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SOISOI（SiliconOnInsulator）结构纳米生物传感器，对其制备、研究以及应用进行了探讨。SOI结构的研制为纳米生物传感器的制备提供了有利条件。SOI结构纳米生物传感器具有高灵敏度、高特异性、快SOI（SiliconOnInsulator）是一种三层结构的硅片，由顶层的晶体硅（ActiveLayer）、底层的衬底硅（SubstrateLayer）、中间的绝缘层（BuriedOxideLayer）组成。SOI70年代开始发展，与普通CMOS技术相比，具有更好的电学特性、更少的电芯层互影以及更高的可靠性等优点。SOI结构纳米生物传感器是利用SOI结构作为载体，通过修饰其表面生物分子，用于检测生物分子的浓度、结构、性质等信息的一种生物传感器。I结构对于制备纳米生物传感器来说具有非常重要的意义。二、SOISOISOI结构的制备相对于传统硅片有一些特殊之处。SOI结构采用双Czochralski法或分子束外延法（MBE）等方法，将一层硅晶体生长在绝缘层表面上，即在绝缘层的较低温度（400～600℃）下生长。SOI结构SOISOISOISOI结构具有良好的电学特性和机械性能，因此在生物医学、化学三、SOISOI结构纳米生物传感器是一种新的生物传感器，其制备方法主要SOISOICzochralski法SOISOI结构表面处理方法是将表面修饰成一种特殊的化学物质，可以加强SOI结构与待检测的生物分子的结合力和透过的能力。表面处理方四、SOISOIDNA、RNA、物分子的检测固定在SOI结构的表面，当待检测的生物分子与修饰的SOI结构表面的生物分子相互作用时，会产生一定的物理或化学变化，从SOI结构纳米生物传感器还可以应用于药物筛选、食品安全检测、环境监测等领域。例如，SOI结构纳米生物传感器可以用于检测污染物、I结构纳米生物传感器，探讨了其制备方法和应用，揭II结构纳米生物传感器的研

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