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文档简介

硅片的化学腐蚀为什么要进行化学腐蚀?硅片在切片和研磨等机械加工之后,其表面因加工应力形成一层损伤层及污染.对硅片进行化学腐蚀有哪些手段?酸性腐蚀碱性腐蚀酸绵性足腐恨蚀浆的瞒原会理开是丘什享么鸭?常席用驻的逼酸应性韵腐征蚀举液档,烘通泻常旅由挑不替同容比牺率绕的亚硝扑酸短(H宽N乎O3),氢厨氟奇酸暗(H火F)缠及步缓总冲畅液鸡等芬组夏成勺,堵其债腐骑蚀斩的崖机户理泛为勿:1驻.利郊用缝硝许酸坛(H富N糟O3)身氧伐化糊硅汇片绣表挠面S拴i窝+被2鹿H粒N始O3

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