石英玻璃：简介

石英玻璃石英玻璃管二氧化硅单一组分的玻璃。这种玻璃硬度大可达莫氏七级，具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定学和电绝缘性能良好，并能透过紫外线和红外线。除氢氟酸、热磷酸外，对一般酸有较好的耐酸性。按透明度分为透明和不透明两大类。按纯度分为高纯、普通和掺杂三类。用水晶，硅石，硅化物为原料,经高温熔化或化学气相沉积而成。熔制方法有电熔法、气炼法等。目录基本概述纯度失透性化学学能离子扩散及诱气性电学学能光学学能热学学能石英玻璃基本概述简介夕卜文名称：quartzglass；silicaglass；fusedquartz；fusedsilica；vycorglasses形成用途石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作 半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐饨的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业，应用十分广泛。 高纯石英玻璃可制光导纤维。 随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等等。定义石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的 特种玻璃。由于种类、工艺、原料石英玻璃的不同，国外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、 熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。我国统称石英玻璃，多按工艺方法、用途及外观来分类，如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻璃等。人们习惯于用“石英”这样一个简单的词汇来命名这种材料，这是绝对不妥的，因为“石英”是二氧化硅结晶态的一种通称，它与玻璃态二氧化硅在理化性质上是有区别的。化学性质石英玻璃具有极低的热膨胀系数，高的耐温性，极好的化学稳定性，优良的电绝缘性，低而稳定的超声延迟性能，最佳的透紫外光谱性能以及透可见光及近红外光谱性能，并有着高于普通玻璃的机械性能。因此它是近代尖端技术中空间技术、原子能工业、国防装备、自动化系统，以及半导体、冶金、化工、 电光源、通讯、轻工、建材等工业中不可缺少的优良材料之一。 石英玻璃是用天然结晶石英（水晶或纯的硅石），或合成硅烷经高温熔制而成石英玻璃。熔融后的产品具有极好的加工性能，在其高的粘度范围内，可以将管和棒进行有如普通玻璃细工一样的热加工，还可以用金刚石或 碳化硅制成的磨具进行高速机械加工，从而制成各种复杂形状的仪器和特种制品。石英玻璃的性能主要取决于它的纯度，其次是工艺过程或热工制度。微量杂质的存在将给石英玻璃的使用性能带来重大的影响；同时由于工艺过程或热工制度的稍有疏忽，将给外观质量带来多种多样的缺陷，产生大量的废次产品。纯度概述纯度是石英玻璃的重要指标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温石英玻璃强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、 耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给 半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在 ppb数量级以下，因此石英玻璃则应控制在 PPm数量级以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,最难除掉，是最有害的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命，K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的有害杂质。本公司为半导体工业服务已有 40余年的历史，并始终致力于去除上述有害杂质的研制工作。