英寸芯片厂房组成

电子动力支持系统培训课程6英寸芯片厂总体构成平面布置图电子动力支持系统培训课程总效果图电子动力支持系统培训课程预留厂房36英寸生产厂房1动力站〔二〕4动力站〔一〕2综合楼9气站8化学品库7化学品库6倒班宿舍13倒班宿舍12倒班宿舍11倒班宿舍10变电站5研发楼14总平面图电子动力支持系统培训课程电子动力支持系统培训课程电子动力支持系统培训课程6英寸芯片生产厂房的组成电子动力支持系统培训课程六英寸生产厂房设计概述

该厂房采取两层结构形式，一层核心区为回风夹层，局部工艺设备所需的机械泵可置于回风夹层内。一层北侧边跨布置有废液回收间、气体纯化间、溶剂存放间、氧化物存放间、酸存放间、化学品控制间、气体控制间、真空泵间、等工艺辅助房间。一层西侧边跨布置纯水抛光及工艺冷却水制备间、原材料存放间。工作人员经一层南侧边跨换鞋、一次更衣，从楼梯上到二层，经二次更衣后吹淋进入洁净房间。二层工艺设备区为芯片加工电子动力支持系统培训课程车间，位于二层防微振平台上，楼板结构为华夫板，华夫板上安装隔栅地板以满足回风要求，生产设备层的吊顶上有净化送风系统以满足工艺净化要求。二层西侧边跨为维修间、晶片检测间、炉管清洗间、部件清洗间、研磨间以及成品存放间。二层北侧边跨为变配电间。三层南侧边跨为办公室、会议室及质量控制间，三层西侧和北侧边跨为空调机房。

电子动力支持系统培训课程六英寸芯片厂房的系统组成生产系统支持系统空调净化系统动力支撑系统〔1、2〕平安系统消防系统管理效劳系统电子动力支持系统培训课程六英寸芯片生产系统的组成返回芯片加工系统芯片中间测试、芯片成品测试生产线技术管理生产线设备维修原材料半成品成品存放洁净工作服清洗冷却塔工业水回流抑止器中央冷冻装置中央锅炉工艺冷却水清洁干燥空气工艺真空吹扫真空特殊气体大宗气体纯化装置大宗气体储存自来水超纯水酸性药液存储与分配有机药液存储与分配新风制备热排风有机排风酸性洗涤排风有机药液回收槽酸性药液集中回收槽工业废物处理生活污水管运离运离6英寸生产厂房六英寸生产厂房支持系统构成返回六英寸生产厂房支持系统构成剖面图返回电子动力支持系统培训课程华夫板Waffleboard电子动力支持系统培训课程华夫板施工现场

空调净化系统空气处理系统〔空调、净化〕空调新风处理系统空调循环风处理系统空调蒸汽〔热水〕供给系统通风/降温系统真空清扫系统动力支撑系统〔一〕给水排水 生产、生活、消防联合供水系统、纯水制备供给系统、工艺设备循环冷却水供给系统、换热系统、动力设备循环冷却水系统、排水系统〔雨水、生活污水、生产废水〕。气体动力工艺气体〔氮气、氢气、氧气等〕输送系统、工艺压缩空气制备及输送系统、工艺真空系统、冷冻水制备系统、热水(蒸气)制备与供给系统、天然气供给系统。返回电气系统 110KV〔10KV〕配变电站、10KV终端配变电站、 应急发电机和UPS系统、 配电系统、照明系统、 动力设备控制系统、 通信、数据传输、 报警系统〔火灾报警与消防联动控制〕、保安系统、应急播送、监视电视系统、通道管理系统、 动力设备维修动力支撑系统〔二〕返回平安系统有害气体和废热排除及处理系统新风补给系统防静电设施、平安接地系统防噪声设施化学品防护措施〔紧急喷淋及冲眼器〕氢气管道泄露探测和报警有毒〔害〕气体泄露探测和报警防雷接地系统、应急照明和疏散指示、事故排风、盥洗和饮水、妇女卫生和职工医疗返回

消防系统建筑物防火措施火灾报警系统室内消火栓灭火系统室内自动喷水灭火消防系统室外消火栓灭火系统洁净室内防排烟系统声光应急疏散指示、消防系统返回管理效劳系统生产厂管理设施办公、会议、档案等效劳设施 餐厅、更衣室、卫生间、门卫保安返回

净化系统包所含内容MAU〔新风处理〕系统吊顶系统〔包括FFU、照明、喷洒、烟感探头、播送、铝合金框架等〕架空地板系统壁板、顶板、门FAB、SUBFAB中的COATING风淋室排风系统