检测技术及传感器检测技术

检测技术及传感器检测技术第1页，课件共68页，创作于2023年2月第①部分

基础知识第二章检测元件与检测技术传感技术基础原理一般检测变换方法第2页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件检测元件的分类、命名和表示传感技术自然规律、基础效应检测装置信号变换方法

简单变换、差动变换、

参比变换、平衡／反馈变换第3页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件检测元件是指传感器中能直接感受（或响应）被

测量对象的部分。在完成非电量到电量的变换时，并非所有的非电

量都能利用现有手段直接转换成电量，往往是将

被测量先变换为另一种易于变成电量的非电量，

然后再转换成电量。第4页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件检测元件是仪表、检测系统的关键，决定了可测参数、被测量的可测范围、测量准确度、仪表的使用条件等。①敏感性：对被测量的敏感性②适用范围：环境温度、压力、外加电源等③测量范围：被测量不超过敏感元件规定的测量范围④输出特性：输出与被测量之间有明确的单调关系⑤其它：价格、易复制性、安全性、易安装等第5页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件特性第6页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按输入量（被测对象）分类按转换原理分类按输出信号的形式分类按输入和输出的特性分类按能量转换的方式分类按材料分类第7页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类

按输入量（被测对象）分类物理量传感器、化学量传感器和生物量传感器物理量传感器又可分为：温度传感器、压力传感器、

位移传感器、∙∙∙∙∙∙等等。这种分类方法给使用者提供了方便，容易根据被测

对象选择所需要的传感器。第8页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按转换原理分类结构型传感器

利用机械构件（如金属膜片等）在动力场或电磁场的

作用下产生变形或位移，将外界被测参数转换成相应

的电阻、电感、电容等物理量，它是利用物理学运动

定律或电磁定律实现转换的。物性型传感器复合型传感器第9页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按转换原理分类结构型传感器物性型传感器

利用材料的固态物理特性及其各种物理、化学效应（即物质定律，如虎克定律、欧姆

定律等）来实现非电量转换的。

它是以半导体、电介质、铁电

体等作为敏感材料的固态器件。复合型传感器第10页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按转换原理分类结构型传感器物性型传感器复合型传感器

由结构型传感器和物性型传

感器组合而成的，兼有两者

的特征。例如，电阻式、电

感式、电容式、压电式、光

电式、热敏、气敏、湿敏、

磁敏传感器等等。第11页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按转换原理分类结构型传感器物性型传感器复合型传感器这种分类方法清楚地指明了传感器的原理，便于学习

和研究。第12页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按能量转换的方式分类有源型和无源型有源型：也称能量转换型或发电型，它把非电量直接

变成电压量、电流量、电荷量等，如磁电式、压电式、

光电池、热电偶等。无源型：也称能量控制型、能量传输型或参数型，它

把非电量变成电抗（电阻、电容、电感）等，或将被

测电量传输至检测装置。第13页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按输出信号的形式分类开关式、模拟式和数字式按输入和输出的特性分类线性和非线性第14页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按材料分类无机材料检测元件半导体材料检测元件陶瓷材料检测元件高分子材料检测元件纳米材料检测元件智能材料检测元件第15页，课件共68页，创作于2023年2月检测元件无机材料检测元件M&T,I››检测元件与检测技术第16页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件半导体检测元件第17页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件半导体检测元件第18页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件陶瓷材料检测元件第19页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件陶瓷材料检测元件第20页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件高分子材料检测元件第21页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件高分子材料检测元件第22页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件高分子材料检测元件第23页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按材料分类纳米材料检测元件

气敏材料第24页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件智能材料检测元件第25页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按材料分类智能材料检测元件

记忆合金

压电材料第26页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的分类按材料分类智能材料检测元件

记忆合金

压电材料

光纤传感器

MEMS/MOEMS第27页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的命名国标GB7666由“主题词＋四级修饰语”组成，即主题词——传感器。一级修饰语——被测量，包括修饰被测量的定语。二级修饰语——转换原理，一般可后续以“式”字。三级修饰语——特征描述，指必须强调的传感器结构、性能、材料特征、敏感元件以及其它必要的性能特征，一般可后续以“型”字。四级修饰语——主要技术指标，如量程、精确度、灵敏度范围等。第28页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的命名运用命名法时应注意使用场合不同，修饰语的排序亦不同在有关传感器的统计报表、图书检索及计算机文字