详细表1石英玻璃的化学纯度 名称单位X10-4%AlFeCaMgTiCuMnNiPbSnCrBKNaLiOH 电熔石英玻璃 322.01.51.52.080.20.270.20.2<0.3<0.30.22.125.31<0.35 气炼石英玻璃 160.921.50.41.00.010.05<0.3<0.3<0.3<0.30.21.491.67<0.3400电弧石英玻璃10.40.30.60.31.350.05<0.05<0.3<0.03<0.03<0.03<0.10.71.01.027 合成高纯石英玻璃 0.370.310.270.040.030.030.01<0.03<0.03<0.03<0.030.020.50.5<0.031200 红外光学石英玻璃351.452.681.321.060.220.07<0.03<0.03<0.03<0.030.32.23<0.35紫外光学石英玻璃 3.90.43.51.20.450.10.020.060.040.020.030.10.51.50.051200 不透明石英玻璃 567.415.31.571.50.20.1失透性去透（又叫析晶性）是石英玻璃的一个固有缺陷，从 热力学观点看，石英玻璃石英玻璃的内能高于结晶态方石英，属热力学上不稳定的亚稳态，当温度高于1000°C时，SiO2分子振动加速，经一段较长时间的重新排列、定向便形成 结血。失透性是以晶核成长速度来表示的，不透明石英玻璃在1520C、透明石英玻璃在1620°。析晶速度分别达到最大值。 析晶主要出现在表面，其次是内部缺陷处，原因是这些地方容易沾污，引起杂质离子的局部集聚，特别是碱离子（如 K、Na、Li、Ca、Mg等）进入网络后引起粘度降低，促使失透加速。 由于石英玻璃的热膨胀系数和比重同析晶产物 P-方石英相近，所以在高温下连续使用时，尽管析晶区不断扩大，但体积变化并不明显，仍可满意地继续使用，此时尚可减轻玻璃的塑性变形，使耐火度提高。当析晶产物冷却到800C时，则出现细小的龟裂网络。继续冷却到 200-275C时，则出现方石英从高温型到低温型（即P-方石英一a-方石英）的结构变化，并伴随着发生体积聚变，如果析晶层很深，则石英玻璃亦随之破裂。由于析晶常常出现在有杂质的地方，所以高温使用前的表面状态及周围耐火材料、气氛十分重要。有关使用石英玻璃时注意事项后面还要介绍。化学性能石英玻璃属酸性材料，除氢氟酸和热磷酸外，对其它任何酸均表现为 惰性，是最好的耐酸材料。在常温下碱和盐对石英玻璃的腐蚀程度也是极微的，因此不排除在这些试剂中使用石英玻璃。 透明石英玻璃比不透明石英玻璃具有更好的化学稳定性，这是因为后者由于气泡的存在暴露在腐蚀液中的表面积增加所致。 表2各种溶液侵蚀石英玻璃的重量损耗 溶液名称浓度（比重）温度（C）浸蚀时间（小时）重量损耗（克/米2）透明石英玻璃不透明石英玻璃 盐酸1.1960240.0340.16硝酸1.40115240.110.15硫酸1.84205240.060.13氢氟酸38%室温（22C）2259.39379.80 磷酸20015微量3001558.00氢氧化钠1%10120.805.15 氢氧化钾1%9820.684.63 氢氧化铵25%6520.090.33氯化钠10%10220.140.34碳酸钠10%10221.204.99离子扩散及透气性石英玻璃的结构十分松弛，甚至在高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散，其中以钠离子的扩散为最快。石英玻璃的这一性能对于使用者尤为重要，例如，半导体工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时，由于半导体材料要求很高的纯度，所以要求与石英玻璃接触的作为炉衬的耐火材料必须预先经过高温和清洁处理，除掉锂、钠等碱性杂质，然后才能放入石英玻璃内使用。各种 离子在石英玻璃中的扩散系数见表3表3各种离子在石英玻璃中的扩散系数 透明石英玻璃合成石英玻璃Na+2x10-45x10-5 Ca2+2x10-8 Al3+<10-12<10-12 Ag+10-510-7注： 1.在1100。。下的扩散系数 2.单位：厘米2/秒 在常温下，可以认为石英玻璃是不透气的，在高温（例如700°C）下，某些气体的透气常数也很小。因此可以用在高温高真空装备中。石英玻璃的透气常数及用石英玻璃作容器连续抽真空所的最高真空度见表4、表5. 