SOP-112一厂单晶炉热场安装作业指导书_第1页
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浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶作业工序名称热场安装页码第1页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年12月1日一、目的规范长晶用热系统的安装，使得热系统的安装受控。二、范围一厂JRDL/800单晶炉 三、准备的材料无尘纸、不锈钢小车、力矩扳手、手电筒、石墨纸、直角尺、工作服、帆布手套、防尘口罩、酒精序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项1热场移至炉台边用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉左侧边。平行炉台距离50cm不锈钢小车、防尘口罩、帆布手套2安装炉底碳毡，压片，保温桶，电极，护套依次装好石墨电极→炉底碳毡→炉底下压片→上压片下之间碳毡→炉底上压片→电极护套→石英护套下保温罩→两侧排气管→埚杆护套→。严格按次序，保温筒卡口到位3装石墨纸石墨电极上下接触面放置一层石墨纸。检查接触面平整，防止打火石墨纸4对排气孔将排气管与下炉筒两边排气孔对正用手电筒或观察窗玻璃校正排气孔排气管入槽手电筒批准审核编制修改履历浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶作业工序名称热场安装页码第2页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年12月1日序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项5安装加热器将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝石墨螺丝松紧适度，防止打火加热器力矩扳手6安装中保温桶将清理后的中保温筒装好，卡口到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致测量四周间距差值≤2mm直角尺7降炉筒打开液压泵，升起炉筒至上限，清洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。炉筒定位环与导柱同轴无尘纸8校对测温孔下降炉筒降到位后，校对测温孔前后炉次欧陆数值在同一工序不得相差200点手电筒9安装热电锥安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。热电锥螺丝松紧适度，连接线接触良好，欧陆信号正常备注：浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅片工序长晶作业工序名称热场安装页码第3页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年12月1日序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项10安装上保温桶将清理后的上保温罩装好，并卡口接到位。四周入槽，测量盖距为190mm--205mm11安装托杆.用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝检查托杆不晃动托杆扳手托杆不要拧太紧，防止螺丝滑丝12检查埚转及埚升降打开并检查埚转及埚快速升降显示值与实际值一致，无卡滞现象13安装埚托，三瓣埚依次装好埚托、三瓣埚。确认埚杆、埚底、三瓣

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