处理等场合，传感器名称应采用正序排列。传感器←一级修饰语←二级修饰语←三级修饰语←

四级修饰语。

示例：“传感器、位移、应变计式、100mm”第29页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的命名运用命名法时应注意使用场合不同，修饰语的排序亦不同在技术文件、产品说明书、学术论文、教材、书刊

等的陈述句中，传感器名称应采用反序排列四级修饰语→三级修饰语→二级修饰语→一级修饰

语→传感器

示例：“100mm应变计式位移传感器”

“100～160dB电容式声压传感器”第30页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的命名运用命名法时应注意使用场合不同，修饰语的排序亦不同传感器（主称）＋四级修饰语组成全称。

在实际运用中，可根据产品具体情况省略任何一级

修饰语。但国标规定，传感器作为商品出售时，第

一级修饰语不得省略。第31页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的表示从电路角度考虑，敏感元件就是信号(或信息)源。对于大多数传感器，它都可以用具有两端口或四端口特征的电气元件足够精确地进行描述。第32页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测元件的表示与传统的信息技术中常见的两端口或四端口元件相比，唯一的区别是敏感元件的特性依赖于物理的或化学的环境变量。第33页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础自然规律守恒定律、场的定律、物质定律、统计法则基础效应热电效应、光磁电效应、磁效应、压电效应、应变

效应、电涡流效应、超导效应、集肤效应、多普勒

效应、物理现象等第34页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础自然规律守恒定律包括能量、动量、电荷量等守恒定律。这些定律是分析、研制新型传感

器时必须严格遵守的基本法则。第35页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础自然规律场的定律动力场的运动定律、电磁场的感应定律等，其作

用与物体在空间的位置及分布状态有关。一般可由物理方程给出，这些方程可作为许多传

感器工作的数学模型。例如，利用静电场制成的

电容式传感器，利用电磁感应定律可制成的电感

（自感或互感）式传感器等等。利用场的定律制成，可统称为结构型传感器。第36页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础自然规律物质定律表示各种物质本身内在性质的定律（如虎克定律、

欧姆定律），通常以这种物质所固有的物理常数

加以描述，其大小决定着传感器的主要性能。

半导体物质法则：压阻、热阻、光阻、湿阻等效

应，可分别制成压敏、热敏、光敏、湿敏等传感

器件；

压电晶体物质法则：压电效应，可制成压电式传

感器等等。第37页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础自然规律统计法则将微观系统与宏观系统联系起来的物理法则，这

些法则常常与传感器的工作状态有关。第38页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应热电效应塞贝克效应：热电势（温度—→电），热电偶珀尔帖效应：接触电势（温度←→电），半导体制冷汤姆逊效应：温差电势（温差←→电）热电子发射效应：热—→电子，红外成像第39页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应光磁电效应光电子发射效应：外光电效应

（光→电），光电二极管、光

电倍增管及紫外线传感器等。光电导效应：内光电效应（光

→电阻），光敏电阻。光伏特效应：内光电效应（光

→电），光电池、光敏二极管、

光敏三极管和光敏晶闸管等。第40页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应光磁电效应光的热电效应：热释电（热→电），红外人体传感器塞曼效应：光通过磁场时光

谱离散（光磁→光谱）拉曼效应：单色光照射物质

时发出不同光谱（光→光）泡克尔斯效应：光通过压电

晶体时分成正常和异常光线

（光电→光）第41页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应光磁电效应克尔效应：光通过各种同性物质并在垂直方向加

电压时分成正常和异常光线（光电→光）法拉第效应：线偏振光通过磁性物质时偏振面旋

转（光磁→电）第42页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应磁效应霍尔效应：电流流过导体并在与电流垂直的方向加

磁场时在垂直方向产生电势的现象（磁电→电），

磁敏二极管、磁敏三极管等。磁阻效应：导体在磁场中电阻

增加的现象（磁电→电阻），

磁敏电阻、磁头等。磁致伸缩效应：强磁体加磁

场时产生变形（磁→机械）第43页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应压电效应压电效应是指强介质加压力时的极化现象，可产