表4石英玻璃容器连续抽真空所获得的最高真空度（实验条件）种类真空度（毫米汞柱）及温度（C） 20900透明石英玻璃3.7x10-67.0x10-6 不透明石英玻璃1x10-57.4x10-6 表5石英玻璃的透气常数K气体透气常数K200C400C600C700C800C900C1000C 氦1.396.1516.421.928.536.245.4氢0.0220.371.432.524.256.4010.00氘（重氢）17氖2.84.2氩<10-15氧<10-15氮<10-15单位：x10-10厘米毫米/秒.厘米2乇（在标准压力下）电学性能表6石英玻璃的电性能 性能名称电性能指标及种类 透明石英玻璃不透明石英玻璃 耐击穿电压（仟伏/毫米）室温>30>16 500C117.6介电常数（106赫）£=3.7 £=3.5介电损耗tg5（50周/秒）0.00030.001 电阻（欧姆.厘米）20C1x10191x1015 500C3x1081x107 1000C1x1063x104石英玻璃具有很高的介电强度和极低的导电率，即是在高温、高压和高频下，仍能保持很高的介电强度和电阻，在所应用的频带内几乎没有介电损耗，因此石英玻璃是优良的高温介电绝缘材料。光学性能石英玻璃的光学性能有其独到之处，它既可以透过远紫外光谱，是所有透紫外材

料最优者，又可透过可见光和近红外光谱。用户可以根据需要，从 185-3500mg波段范围内任意选择所需品种。由于石英玻璃耐高温，热膨胀系数极小，化学热稳定性好，气泡、条纹、均匀性、双折射又可与一般光学玻璃媲美，所以它是在各种恶劣场合下工作具有高稳定度光学系统的必不可少的光学材料。 石英玻璃的结构，杂质含量，OH基因及NO、CO等含量是影响光谱透过率的主要因素，氧原子结合不良在0.2却处则有吸收峰，含有OH基团的石英玻璃，在2.7g处由于分子振动将产生明显的吸收峰，紫外透过率低主要是由于金属杂质多造成原子吸收光谱所致。石英玻璃的光谱特性曲线 电熔石英玻璃是很好的透红外材料，但由于杂质的存在，紫外透过率低。氢氧焰熔制水晶所获得的石英玻璃，由于氧结构缺陷，在 0.24g处有吸收峰，同时含有OH基团，所以红外透过极低。用合成原料气炼的高纯光学石英玻璃是最好的透紫外材料，但在2.7g处有严重的OH吸收峰。只有用合成原料通过电熔或无氢火焰熔融而成的光学石英玻璃，才能很好地透过从远紫外到近红外的 连续光谱。石英玻璃的折射室及光学常数见表7、表8. 表7光学石英玻璃的折射率（之一）波

长（毫微米）水晶熔制石英玻璃合成石英玻璃1.56071- 202.541.547291.54717 206.201.542691.54266185.411.57464193.53213.85-1.53434214.451.53385-226.501.523181.52299232.941.51834-237.83-1.51473248.20-1.50841250.201.50762-257.621.503971.50351265.36-1.49994274.871.49634-280.35-1.49403289.36-1.49098298.061.488591.48837307.59-1.48575313.17-1.48433328.361.48183334.15-1.47976340.361.478771.47860346.691.477661.47748361.171.475131.47503365.48-1.47448398.841.47028-404.65-1.46961435.831.466791.46669486.131.463241.46314546.07656.271.45646(之二)1.460211.460071.45637注：测量误差：波长从微米）折射率波长1.4469800.681.4558181.401.445845表7从微米）折射率0.691.455579±3x10-5587.561.458571.45847长（毫微米）水晶熔制石英玻璃合成石英玻璃1.56071- 202.541.547291.54717 