的程序参数是否正确。加工时间是否复位。3）砂浆管有无上紧，砂浆流量是否符合要求，有无断帘现象，砂浆温度是否在到25摄氏度。4）进给工作台的零点是否设置，并是否上升1-1.5毫米。5）左右工字轮的储线数据是否正确。用线量是否足够。6）电极杆是否安装，并设置正确。7）砂浆密度和粘度是否正常。8）屏蔽项目是否符合要求：除防护罩，工件锁紧为黄色外其它所有项目都为灰色。9）冷却系统是否达到要求。10）钢线的切割方向是否正确，是用的单向还是双向，钢线是否在应该导轮槽内及导轮，主辊使用的时间是否达到预设时间。11）所有参数检查好后,将所有罩盖,门关闭4.3.84.3.8.1进入自动起动条件画面，点击“预热运行”4.3.8.2按“全自动启动”4.3.9检查线网：4.3.104.3.10.1再次检查菜单功能,无异常后,关闭安全门罩,确认切割的各种参数均OK后，按下启动按钮（AUTOSTART）4.3.10.2自动切割运行过程中,主操手必需经常对设备进行跟踪,观察线弓情况，硅棒里有无其它杂质注意自动收放线筒绕线情况，需调节横动杆的反转位置，4.3.11表单填写：4.3.124.3.12.14.3.12.24.3.134.3.13.1.关闭“温度调节”4.3.13.2按“低速”上升键慢速上升。同时用手电筒照向线网，看有无个别钢线被破碎的硅片勾住。如果有则马上停止上升工作台，把钢线拨下来后再继续上升工作台。升至20毫米处按“高速”上升键开始上升，升至120毫米处再以低速上升。把硅片升离线网后再以高速上升直至工作台最高位置。4.3.13.3用扭矩扳手松掉螺丝4.3.13.4推硅片小车转动横切片用手轮，将工件托架的臂移动使之位置和工件板的位置两边相平行，上下相距1厘米的位置。拔掉工件托架臂部用制动器销。4.3.13.5在确认工件托架臂部和工件等没有互相干涉的同时，缓慢地前进，前进的同时不能推歪斜。4.3.13.6使工件升降机稍微上升，使工件板完全装载到升降机上后才可以拉出硅片。4.3.13.7将工件板移动到升降机旁(近前侧)工件板，放入固定臂部用的制动器销。4.3.13.8使工件升降机后退。4.3.13.