生电位差（压力←→电），超声波换能器。多普勒效应当声源、光源及微波等波源与观测者之间有相对

运动时，观测到的频率发生谱移的现象

（运动→频率）第44页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应物理现象热传导现象：热力学第一定律（热→物性），热

敏电阻气体传感器、干湿球湿度传感器等。热辐射现象：物体温度升高时产生光（电磁波）

辐射的现象（温度→光），辐射高温计、红外探

测等。第45页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术传感技术基础基础效应第46页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置检测装置的误差来源检测元件

灵敏度、测量范围、输入输出特性、稳定性等等。其它组成部分

通过误差分析，进行针对性的设计，可以大大减小

各部分的误差。第47页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置检测装置的误差来源检测元件内部产生的噪声以及电源产生的噪声。

如光电真空管放射不规则电子，半导体载流子扩散

等产生的噪声。降低元件的温度可减小热噪声，对

电源变压器采用静电屏蔽可减小交流脉动噪声等。从外部混入的躁声，按其产生原因可分为机械噪声

（如振动，冲击）、音响噪声、电磁噪声和化学噪

声等。第48页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置检测装置的误差来源检测元件内部产生的噪声以及电源产生的噪声。从外部混入的躁声，按其产生原因可分为机械噪声

（如振动，冲击）、音响噪声、电磁噪声和化学噪

声等。

对振动等机械噪声可采用防振台或将传感器固定在

质量很大的基础台上加以抑制；消除音响噪声的有

效办法是把传感器放入隔音器中或放在真空容器里；

消除电磁噪声的有效办法是屏蔽和接地或使传感器

远离电源线，或使输出线屏蔽，输出线绞在一起等。第49页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置改善检测装置的技术途径结构、材料与参数的合理选择差动技术、平均技术稳定性处理屏蔽、隔离与干扰抑制零示法、微差法与闭环技术补偿与校正集成化、智能化与信息融合第50页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置一般信号变换结构简单变换差动变换参比变换平衡／反馈变换第51页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置简单变换直接式：敏感元件直接将

被测量转换为电信号。间接式：敏感元件先将被

测量转换为可利用的中间

参量，通过

转换元件再

将其转换为

电信号。第52页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置简单变换直接式间接式

常用到的中间参量及转化元件被测量中间参量转换元件压力、温度、流速、力、加速度、扭矩等位移应变片、电感、电容、霍尔元件气体成分、位移、浓度等光学光电器件温度、流速等热量热电偶、热敏电阻第53页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置简单变换属于串联型仪表。

由误差合成理论，

仪表的误差是各

个环节误差之和。环节越多，仪表的准确度越低。当组成仪表的环节中有一个是非线性的，则仪表也具

有非线性特性，若多个环节具有非线性特性，一般情

况下将使仪表的非线性更严重。信息能量传递效率低，需要考虑阻抗匹配。结构简单、工作可靠、价格低廉、应用广泛。第54页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置差动变换使用两个性能相同的

转换元件，感受敏感

元件的输出量，将其

转换为性质相同、但

方向相反的两个物理

量。第55页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置差动变换若两个转换元件的输出为

其中，x1为被测量，x2为干扰量。

计算差动输出的变化量，略去二次以上的高阶量，有第56页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置差动变换对于简单变换的情况，有

（略去了二次以上的高阶量）第57页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置差动变换差动变换与简单直接式变换相比有效输出信号提高了一倍，信噪比提高了非线性特性有所改善，解决非零输出初始值问题若转换元件的特性可表示为

干扰量的影响可以完全消除第58页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置差动变换差动变换的转换元件内部噪声略有增加但由电源引入的噪声无法得到改善（始终同方向、相关）敏感元件的非线性特性无法得到改善（属于串联型仪表）如果转换元件的特性为

其非线性特性也得不到改善差动敏感元件在大多数情况下难以实现第59页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置参比变换使用两个性能相同的敏感

元件，其中一个感受被测

量和干扰量，另一个仅感

受干扰量。第60页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置参比变换两个转换元件的输出为

若敏感元件的特性可表示为

则第61页，课件共68页，创作于2023年2月M&T,I››检测元件与检测技术检测装置参比变换两个转