206.201.542691.54266185.411.57464193.53213.85-1.53434214.451.53385-226.501.523181.52299232.941.51834-237.83-1.51473248.20-1.50841250.201.50762-257.621.503971.50351265.36-1.49994274.871.49634-280.35-1.49403289.36-1.49098298.061.488591.48837307.59-1.48575313.17-1.48433328.361.48183334.15-1.47976340.361.478771.47860346.691.477661.47748361.171.475131.47503365.48-1.47448398.841.47028-404.65-1.46961435.831.466791.46669486.131.463241.46314546.07656.271.45646(之二)1.460211.460071.45637注：测量误差：波长从微米）折射率波长1.4469800.681.4558181.401.445845表7从微米）折射率0.691.455579±3x10-5587.561.458571.45847'光学石英玻璃的折射率1.300.671.4560661.501.4446870.701.4553471.601.4434920.801.4533711.701.4422500.901.4518081.801.4409541.001.4504731.901.4399571.101.4402612.001.4381741.201.4481102.101.4366802.201.4351112.901.4216842.301.4334623.001.419372.401.4317303.101.416942.501.4299113.201.414402.603.301.411731.428001表8石英玻璃的光学常数璃Nd(He587.56mg)Nc(H656.27mg)1.456461.45637色散：Nf-Nc0.006780.006772.701.4259953.40指标及品种1.4587项目1.458571.40893 2.801.4238913.501.40601水晶熔制石英玻璃合成石英玻Nf(H486.13mg) 1.463241.46314中部色散系数V=(Nd-1)/(Nf-Nc)67.667.7基本资料石英玻璃的热膨胀系数小，为5.5x10-7/C,只有普通玻璃的1/12〜1/20.部标准规定将试样灼烧到1200。。后急速投到冷水中，反复三次以上不允许炸裂。石英玻璃加入适量钛元素后还可做成零膨胀系数的材料，在激光技术、天文和尖端技术中已得到应用。详细信息透明石英玻璃的膨胀系数是温度的函数： a0,t=1/L0x（Lt-L0）/t式中：L0=温度0C时的长度Lt=温度tC时的长度t=摄氏温度 石英玻璃的粘度，导热率、比热及使用温度等见表9,10,11,12,13. 表9石英玻璃的粘度（应变点、退火点、软化粘度（Ign,泊）水晶石英玻璃 合成石英玻璃 应变点14.5退火点13.01140C±251120C±25点)与温度的关系1075°C±251025°C±251600C±40系数0.003310.004470.00534热-1000.112点)与温度的关系1075°C±251025°C±251600C±40系数0.003310.004470.00534热-1000.112-0.2200.218温度（C）导热系数卡/厘米.秒.C透明石英玻璃0.002970.004531000温度（C比热（卡/克.C）00.168- 201000.003670.00345 2000.003940.00386 1000.003670.00345 2000.003940.00386 :500-- 6000.004840.00503 700--0.005470.00550 12000.005810.00569表11透明石英玻璃不透明石英玻璃0.2130.205 100-- 2000.2135000.2240.237 6000.2400.242软化点7.61730C±40表10石英玻璃的导热不透明石英玻璃 20300-- 4008000.00514石英玻璃的比-2500.007-，0.205 3007000.2500.247 8000.260- 10000.273- 1200--表12石英玻璃的使用温度使用状况最大连续工作温度最大短期工作温度水晶熔制石英玻璃1100°C1300C 合成石英玻璃950C1200C 不透明石英玻璃 800C1000C表13石英玻璃与其它材料热膨胀值的比较（1米长试样的膨胀值） 材料0〜500C（mm）0〜1000C（mm）热膨胀值的比较（0〜500C,倍） 石英玻璃0.270.481硬质玻璃1.8-6.7平板玻璃5.0-18.3 高铝砖4.07.914.8碳化硅材料2.34.58.5铜9.0-31.5炭素钢7.014.925.9机械性能简介石英玻璃的机械性能比硬质玻璃和陶瓷都好，唯脆性较差。石英玻璃的理论计算强度很高，约为24x103MPa，但实际测得的强度要比这个数值低数十倍。影响强度的主要因素首先是玻璃的表面缺陷，特别是表面微裂纹的大小及深度影响最为明显，细磨的石英玻璃试样比粗磨的试样，其抗折强度约增加 0.6倍；其次是内在缺陷，例如，气泡、杂质、熔化不均以及残余应力等。 石英玻璃的强度随着温度的升高而增加，接近退火温度时达到最大值。 石英玻璃的剪切模量、杨氏模量、阻尼、泊松比破坏模量一般均随着温度的升高而增加，硬度则随着温度的升高而降低。详细信息表14石英玻璃管的破坏压力 透明石英玻璃管不透明石英玻璃管管内径mm壁厚mm破坏压力千克/厘米2管内径mm壁厚mm破坏压力千克/厘米240.583152.515 51.0150579.010 72.02208011.013 81.010020013.07 92.019037014.03 101.070表15石英玻璃的物理机械性能性能单位机械性能 名称透明石英玻璃不透明石英玻璃密度克/厘米32.212.06-2.184硬度莫氏5-75-6抗压强度Mpa800-1000413.4-813.0抗折强度Mpa60-7040-60抗拉强度Mpa4935 抗冲击强度公斤.厘米/厘米21.080.85弹性模量 （杨氏模量） 20CGpa77.872.5 50CGpa82.076.0900CGpa85.078.3 泊桑比:20C0.17 刚性率： 20CGpa34.131.0 500CGpa35.834.3 900CGpa36.935.3 纵波声速米/秒5.72x103 超声速度:纵米/秒5.95x103横米/秒3.76x103超声阻尼：纵克/厘米2.秒10.09横克/厘米2.秒8.27使用须知1.石英玻璃制品是贵重的材料，使用时必须轻拿轻放，十分小心； 2.各种石英玻璃都有一个最高使用温度，使用时不应超过此温度，否则会析晶或软化变形；需高温使用的石英玻璃，使用前必须擦拭干净。可以用10%的氢氟酸或洗液浸泡，然后用高纯水清洗或酒精处理。操作时应戴细线手套，不允许用手直接触及石英玻璃；高温下允许连续使用石英玻璃制品，这对延长石英玻璃的寿命和提高耐温性能是有好处的。反之，高温下间歇使用石英玻璃制品，其使用次数是有限的； 5.石英玻璃材质虽具有极高的热稳定性，可以经受剧烈的温差骤变。但实际使用时，由于残余应变和产品形状不同，热稳定性有一定的差别，使用时应加以注意； 6.石英玻璃系酸性材料，高温使用时严格避免同碱性物质（如 水玻璃、石棉、钾钠的化合物等）接触，否则将大大降低其抗结晶性能。■*/Tr_—一11r!@墨.目姓独-M石英玻璃封面图书信息书名：《石英玻璃》[1]市场价：¥29元作者：王玉芬刘连城出版社：化学工业出版社 上市日期：2007年1月开本：16开页数：184页ISBN编号：978-7-5025-9751-1内容简介由于具有一系列优越性能，石英玻璃被广泛用于光源、电子、光通讯、仪表、激光、航天、核技术和国防等领域。本书重点介绍石英玻璃的品种、原材料、制备与加工处理工艺、性能及应用。详细介绍了不同的天然、合成原料的加工工艺；电熔、气炼、合成、等离子、掺杂石英玻璃的不同熔制工艺； 石英制品的热加工、冷加工及热处理方法；电弧法生产石英坩埚技术；石英玻璃纤维及石英玻璃棉生产技术；石英玻璃各种性能与测试方法及其在不同领域中的应用。读者对象本书可供石英及相关行业生产、科研人员以及大专院校有关师生阅读。前言石英玻璃是应用日益广泛的高新技术材料，如半导体工业用石英玻璃坩埚、新型电光源用石英玻璃玻壳、光通讯用石英光导纤维、宇航工业用耐辐照石英玻璃、高温环境下用耐高温低膨胀石英玻璃等。 石英玻璃已成为近代科学技术和现代工业不可或缺的重要材料。新材料领域的专家们把石英玻璃称为“玻璃王”，无论从制造的高指标或工艺的复杂性，还是从其应用场合的技术难度和“挑剔”要求来看，石英玻璃堪称玻璃材料的“皇冠”。石英玻璃技术是近半个世纪随着电子工业、光通讯技术和宇航技术的进步而发展起来的，现在已经成为高新技术材料的一个新学科领域。 中国建筑材料科学研究总院石英与特种玻璃研究所在石英玻璃科学、制造工艺、应用技术等专业方向进行了三十余年的研究开发，为我国的工业现代化提供了该专业的技术和材料，石英玻璃的电熔工艺、气炼工艺、化学气相沉积工艺和等离子化学气相沉积工艺都在这里诞生。 石英玻璃制造业界的人士和石英玻璃使用者一直希望能有一本专著作为技术工具，我们应这个要求，集多年的积累编写了此书，愿能够对业内技术人员有所裨益。参加本书编写的还有王友军、 苏英、向在奎、隋梅、欧阳葆华、吕艳萍、蔡承悌、金小宁、常宝茹、邓家贵。书中许多内容涉及学科前沿，由于作者水平所限，难免有不当之处，盼望读者的批评指正。 王玉芬2006年11月15日于北京管庄目录第1章概述1.1石英玻璃的品种1.2石英玻璃的性能1.2.1力学性能1.2.2热学性能1.2.3光学性能1.2.4电学性能1.2.5化学性能1.2.6耐辐照性能1.3石英玻璃的应用第2章石英玻璃用的原料 2.1天然水晶和硅石矿产资源分布2.1.1天然水晶原料的矿产资源概况 2.1.2硅石原料的矿产资源概况 2.2天然水晶和硅石的特性及用途2.2.1天然水晶和硅石的特性2.2.2天然水晶和硅石的用途2.3天然水晶和硅石中的杂质2.3.1石英晶体矿物生长过程中赋存杂质工艺过程污染的杂质 2.3.3杂质对石英玻璃质量的影响2.4天然水晶原料和硅石原料的处理工艺 2.4.1普通石英玻璃原料生产工艺 2.4.2天然水晶原料生产工艺2.4.3电光源用石英玻璃原料生产工艺2.4.4半导体用石英玻璃原料生产工艺 2.5合成石英玻璃用原料 2.6硅石原料处理部分工艺过程介绍2.6.1选矿2.6.2水淬2.6.3浮选酸洗2.6.5磁选2.7硅石原料部分提纯工艺介绍 2.7.1高温真空处理 2.7.2氯化处理 2.7.3超导选2.7.4电选2.7.5超声波处理2.7.6掺杂提纯2.7.7精馏提纯2.7.8吸附提纯2.7.9生产环境 2.7.10检验设备 2.8美国IOTA料2.8.1美国尤尼明公司的矿源2.8.2IOTA石英原料 2.8.3IOTA石英原料中的杂质IOTA石英原料的品种和质量要求2.9结束语第3章石英玻璃的溶制工艺3.1电熔工艺3.1.1真空电熔工艺3.1.2二步法熔制工艺3.1.3连续熔制工艺 3.2气炼工艺3.2.1粉料气炼直接制管或透明坩埚3.2.2 粉料气炼制砣工艺和装备 3.2.3粉料气炼热顶成型厚壁管工艺和装备 3.2.4 粉料气炼制砣再热顶成型厚壁管工艺和装备 3.3合成石英玻璃制诰工艺 3.3.1弓|言3.3.2CVD工艺3.3.3VAD合成工艺3.4高频等离子火焰熔制合成石英玻璃砣及粉料厚壁管 3.4.1高频等离子体生成原理和设备 3.4.2 立式熔制实心砣 3.4.3 卧式熔制厚壁管3.5掺杂石英玻璃3.5.1 掺杂石英玻璃的掺杂方法3.5.2掺杂石英玻璃的熔制 3.5.3掺杂石英玻璃的光谱特征 3.5.4掺杂石英玻璃的应用第4章石英玻璃深加工4.1石英玻璃热加工4.1.1灯工二次成型4.1.2扩管技术4.1.3其他仪器吹制技术4.1.4火焰抛光技术4.2石英玻璃冷加工4.2.1石英玻璃的加工性金刚石工具4.2.3加工机床与工艺4.3石英玻璃热处理均化处理 4.3.2退火处理4.3.3脱羟处理 第5章电弧法生产石英坩埚技术 5.1生产原理 5.2工艺参数的确定 5.2.1起弧电压和电流5.2.2电弧电流和电极直径5.2.3熔制时间的确定真空制度的确定5.2.5成型棒尺寸的确定5.3工艺操作要领熔制或起弧熔制前注意事项5.3.2起弧熔制过程中须做到5.4毛坯坩埚的切磨冷加工 5.5清洗包装技术5.6电弧用石墨电极的质量控制标准 5.6.1电弧电极5.6.2石墨模具5.7新技术的采用坩埚表面的碳酸钡涂层5.7.2喷涂技术5.7.3其他新技术第6章石英玻璃纤维及石英玻璃棉 6.1石英玻璃纤维的发展历史 6.2石英玻璃纤维的分类6.2.1连续石英玻璃纤维6.2.2石英玻璃棉6.3石英玻璃纤维的制备6.3.1连续石英玻璃纤维 6.3.2石英玻璃棉6.4影响石英玻璃纤维产品质量的因素 6.4.1原料6.4.2石英玻璃棒6.4.3 熔制拉丝 6.4.4浸润剂6.5石英玻璃纤维的性能6.6石英玻璃纤维的应用